Foshraith SiC 4H-N de ghrád táirgeachta SiC 8 n-orlach
Taispeánann an tábla seo a leanas sonraíochtaí ár sceallóga SiC 8 n-orlach:
| Sonraíochtaí DSP SiC N-chineál 8 n-orlach | |||||
| Uimhir | Mír | Aonad | Táirgeadh | Taighde | Bréige |
| 1:paraiméadair | |||||
| 1.1 | polaitíopa | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | treoshuíomh dromchla | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
| 2: Paraiméadar leictreach | |||||
| 2.1 | dopant | -- | Nítrigin de chineál n | Nítrigin de chineál n | Nítrigin de chineál n |
| 2.2 | friotaíocht | óm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
| 3: Paraiméadar meicniúil | |||||
| 3.1 | trastomhas | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
| 3.2 | tiús | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Treoshuíomh na heangaí | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
| 3.4 | Doimhneacht na hEangach | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
| 3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3.7 | Bogha | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3.8 | Dlúth | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
| 4: Struchtúr | |||||
| 4.1 | dlús micreaphíopa | gach ceann/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | ábhar miotail | adaimh/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | gach ceann/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | BPD | gach ceann/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4.5 | TED | gach ceann/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Cáilíocht tosaigh | |||||
| 5.1 | tosaigh | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | bailchríoch dromchla | -- | CMP Si-aghaidh | CMP Si-aghaidh | CMP Si-aghaidh |
| 5.3 | cáithnín | ea/vaiféal | ≤100 (méid ≥0.3μm) | NA | NA |
| 5.4 | scríob | ea/vaiféal | ≤5, Fad Iomlán≤200mm | NA | NA |
| 5.5 | Imeall sceallóga/loisc/scoilteanna/smál/éilliú | -- | Dada | Dada | NA |
| 5.6 | Limistéir pholaitíopa | -- | Dada | Achar ≤10% | Achar ≤30% |
| 5.7 | marcáil tosaigh | -- | Dada | Dada | Dada |
| 6: Cáilíocht chúl | |||||
| 6.1 | bailchríoch chúl | -- | MP aghaidh-C | MP aghaidh-C | MP aghaidh-C |
| 6.2 | scríob | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Lochtanna ar chúl imeall sceallóga/eangacha | -- | Dada | Dada | NA |
| 6.4 | Garbhacht chúl | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6.5 | Marcáil chúl | -- | Eang | Eang | Eang |
| 7: imeall | |||||
| 7.1 | imeall | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
| 8: Pacáiste | |||||
| 8.1 | pacáistiú | -- | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú |
| 8.2 | pacáistiú | -- | Il-vaiféar pacáistiú caiséad | Il-vaiféar pacáistiú caiséad | Il-vaiféar pacáistiú caiséad |
Léaráid Mhionsonraithe
Scríobh do theachtaireacht anseo agus seol chugainn í