Glactar le cineál N/P vaiféar epitacsach SiC 6 orlach saincheaptha

Is modh a úsáideann teicneolaíocht Taiscthe Ceimiceach Gaile (CVD) é próiseas ullmhúcháin na sceallóg eipitacsach sileacain charbíde. Seo a leanas na prionsabail theicniúla ábhartha agus céimeanna an phróisis ullmhúcháin:

Prionsabal teicniúil:

Taisceadh Gaile Ceimiceach: Ag baint úsáide as an ngás amhábhar sa chéim gháis, faoi choinníollacha imoibrithe sonracha, déantar é a dhíghrádú agus a thaisceadh ar an tsubstráit chun an scannán tanaí atá ag teastáil a fhoirmiú.

Imoibriú céim gháis: Trí phirealú nó imoibriú scoilte, déantar athrú ceimiceach ar gháis éagsúla amhábhar sa chéim gháis sa seomra imoibrithe.

Céimeanna an phróisis ullmhúcháin:

Cóireáil foshraithe: Déantar glanadh dromchla agus réamhchóireáil ar an tsubstráit chun cáilíocht agus criostalachas an sceallóg eipitacsaigh a chinntiú.

Dífhabhtú seomra imoibrithe: coigeartaigh teocht, brú agus ráta sreafa an tseomra imoibrithe agus paraiméadair eile chun cobhsaíocht agus rialú na ndálaí imoibrithe a chinntiú.

Soláthar amhábhar: soláthraítear na hamhábhair gháis riachtanacha isteach sa seomra imoibrithe, ag meascadh agus ag rialú an ráta sreafa de réir mar is gá.

Próiseas imoibrithe: Tríd an seomra imoibrithe a théamh, téann an t-amhábhar gásach faoi imoibriú ceimiceach sa seomra chun an taisce atá ag teastáil a tháirgeadh, i.e. scannán sileacain charbaíde.

Fuarú agus díluchtú: Ag deireadh an imoibrithe, íslítear an teocht de réir a chéile chun na taiscí sa seomra imoibrithe a fhuarú agus a sholadú.

Annéalú agus iarphróiseáil na vaiféar eipitacsach: déantar an vaiféar eipitacsach taiscthe a annéalú agus a iarphróiseáil chun a airíonna leictreacha agus optúla a fheabhsú.

Féadfaidh na céimeanna agus na coinníollacha sonracha a bhaineann le próiseas ullmhúcháin na sceallóga eipitacsacha carbóide sileacain a bheith éagsúil ag brath ar an trealamh agus na riachtanais shonracha. Níl thuas ach sreabhadh agus prionsabal ginearálta an phróisis, agus ní mór an oibríocht shonrach a choigeartú agus a bharrfheabhsú de réir na staide iarbhír.