Foirnéis Fáis Chriostail SiC 4 orlach 6 orlach 8 orlach le haghaidh Próiseas CVD

Cur Síos Achomair:

Úsáideann córas Taisceadh Ceimiceach Gaile CVD Foirnéise Fáis Criostail SiC XKH teicneolaíocht thaisceadh gaile ceimiceach den scoth, atá deartha go sonrach le haghaidh fás criostail aonair SiC ardchaighdeáin. Trí rialú beacht ar pharaiméadair phróisis lena n-áirítear sreabhadh gáis, teocht agus brú, cumasaíonn sé fás rialaithe criostail SiC ar foshraitheanna 4-8 n-orlach. Is féidir leis an gcóras CVD seo cineálacha éagsúla criostail SiC a tháirgeadh, lena n-áirítear cineál 4H/6H-N agus cineál inslithe 4H/6H-SEMI, ag soláthar réitigh iomlána ó threalamh go próisis. Tacaíonn an córas le riachtanais fáis do sceallóga 2-12 orlach, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach go háirithe le haghaidh olltáirgeadh leictreonaice cumhachta agus gléasanna RF.

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Prionsabal Oibre

Is é croíphrionsabal ár gcórais CVD dianscaoileadh teirmeach gás réamhtheachtaithe ina bhfuil sileacan (m.sh., SiH4) agus carbón (m.sh., C3H8) ag teochtaí arda (de ghnáth 1500-2000°C), agus criostail aonair SiC a thaisceadh ar foshraitheanna trí imoibrithe ceimiceacha céim gháis. Tá an teicneolaíocht seo oiriúnach go háirithe chun criostail aonair 4H/6H-SiC ard-íonachta (>99.9995%) a tháirgeadh le dlús locht íseal (<1000/cm²), ag comhlíonadh ceanglais ábhair dhiana le haghaidh leictreonaic chumhachta agus gléasanna RF. Trí rialú beacht ar chomhdhéanamh an gháis, an ráta sreafa agus an grádán teochta, cuireann an córas ar chumas rialáil chruinn ar chineál seoltachta criostail (cineál N/P) agus friotaíocht.

Cineálacha Córais agus Paraiméadair Theicniúla

Cineál Córais	Raon Teochta	Príomhghnéithe	Feidhmchláir
CVD Ardteochta	1500-2300°C	Téamh ionduchtaithe graifíte, aonfhoirmeacht teochta ±5°C	Fás criostail SiC mórchóir
CVD Te-Snáithín	800-1400°C	Téamh filiméid tungstain, ráta taiscthe 10-50μm/u	Eipitacsas tiubh SiC
CVD VPE	1200-1800°C	Rialú teochta ilchriosach, úsáid gáis >80%	Táirgeadh mais epi-vaiféir
PECVD	400-800°C	Feabhsaithe plasma, ráta taiscthe 1-10μm/u	Scannáin tanaí SiC ísealteochta

Saintréithe Teicniúla Príomhúla

1. Córas Rialaithe Teochta Ardleibhéil
Tá córas téimh frithsheasmhach ilchriosach sa fhoirnéis atá in ann teochtaí suas le 2300°C a choinneáil le haonfhoirmeacht ±1°C ar fud an tseomra fáis ar fad. Baintear an bhainistíocht theirmeach chruinn seo amach trí:
12 chrios téimh rialaithe go neamhspleách.
Monatóireacht teirmeachúpla iomarcach (Cineál C W-Re).
Algartaim choigeartaithe próifíle teirmeach fíor-ama.
Ballaí seomra fuaraithe le huisce le haghaidh rialú grádáin theirmigh.

2. Teicneolaíocht Seachadta agus Measctha Gáis
Cinntíonn ár gcóras dáilte gáis dílseánaigh meascadh réamhtheachtaí is fearr agus seachadadh aonfhoirmeach:
Rialaitheoirí sreafa maise le cruinneas ±0.05sccm.
Ilphointe insteallta gáis.
Monatóireacht ar chomhdhéanamh gáis in situ (speictreascópacht FTIR).
Cúiteamh sreafa uathoibríoch le linn timthriallta fáis.

3. Feabhsú Cáilíochta Criostail
Cuimsíonn an córas roinnt nuálaíochtaí chun feabhas a chur ar cháilíocht criostail:
Sealbhóir foshraithe rothlach (in-ríomhchláraithe 0-100rpm).
Teicneolaíocht rialaithe ciseal teorann chun cinn.
Córas monatóireachta lochtanna in-situ (scaipeadh léasair UV).
Cúiteamh struis uathoibríoch le linn fáis.

4. Uathoibriú agus Rialú Próisis
Forghníomhú oidis go hiomlán uathoibrithe.
Uasmhéadú paraiméadair fáis fíor-ama AI.
Monatóireacht agus diagnóisic iargúlta.
Logáil sonraí 1000+ paraiméadar (stóráilte ar feadh 5 bliana).

5. Gnéithe Sábháilteachta agus Iontaofachta
Cosaint ró-theochta trí-iomarcach.
Córas glantacháin éigeandála uathoibríoch.
Dearadh struchtúrach rátáilte seismeach.
Ráthaíocht ama ar fáil 98.5%.

6. Ailtireacht Inscálaithe
Ceadaíonn dearadh modúlach uasghráduithe acmhainne.
Ag luí le méideanna vaiféir 100mm go 200mm.
Tacaíonn sé le cumraíochtaí ingearacha agus cothrománacha araon.
Comhpháirteanna a athraítear go tapa le haghaidh cothabhála.

7. Éifeachtúlacht Fuinnimh
Tomhaltas cumhachta 30% níos ísle ná córais inchomparáide.
Gabhann córas aisghabhála teasa 60% den teas dramhaíola.
Algartaim tomhaltais gáis optamaithe.
Ceanglais áise atá i gcomhréir le LEED.

8. Ilúsáideacht Ábhartha
Fásann sé gach mór-pholaitíop SiC (4H, 6H, 3C).
Tacaíonn sé le cineálacha seoltaí agus leath-inslithe araon.
Freastalaíonn sé ar scéimeanna dópála éagsúla (cineál N, cineál P).
Ag luí le réamhtheachtaithe malartacha (m.sh., TMS, TES).

9. Feidhmíocht an Chórais Folúis
Brú bonn: <1 × 10⁻⁶ Torr
Ráta sceite: <1×10⁻⁹ Torr·L/soic
Luas caidéil: 5000L/s (le haghaidh SiH₄)

Rialú brú uathoibríoch le linn timthriallta fáis
Léiríonn an tsonraíocht theicniúil chuimsitheach seo cumas ár gcórais criostail SiC de ghrád taighde agus de cháilíocht táirgthe a tháirgeadh le comhsheasmhacht agus toradh den scoth sa tionscal. A bhuíochas leis an meascán de rialú beacht, monatóireacht chun cinn, agus innealtóireacht láidir, is é an córas CVD seo an rogha is fearr d’fheidhmchláir T&F agus déantúsaíochta toirte i leictreonaic chumhachta, gléasanna RF, agus feidhmchláir leathsheoltóra chun cinn eile.

Príomhbhuntáistí

1. Fás Criostail Ardchaighdeáin
• Dlús lochtanna chomh híseal le <1000/cm² (4H-SiC)
• Aonfhoirmeacht dópála <5% (vaiféir 6-orlach)
• Íonacht criostail >99.9995%

2. Cumas Táirgthe Mórmhéide
• Tacaíonn sé le fás vaiféir suas le 8 n-orlach
• Aonfhoirmeacht trastomhais >99%
• Éagsúlacht tiús <±2%

3. Rialú Próisis Beacht
• Cruinneas rialaithe teochta ±1°C
• Cruinneas rialaithe sreabhadh gáis ±0.1sccm
• Cruinneas rialaithe brú ±0.1Torr

4. Éifeachtúlacht Fuinnimh
• 30% níos éifeachtaí ó thaobh fuinnimh de ná modhanna traidisiúnta
• Ráta fáis suas le 50-200μm/u
• Am oibriúcháin trealaimh >95%

Feidhmchláir Eochair

1. Gléasanna Leictreonacha Cumhachta
Foshraitheanna 4H-SiC 6-orlach le haghaidh MOSFETanna/dé-óidí 1200V+, rud a laghdaíonn caillteanais lasctha faoi 50%.

2. Cumarsáid 5G
Foshraitheanna SiC leath-inslithe (friotachas >10⁸Ω·cm) le haghaidh PAanna stáisiúin bhunáite, le caillteanas ionchuir <0.3dB ag >10GHz.

3. Feithiclí Fuinnimh Nua
Leathnaíonn modúil chumhachta SiC grád feithicleach raon feithiclí leictreacha faoi 5-8% agus laghdaíonn siad an t-am luchtaithe faoi 30%.

4. Inbhéirteoirí PV
Méadaíonn foshraitheanna íseal-locht éifeachtúlacht chomhshó thar 99% agus laghdaíonn siad méid an chórais faoi 40%.

Seirbhísí XKH

1. Seirbhísí Saincheaptha
Córais CVD saincheaptha 4-8 n-orlach.
Tacaíonn sé le fás cineál 4H/6H-N, cineál inslithe 4H/6H-SEMI, etc.

2. Tacaíocht Theicniúil
Oiliúint chuimsitheach ar oibriú agus ar uasmhéadú próisis.
Freagairt theicniúil 24/7.

3. Réitigh Lán-Eochrach
Seirbhísí ó thús go deireadh ó shuiteáil go bailíochtú próisis.

4. Soláthar Ábhar
Foshraitheanna/epi-vaiféirí SiC 2-12 orlach ar fáil.
Tacaíonn sé le polaitíopaí 4H/6H/3C.

I measc na bpríomhdhifritheoirí tá:
Cumas fáis criostail suas le 8 n-orlach.
Ráta fáis 20% níos tapúla ná meán an tionscail.
Iontaofacht chórais 98%.
Pacáiste iomlán córais rialaithe cliste.