Comhpháirteanna Sapphire Fuinneoga Optúla Múnlaithe Saincheaptha le Snasú Beachtas
Paraiméadair theicniúla
Fuinneog saifír | |
Toise | 8-400mm |
Caoinfhulaingt thoisí | +0/-0.05mm |
Cáilíocht dromchla (scratch & tochailt) | 40/20 |
Cruinneas dromchla | λ/10 in aghaidh an chinn @ 633nm |
Cró Glan | >85%, > 90% |
Caoinfhulaingt chomhthreomhaireachta | ±2''-±3'' |
Beibhéal | 0.1-0.3mm |
Sciath | AR/AF/ar iarratas ó chustaiméirí |
Príomhghnéithe
1. Barr feabhais ábhartha
· Airíonna Teirmeacha Feabhsaithe: Taispeánann sé seoltacht theirmeach de 35 W/m·K (ag 100°C), le comhéifeacht leathnaithe teirmeach íseal (5.3 × 10⁻⁶/K) a chuireann cosc ar shaobhadh optúil faoi thimthriall teochta tapa. Coinníonn an t-ábhar sláine struchtúrach fiú le linn aistrithe turraing theirmigh ó 1000°C go teocht an tseomra i soicindí.
· Cobhsaíocht Cheimiceach: Ní léiríonn sé aon dhíghrádú nuair a bhíonn sé nochta d’aigéid thiubhaithe (gan HF) agus alcailí (pH 1-14) ar feadh tréimhsí fada, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do threalamh próiseála ceimiceach.
· Scagadh Optúil: Trí fhás criostail ais-C chun cinn, baintear tarchur >85% amach sa speictream infheicthe (400-700nm) le caillteanais scaipthe faoi bhun 0.1%/cm.
· Laghdaíonn snasú hipear-leathsféarach roghnach machnaimh dhromchla go <0.2% in aghaidh an dromchla ag 1064nm.
2. Cumais Innealtóireachta Beachtais
· Rialú Dromchla Nanoscale: Trí úsáid a bhaint as bailchríoch maighnéadreolaíoch (MRF), baintear amach garbhacht dromchla <0.3nm Ra, atá ríthábhachtach d'fheidhmchláir léasair ardchumhachta ina sáraíonn LIDT 10J/cm² ag 1064nm, bíoga 10ns.
· Déantúsaíocht Gheoiméadrachta Chasta: Ionchorpraíonn sé meaisínithe ultrasonaic 5-ais chun bealaí micrishreabhach (laoinfhulaingt leithead 50μm) agus eilimintí optúla difreactacha (DOE) le taifeach gné <100nm a chruthú.
· Comhtháthú Meitreolaíochta: Comhcheanglaíonn sé intearfairíoméadracht solais bháin agus micreascópacht fórsa adamhach (AFM) le haghaidh tréithriú dromchla 3T, rud a chinntíonn cruinneas foirme <100nm PV trasna foshraitheanna 200mm.
Feidhmchláir Phríomhúla
1. Feabhsú Córas Cosanta
· Cruinneacháin Feithiclí Hipirshonacha: Deartha chun seasamh in aghaidh ualaí aertheirmeacha Mach 5+ agus tarchur MWIR á chothabháil do chinn cuardaitheora. Coscann rónta imeall nana-chomhchodacha speisialta dí-áitiú faoi ualaí creatha 15G.
· Ardáin Braite Chandamach: Cuireann leaganacha dé-athraonadh thar a bheith íseal (<5nm/cm) maighnéadaiméadracht chruinn ar fáil i gcórais bhrath fomhuirí.
2. Nuálaíocht Próisis Tionsclaíoch
· Litagrafaíocht UV Foircneach Leathsheoltóra: Laghdaíonn fuinneoga snasta Grád AA le garbhacht dromchla <0.01nm caillteanais scaipthe EUV (13.5nm) i gcórais stepper.
· Monatóireacht ar Imoibreoir Núicléach: Soláthraíonn malairtí neodrón-thrédhearcacha (Al₂O₃ íonaithe go hiseatópach) monatóireacht amhairc fíor-ama i gcroíleacáin imoibreoirí Gen IV.
3. Comhtháthú Teicneolaíochta atá ag Teacht Chun Cinn
· Cumarsáid Optúil Spásbhunaithe: Coinníonn leaganacha radaíochta-chruaite (tar éis nochtadh gáma 1Mrad) tarchur >80% le haghaidh trasnaisc léasair satailíte LEO.
· Comhéadain Bhithfhótanacha: Cuireann cóireálacha dromchla bith-thámha ar chumas fuinneoga speictreascópachta Raman in-ionchlannaithe a úsáid le haghaidh monatóireacht leanúnach ar ghlúcós.
4. Córais Fuinnimh Ardleibhéil
· Diagnóisic Imoibritheora Comhleá: Soláthraíonn bratuithe seoltaí ilchisealacha (ITO-AlN) radharc plasma agus sciath EMI araon i suiteálacha tokamak.
· Bonneagar Hidrigine: Cuireann leaganacha grád crióigineach (tástáilte go 20K) cosc ar bhrioscadh hidrigine i bportaí radhairc stórála H₂ leachtach.
Seirbhísí & Cumais Soláthair XKH
1. Seirbhísí Déantúsaíochta Saincheaptha
· Saincheapadh Bunaithe ar Líníochtaí: Tacaíonn sé le dearaí neamhchaighdeánacha (toisí 1 mm go 300 mm), seachadadh tapa 20 lá, agus fréamhshamáirí den chéad uair laistigh de 4 seachtaine.
· Réitigh Sciatháin: Sciatháin frith-mhachnaimh (AR), frith-shalaithe (AF), agus sciatháin tonnfhaid-shonracha (UV/IR) chun caillteanais frithchaiteacha a íoslaghdú.
· Snasú & Tástáil Beachtas: Baintear amach garbh-dhromchla ≤0.5 nm le snasú ar leibhéal adamhach, agus cinntíonn inteirféaraiméadracht go gcomhlíonfar cothromaíocht λ/10.
2. Slabhra Soláthair & Tacaíocht Theicniúil
· Comhtháthú Ingearach: Rialú iomlán ar an bpróiseas ó fhás criostail (modh Czochralski) go gearradh, snasú agus sciathú, rud a ráthaíonn íonacht ábhair (gan folús/gan teorainneacha) agus comhsheasmhacht bhaisce.
· Comhoibriú Tionscail: Deimhnithe ag conraitheoirí aeraspáis; i gcomhpháirtíocht le CAS chun heitrestruchtúir sár-laitíse a fhorbairt le haghaidh ionadú tí.
3. Punann Táirgí & Loighistic
· Fardal caighdeánach: formáidí vaiféir 6 orlach go 12 orlach; praghsáil aonaid ó 43 go 82 (ag brath ar mhéid/sciath), le loingseoireacht an lá céanna.
· Comhairliúchán teicniúil le haghaidh dearaí sainiúla don fheidhmchlár (m.sh., fuinneoga céimnithe do sheomraí folúis, struchtúir atá frithsheasmhach in aghaidh turraing theirmeach).

