Trealamh Gearrtha Fáinne Vaiféir Lán-Uathoibríoch Méid Oibre Gearradh Fáinne Vaiféir 8 n-orlach/12 n-orlach

Cur Síos Achomair:

D'fhorbair XKH córas bearrtha imeall vaiféir go hiomlán uathoibríoch go neamhspleách, rud a léiríonn réiteach chun cinn atá deartha do phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra tosaigh. Cuimsíonn an trealamh seo teicneolaíocht rialaithe sioncrónach il-ais nuálach agus tá córas fearsaid ard-docht ann (uasluas rothlaithe: 60,000 RPM), rud a sheachadann bearradh imeall beacht le cruinneas gearrtha suas le ±5μm. Léiríonn an córas comhoiriúnacht den scoth le foshraitheanna leathsheoltóra éagsúla, lena n-áirítear ach gan a bheith teoranta dóibh:
1. Sliseáin sileacain (Si): Oiriúnach le haghaidh próiseála imeall sliseáin 8-12 orlach;
2. Leathsheoltóirí cumaisc: Ábhair leathsheoltóra tríú glúin amhail GaAs agus SiC;
3. Foshraitheanna speisialta: Sliseáin ábhair piezoelectric lena n-áirítear LT/LN;

Tacaíonn an dearadh modúlach le hathsholáthar tapa il-thomhaltán lena n-áirítear lanna diamant agus cinn gearrtha léasair, agus comhoiriúnacht a sháraíonn caighdeáin an tionscail. I gcás riachtanais phróisis speisialaithe, soláthraímid réitigh chuimsitheacha a chuimsíonn:
· Soláthar tiomnaithe d’earraí inchaite gearrtha
· Seirbhísí próiseála saincheaptha
· Réitigh optamaithe paraiméadair phróisis

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Paraiméadair theicniúla

Paraiméadar	Aonad	Sonraíocht
Uasmhéid Méid na hOibre Oibre	mm	ø12"
Fearsaid	Cumraíocht	Fearsaid Aonair
	Luas	3,000–60,000 rpm
	Cumhacht Aschuir	1.8 kW (2.4 roghnach) ag 30,000 nóim⁻¹
	Trastomhas Uasta an Lanna.	Ø58 mm
Ais-X	Raon Gearrtha	310 mm
Ais-Y	Raon Gearrtha	310 mm
	Méadú Céime	0.0001 mm
	Cruinneas Suímh	≤0.003 mm/310 mm, ≤0.002 mm/5 mm (earráid aonair)
Ais-Z	Rún Gluaiseachta	0.00005 mm
Ais-Z	In-athdhéantacht	0.001 mm
θ-Ais	Rothlú Uasta	380 céim
Cineál Fearsaid		Fearsaid aonair, atá feistithe le lann righin le haghaidh gearradh fáinne
Cruinneas Gearrtha Fáinne	μm	±50
Cruinneas Suíomh na Wafer	μm	±50
Éifeachtúlacht Aon-Shlabháin	nóim/vaiféar	8
Éifeachtúlacht Il-Wafair		Suas le 4 sceallóg próiseáilte ag an am céanna
Meáchan Trealamh	kg	≈3,200
Toisí Trealaimh (L×D×A)	mm	2,730 × 1,550 × 2,070

Prionsabal Oibriúcháin

Baintear feidhmíocht bearrtha eisceachtúil amach leis an gcóras trí na príomhtheicneolaíochtaí seo:

1. Córas Rialaithe Gluaiseachta Chliste:
· Tiomáint mótair líneach ardchruinneas (cruinneas suímh athuair: ±0.5μm)
· Rialú sioncrónach sé-ais ag tacú le pleanáil chasta trajectory
· Algartaim um chosc creatha fíor-ama a chinntíonn cobhsaíocht gearrtha

2. Córas Braite Ardleibhéil:
· Braiteoir airde léasair 3D comhtháite (cruinneas: 0.1μm)
· Suíomh amhairc CCD ardtaifigh (5 megapixel)
· Modúl cigireachta cáilíochta ar líne

3. Próiseas Uathoibrithe go hIomlán:
· Luchtú/díluchtú uathoibríoch (comhoiriúnach le comhéadan caighdeánach FOUP)
· Córas sórtála cliste
· Aonad glantacháin lúb dúnta (glaineacht: Rang 10)

Feidhmchláir Thipiciúla

Cuireann an trealamh seo luach suntasach ar fáil i ngach feidhmchlár déantúsaíochta leathsheoltóra:

Réimse Iarratais	Ábhair Phróisis	Buntáistí Teicniúla
Déantúsaíocht IC	Sliseáin Sileacain 8/12"	Feabhsaíonn sé ailíniú litagrafaíochta
Gléasanna Cumhachta	Seilfeanna SiC/GaN	Coscann lochtanna imeall
Braiteoirí MEMS	Vaiféir SOI	Cinntíonn sé iontaofacht na feiste
Gléasanna RF	Vaiféir GaAs	Feabhsaíonn sé feidhmíocht ard-minicíochta
Pacáistiú Ardleibhéil	Vaiféir Athdhéanta	Méadaíonn toradh pacáistithe

Gnéithe

1. Cumraíocht ceithre stáisiún le haghaidh éifeachtúlachta próiseála ard;
2. Dícheangal agus baint fáinne TAIKO cobhsaí;
3. Comhoiriúnacht ard le tomhaltáin thábhachtacha;
4. Cinntíonn teicneolaíocht bearradh sioncrónach il-aiseach gearradh imeall beacht;
5. Laghdaíonn sreabhadh próisis lán-uathoibrithe costais saothair go suntasach;
6. Cuireann dearadh tábla oibre saincheaptha ar chumas próiseáil chobhsaí struchtúr speisialta;

Feidhmeanna

1. Córas braite titim fáinne;
2. Glanadh uathoibríoch tábla oibre;
3. Córas dícheangailte UV cliste;
4. Taifeadadh loga oibríochta;
5. Comhtháthú modúl uathoibrithe monarchan;

Tiomantas Seirbhíse

Cuireann XKH seirbhísí tacaíochta cuimsitheacha saoilré ar fáil atá deartha chun feidhmíocht trealaimh agus éifeachtúlacht oibríochtúil a uasmhéadú ar feadh do thurais táirgthe.
1. Seirbhísí Saincheaptha
· Cumraíocht Trealamh Saincheaptha: Comhoibríonn ár bhfoireann innealtóireachta go dlúth le cliaint chun paraiméadair chórais (luas gearrtha, roghnú lann, srl.) a bharrfheabhsú bunaithe ar airíonna sonracha ábhair (Si/SiC/GaAs) agus riachtanais phróisis.
· Tacaíocht Forbartha Próisis: Cuirimid próiseáil samplach ar fáil le tuarascálacha anailíse mionsonraithe lena n-áirítear tomhas garbhachta imeall agus mapáil lochtanna.
· Comhfhorbairt Tomhaltán: I gcás ábhar nua (m.sh., Ga₂O₃), comhoibrímid le monaróirí tomhaltán ceannródaíocha chun lanna/optaic léasair atá sainiúil don fheidhmchlár a fhorbairt.

2. Tacaíocht Theicniúil Ghairmiúil
· Tacaíocht Tiomnaithe ar an Láthair: Innealtóirí deimhnithe a shannadh le haghaidh céimeanna criticiúla forbartha (2-4 seachtaine de ghnáth), ag clúdach:
Calabrú trealaimh & mionchoigeartú próisis
Oiliúint inniúlachta oibreoirí
Treoir maidir le comhtháthú seomra glan Aicme ISO 5
· Cothabháil Réamh-mheasta: Seiceálacha sláinte ráithiúla le hanailís chreathadh agus diagnóisic mótair servo chun am neamhghníomhach gan phleanáil a chosc.
· Monatóireacht Chianda: Rianú feidhmíochta trealaimh i bhfíor-am tríd ár n-ardán IoT (JCFront Connect®) le foláirimh uathoibrithe neamhghnácha.

3. Seirbhísí Breisluacha
· Bonn Eolais Próisis: Rochtain ar bhreis is 300 oideas gearrtha bailíochtaithe le haghaidh ábhar éagsúil (nuashonraithe gach ráithiúil).
· Ailíniú Treochlár Teicneolaíochta: Déan d’infheistíocht a chruthú don todhchaí le conairí uasghrádaithe crua-earraí/bogearraí (m.sh., modúl braite lochtanna bunaithe ar intleacht shaorga).
· Freagairt Éigeandála: Diagnóis iargúlta ráthaithe 4 uair an chloig agus idirghabháil ar an láthair 48 uair an chloig (clúdach domhanda).

4. Bonneagar Seirbhíse
· Ráthaíocht Feidhmíochta: Tiomantas conarthach d’am oibriúcháin trealaimh ≥98% le hamanna freagartha atá faoi thacaíocht SLA.

Feabhsú Leanúnach

Déanaimid suirbhéanna sástachta custaiméirí leathbhliantúla agus cuirimid tionscnaimh Kaizen i bhfeidhm chun feabhas a chur ar sheachadadh seirbhíse. Aistríonn ár bhfoireann T&F léargais allamuigh ina n-uasghráduithe trealaimh - eascraíonn 30% de fheabhsuithe firmware ó aiseolas cliant.