Grád taighde seoltaí 8 n-orlach 200mm 4H-N SiC
Mar gheall ar a airíonna fisiceacha agus leictreonacha uathúla, úsáidtear ábhar leathsheoltóra vaiféir SiC 200mm chun gléasanna leictreonacha ardfheidhmíochta, ardteochta, radaíochta-fhriotacha, agus ardminicíochta a chruthú. Tá praghas foshraithe SiC 8 n-orlach ag laghdú de réir a chéile de réir mar a théann an teicneolaíocht chun cinn agus an t-éileamh ag fás. Mar thoradh ar fhorbairtí teicneolaíochta le déanaí, tá vaiféir SiC 200mm á monarú ar scála táirgthe. Na príomhbhuntáistí a bhaineann le hábhair leathsheoltóra vaiféir SiC i gcomparáid le vaiféir Si agus GaAs: Tá neart réimse leictrigh 4H-SiC le linn miondealú sneachta níos mó ná ord méide níos airde ná na luachanna comhfhreagracha do Si agus GaAs. Mar thoradh air seo, laghdaítear go suntasach an fhriotaíocht Ron sa staid reatha. Ligeann friotaíocht íseal sa staid reatha, in éineacht le dlús reatha ard agus seoltacht theirmeach, úsáid bás an-bheag le haghaidh gléasanna cumhachta. Laghdaíonn an seoltacht theirmeach ard atá ag SiC friotaíocht theirmeach an tslis. Tá airíonna leictreonacha gléasanna atá bunaithe ar vaiféir SiC an-chobhsaí le himeacht ama agus cobhsaí ar theocht, rud a chinntíonn ard-iontaofacht táirgí. Tá carbóid sileacain thar a bheith frithsheasmhach in aghaidh radaíochta crua, rud nach ndéanann dochar d'airíonna leictreonacha an tslis. A bhuíochas leis an teocht oibriúcháin ard teorann atá ag an gcriostal (níos mó ná 6000C), is féidir gléasanna iontaofa a chruthú le haghaidh dálaí oibriúcháin crua agus feidhmeanna speisialta. Faoi láthair, is féidir linn sliseáin bheaga 200mmSiC a sholáthar go seasta agus go leanúnach agus tá roinnt stoic againn sa stóras.
Sonraíocht
| Uimhir | Mír | Aonad | Táirgeadh | Taighde | Bréige |
| 1. Paraiméadair | |||||
| 1.1 | polaitíopa | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | treoshuíomh dromchla | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2. Paraiméadar leictreach | |||||
| 2.1 | dopant | -- | Nítrigin de chineál n | Nítrigin de chineál n | Nítrigin de chineál n |
| 2.2 | friotaíocht | óm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3. Paraiméadar meicniúil | |||||
| 3.1 | trastomhas | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | tiús | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Treoshuíomh na heangaí | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Doimhneacht na hEangach | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bogha | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Dlúth | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4. Struchtúr | |||||
| 4.1 | dlús micreaphíopa | gach ceann/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ábhar miotail | adaimh/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | gach ceann/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | gach ceann/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | gach ceann/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Cáilíocht dhearfach | |||||
| 5.1 | tosaigh | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | bailchríoch dromchla | -- | CMP Si-aghaidh | CMP Si-aghaidh | CMP Si-aghaidh |
| 5.3 | cáithnín | ea/vaiféal | ≤100 (méid ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | scríob | ea/vaiféal | ≤5, Fad Iomlán≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Imeall sceallóga/loisc/scoilteanna/smál/éilliú | -- | Dada | Dada | NA |
| 5.6 | Limistéir pholaitíopa | -- | Dada | Achar ≤10% | Achar ≤30% |
| 5.7 | marcáil tosaigh | -- | Dada | Dada | Dada |
| 6. Cáilíocht chúl | |||||
| 6.1 | bailchríoch chúl | -- | MP aghaidh-C | MP aghaidh-C | MP aghaidh-C |
| 6.2 | scríob | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Lochtanna ar chúl imeall sceallóga/eangacha | -- | Dada | Dada | NA |
| 6.4 | Garbhacht chúl | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Marcáil chúl | -- | Eang | Eang | Eang |
| 7. Imeall | |||||
| 7.1 | imeall | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8. Pacáiste | |||||
| 8.1 | pacáistiú | -- | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú |
| 8.2 | pacáistiú | -- | Il-vaiféar pacáistiú caiséad | Il-vaiféar pacáistiú caiséad | Il-vaiféar pacáistiú caiséad |
Léaráid Mhionsonraithe
