8inch SiC sliseog grád Táirgeadh 4H-N SiC substráit

8inch SiC sliseog grád Táirgeadh 4H-N SiC tsubstráit Íomhá Réadmhaoin

Cur síos gairid:

Úsáidtear foshraitheanna SiC 8-orlach i bhfeistí leictreonacha ardchumhachta, mar shampla MOSFETanna cumhachta (Trasraitheoirí Éifeacht Réimse Leathsheoltóra Ocsaíd Mhiotail), dé-óid Schottky agus feistí leathsheoltóra cumhachta eile.

Seol ríomhphost chugainn

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Léiríonn an tábla seo a leanas sonraíochtaí ár sliseog SiC 8 orlach:

Sonraíochtaí SiC DSP de chineál N 8inch
Uimhir	Mír	Aonad	Táirgeadh	Taighde	Caochadán
1: paraiméadair
1.1	polytype	--	4H	4H	4H
1.2	treoshuíomh dromchla	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
2: Paraiméadar leictreach
2.1	dopant	--	n-cineál Nítrigine	n-cineál Nítrigine	n-cineál Nítrigine
2.2	friotachas	óm ·cm	0.015~0.025	0.01~0.03	NA
3: Paraiméadar meicniúil
3.1	trastomhas	mm	200±0.2	200±0.2	200±0.2
3.2	tiús	μm	500±25	500±25	500±25
3.3	treoshuíomh notch	°	[1- 100]±5	[1- 100]±5	[1- 100]±5
3.4	Doimhneacht notch	mm	1~1.5	1~1.5	1~1.5
3.5	LTV	μm	≤5(10mm*10mm)	≤5(10mm*10mm)	≤10(10mm*10mm)
3.6	teilifís	μm	≤10	≤10	≤15
3.7	Bow	μm	-25~25	-45~45	-65~65
3.8	Dlúth	μm	≤30	≤50	≤70
3.9	AFM	nm	Ra≤0.2	Ra≤0.2	Ra≤0.2
4: Struchtúr
4.1	dlús micreaphíopaí	ea/cm2	≤2	≤10	≤50
4.2	ábhar miotail	adaimh/cm2	≤1E11	≤1E11	NA
4.3	TSD	ea/cm2	≤500	≤1000	NA
4.4	BPD	ea/cm2	≤2000	≤5000	NA
4.5	TED	ea/cm2	≤7000	≤10000	NA
5.Front cáilíochta
5.1	tosaigh	--	Si	Si	Si
5.2	bailchríoch dromchla	--	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP	Si-aghaidh CMP
5.3	cáithnín	ea/wafer	≤100(méid≥0.3μm)	NA	NA
5.4	scread	ea/wafer	≤5, Fad Iomlán ≤200mm	NA	NA
5.5	Imeall sceallóga/fleasc/scoilteanna/stains/éilliú	--	Dada	Dada	NA
5.6	Réimsí polytype	--	Dada	Achar ≤10%	Achar ≤30%
5.7	marcáil tosaigh	--	Dada	Dada	Dada
6: Cáilíocht chúl
6.1	bailchríoch ar ais	--	C-aghaidh MP	C-aghaidh MP	C-aghaidh MP
6.2	scread	mm	NA	NA	NA
6.3	Ar ais imeall lochtanna sceallóga/fleasc	--	Dada	Dada	NA
6.4	Ar ais roughness	nm	Ra≤5	Ra≤5	Ra≤5
6.5	Ar ais marcáil	--	notch	notch	notch
7: imeall
7.1	imeall	--	Chamfer	Chamfer	Chamfer
8: Pacáiste
8.1	pacáistiú	--	Epi-réidh le bhfolús pacáistiú	Epi-réidh le bhfolús pacáistiú	Epi-réidh le bhfolús pacáistiú
8.2	pacáistiú	--	Il-wafer pacáistiú caiséad	Il-wafer pacáistiú caiséad	Il-wafer pacáistiú caiséad