6 orlach de chairbíd sileacain 4H-SiC leath-inslithe, grád bréige
Airíonna
1. Airíonna Fisiceacha agus Struchtúracha
● Cineál Ábhair: Carbaíd Sileacain (SiC)
● Polaitíopa: 4H-SiC, struchtúr criostail heicseagánach
●Trastomhas: 6 orlach (150 mm)
● Tiús: Inchumraithe (5-15 mm tipiciúil do ghrád bréige)
● Treoshuíomh Criostail:
oPríomhúil: [0001] (C-eitleán)
oRoghanna tánaisteacha: Lasmuigh den ais 4° le haghaidh fás eipitacsach optamaithe
● Treoshuíomh Cothrom Príomhúil: (10-10) ± 5°
● Treoshuíomh Cothrom Tánaisteach: 90° tuathalach ón bpríomh-chothrom ± 5°
2. Airíonna Leictreacha
● Friotaíocht:
oLeath-inslithe (>106^66 Ω·cm), oiriúnach chun toilleas seadánach a íoslaghdú.
● Cineál Dópála:
oDópáilte go neamhbheartaithe, rud a fhágann friotaíocht leictreach agus cobhsaíocht ard faoi raon coinníollacha oibriúcháin.
3. Airíonna Teirmeacha
● Seoltacht Theirmeach: 3.5-4.9 W/cm·K, rud a chuireann ar chumas teas a scaipeadh go héifeachtach i gcórais ardchumhachta.
● Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach: 4.2 × 10−64.2 ⋅ 10−6 ⋅ 4.2 × 10−6/K, rud a chinntíonn cobhsaíocht tríthoiseach le linn próiseála ardteochta.
4. Airíonna Optúla
●Bearna banda: Bearna banda leathan de 3.26 eV, rud a ligeann oibriú faoi voltais agus teochtaí arda.
● Trédhearcacht: Trédhearcacht ard do thonnfhaid UV agus infheicthe, úsáideach le haghaidh tástála optoelectronic.
5. Airíonna Meicniúla
● Cruas: Scála Mohs 9, an dara ceann i ndiaidh diamant amháin, rud a chinntíonn marthanacht le linn próiseála.
● Dlús Lochtanna:
oRialaithe le haghaidh lochtanna macra íosta, rud a chinntíonn cáilíocht leordhóthanach d'fheidhmchláir ghrád bréige.
● Cothromas: Aonfhoirmeacht le diallais
| Paraiméadar | Sonraí | Aonad |
| Grád | Grád Bréige | |
| Trastomhas | 150.0 ± 0.5 | mm |
| Treoshuíomh na Vaiféir | Ar an ais: <0001> ± 0.5° | céim |
| Friotaíocht Leictreach | > 1E5 | Ω·cm |
| Treoshuíomh Cothrom Príomhúil | {10-10} ± 5.0° | céim |
| Fad Cothrom Príomhúil | Eang | |
| Scoilteanna (Cigireacht Solais Ard-Déine) | < 3 mm i ngathacha | mm |
| Plátaí Heics (Cigireacht Solais Ard-Déine) | Achar carnach ≤ 5% | % |
| Limistéir Pholaitíopa (Cigireacht Solais Ard-Déine) | Achar carnach ≤ 10% | % |
| Dlús Micripíopa | < 50 | cm−2^-2−2 |
| Scealpadh Imeall | 3 cheadaithe, gach ceann ≤ 3 mm | mm |
| Nóta | Comhlíonann tiús slisnithe vaiféir <1 mm, > 70% (gan dhá cheann san áireamh) na ceanglais thuas |
Feidhmchláir
1. Fréamhshamáirí agus Taighde
Is ábhar iontach é an t-inné 4H-SiC 6-orlach grád bréige le haghaidh fréamhshamhaltú agus taighde, rud a ligeann do mhonaróirí agus do shaotharlanna:
● Paraiméadair phróisis tástála i dTaisceadh Ceimiceach Gaile (CVD) nó i dTaisceadh Fisiceach Gaile (PVD).
● Teicnící greanadh, snasta agus slisniú vaiféar a fhorbairt agus a fheabhsú.
● Déan iniúchadh ar dhearthaí nua gléasanna sula ndéantar aistriú chuig ábhar grád táirgeachta.
2. Calabrú agus Tástáil Gléasanna
A bhuíochas leis na hairíonna leath-inslithe, tá an t-inneall seo thar a bheith luachmhar le haghaidh:
●Airíonna leictreacha gléasanna ardchumhachta agus ardmhinicíochta a mheas agus a chalabrú.
● Insamhladh coinníollacha oibríochtúla do MOSFETanna, IGBTanna, nó dé-óidí i dtimpeallachtaí tástála.
● Ag feidhmiú mar ionadach cost-éifeachtach do foshraitheanna ard-íonachta le linn forbartha luathchéime.
3. Leictreonaic Chumhachta
Cuireann an tseoltacht theirmeach ard agus tréithe bearna leathan banda 4H-SiC ar chumas oibriú éifeachtach i leictreonaic chumhachta, lena n-áirítear:
● Soláthairtí cumhachta ardvoltais.
●Inbhéirteoirí feithiclí leictreacha (EV).
● Córais fuinnimh in-athnuaite, amhail inbhéirteoirí gréine agus tuirbíní gaoithe.
4. Feidhmeanna Minicíochta Raidió (RF)
A bhuíochas le caillteanais tréleictreacha ísle agus soghluaisteacht ard leictreon atá ag 4H-SiC, tá sé oiriúnach do:
●Aimplitheoirí agus trasraitheoirí RF i mbonneagar cumarsáide.
● Córais radair ardmhinicíochta le haghaidh feidhmchlár aeraspáis agus cosanta.
● Comhpháirteanna líonra gan sreang do theicneolaíochtaí 5G atá ag teacht chun cinn.
5. Gléasanna atá Frithsheasmhach in aghaidh Radaíochta
Mar gheall ar a fhriotaíocht dhúchasach in aghaidh lochtanna radaíochta-spreagtha, tá 4H-SiC leath-inslithe oiriúnach do:
● Trealamh taiscéalaíochta spáis, lena n-áirítear leictreonaic satailíte agus córais chumhachta.
● Leictreonaic atá cruaite le haghaidh radaíochta le haghaidh monatóireachta agus rialaithe núicléiche.
● Feidhmchláir chosanta a éilíonn láidreacht i dtimpeallachtaí foircneacha.
6. Optoelectronics
Cuireann trédhearcacht optúil agus bearna leathan banda 4H-SiC ar a chumas a úsáid i:
●Brathadóirí fóta UV agus soilse LED ardchumhachta.
● Tástáil bratuithe optúla agus cóireálacha dromchla.
● Fréamhshamhlú comhpháirteanna optúla le haghaidh braiteoirí ardteicneolaíochta.
Buntáistí Ábhar Grád Bréige
Éifeachtúlacht Costais:
Is rogha eile níos inacmhainne é an grád bréige seachas ábhair taighde nó grád táirgthe, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach le haghaidh tástála rialta agus mionchoigeartú próisis.
Inoiriúnaitheacht:
Cinntíonn toisí agus treoshuíomhanna criostail inchumraithe comhoiriúnacht le raon leathan feidhmchlár.
Inscálaitheacht:
Tá an trastomhas 6 orlach ailínithe le caighdeáin tionscail, rud a ligeann do scálú gan uaim chuig próisis ghrád táirgthe.
Láidreacht:
A bhuíochas leis an neart meicniúil ard agus an chobhsaíocht theirmeach, tá an t-inné buan agus iontaofa faoi dhálaí turgnamhacha éagsúla.
Ilúsáideacht:
Oiriúnach do thionscail éagsúla, ó chórais fuinnimh go cumarsáid agus optoelectronics.
Conclúid
Cuireann an t-inné leath-inslithe 6 orlach déanta as sileacan charbaíd (4H-SiC), grád bréige, ardán iontaofa agus ildánach ar fáil le haghaidh taighde, fréamhshamhlaithe agus tástála in earnálacha teicneolaíochta ceannródaíocha. A bhuíochas dá airíonna teirmeacha, leictreacha agus meicniúla eisceachtúla, in éineacht le hinacmhainneacht agus inoiriúnaitheacht, is ábhar fíor-riachtanach é don saol acadúil agus don tionscal araon. Ó leictreonaic chumhachta go córais RF agus gléasanna atá cruaite ag radaíocht, tacaíonn an t-inné seo le nuálaíocht ag gach céim den fhorbairt.
Chun sonraíochtaí níos mionsonraithe a fháil nó chun luachan a iarraidh, déan teagmháil dhíreach linn. Tá ár bhfoireann theicniúil réidh chun cabhrú le réitigh saincheaptha chun freastal ar do riachtanais.
Léaráid Mhionsonraithe
