Sliseog LiTaO3 2 orlach-8 n-orlach 10x10x0.5 mm 1sp 2sp le haghaidh Cumarsáide 5G/6G
Paraiméadair theicniúla
Ainm | LiTaO3 grád optúil | Leibhéal tábla fuaime LiTaO3 |
Aiseach | Gearradh Z + / - 0.2 ° | Gearradh Y 36° / Gearradh Y 42° / Gearradh X (+ / - 0.2°) |
Trastomhas | 76.2mm + / - 0.3mm/ 100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm 100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Plána sonraí | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm 32mm + /-2mm |
Tiús | 500um + /-5mm 1000um + /-5mm | 500um + /-20mm 350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Teocht Curie | 605 °C + / - 0.7 °C (Modh DTA) | 605 °C + / -3 °C (Modh DTA) |
Cáilíocht dromchla | Snasú déthaobhach | Snasú déthaobhach |
Imill chamferáilte | babhtú imeall | babhtú imeall |
Príomhthréithe
1. Feidhmíocht Leictreach agus Optúil
· Comhéifeacht Leictrea-Optúil: sroicheann r33 30 pm/V (gearradh-X), 1.5× níos airde ná LiNbO3, rud a chuireann ar chumas modhnú leictrea-optúil thar a bheith leathanbhanda (bandaleithead >40 GHz).
· Freagairt Speictreach Leathan: Raon tarchuir 0.4–5.0 μm (tiús 8 mm), le himill ionsúcháin ultraivialait chomh híseal le 280 nm, oiriúnach do léasair UV agus do fheistí ponc chandamach.
· Comhéifeacht Pirileictreach Íseal: dP/dT = 3.5×10⁻⁴ C/(m²·K), rud a chinntíonn cobhsaíocht i braiteoirí infridhearg ardteochta.
2. Airíonna Teirmeacha agus Meicniúla
· Seoltacht Theirmeach Ard: 4.6 W/m·K (X-gearradh), ceithre huaire níos mó ná grianchloch, ag coinneáil timthriall teirmeach -200–500°C.
· Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach Íseal: CTE = 4.1 × 10⁻⁶/K (25–1000°C), comhoiriúnach le pacáistiú sileacain chun strus teirmeach a íoslaghdú.
3. Rialú Lochtanna agus Beachtas Próiseála
· Dlús Micripíopa: <0.1 cm⁻² (vaiféir 8 n-orlach), dlús dí-áitithe <500 cm⁻² (fíoraithe trí ghreanadh KOH).
· Cáilíocht Dromchla: Snasta le CMP go Ra <0.5 nm, ag comhlíonadh riachtanais chomhréidhe grád litagrafaíochta EUV.
Feidhmchláir Eochair
Fearann | Cásanna Iarratais | Buntáistí Teicniúla |
Cumarsáid Optúil | Léasair DWDM 100G/400G, modúil hibrideacha fótóinice sileacain | Cumasaíonn tarchur speictreach leathan agus caillteanas íseal treorach tonnta (α <0.1 dB/cm) an tsliaf LiTaO3 leathnú banda-C. |
Cumarsáid 5G/6G | Scagairí SAW (1.8–3.5 GHz), scagairí BAW-SMR | Baintear amach Kt² >15% le vaiféir gearrtha le Y 42°, rud a sheachadann caillteanas íseal ionchuir (<1.5 dB) agus rolladh-as ard (>30 dB). |
Teicneolaíochtaí Quantum | Brathadóirí aonfhótóin, foinsí paraiméadracha comhshó síos | Feabhsaíonn comhéifeacht neamhlíneach ard (χ(2)=40 pm/V) agus ráta comhaireamh dorcha íseal (<100 comhaireamh/s) dílseacht chandamach. |
Braiteadh Tionsclaíoch | Braiteoirí brú ardteochta, claochladáin reatha | Tá freagairt piezoelectric (g33 >20 mV/m) agus an chaoinfhulaingt ardteochta (>400°C) atá ag an sliogán LiTaO3 oiriúnach do thimpeallachtaí foircneacha. |
Seirbhísí XKH
1. Déantúsaíocht Vaiféir Saincheaptha
· Méid agus Gearradh: vaiféir 2–8 n-orlach le gearradh X/Y/Z, gearradh 42°Y, agus gearrthacha uilleacha saincheaptha (caoinfhulaingt ±0.01°).
· Rialú Dópála: Dópáil Fe, Mg trí mhodh Czochralski (raon tiúchana 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) chun comhéifeachtaí leictrea-optúla agus cobhsaíocht theirmeach a bharrfheabhsú.
2. Teicneolaíochtaí Próisis Ardleibhéil
· Poláil Thréimhsiúil (PPLT): Teicneolaíocht Smart-Cut le haghaidh sceallóga LTOI, a bhaineann cruinneas tréimhse fearainn ±10 nm agus tiontú minicíochta comhoiriúnaithe céim-le-chéim (QPM) amach.
· Comhtháthú Héitearagéineach: Sliseoga ilchodacha LiTaO3 (POI) bunaithe ar Si le rialú tiús (300–600 nm) agus seoltacht theirmeach suas le 8.78 W/m·K le haghaidh scagairí SAW ardmhinicíochta.
3. Córais Bainistíochta Cáilíochta
· Tástáil ó cheann ceann go ceann: speictreascópacht Raman (fíorú polaitípe), XRD (criostalacht), AFM (moirfeolaíocht dhromchla), agus tástáil aonfhoirmeachta optúla (Δn <5 × 10⁻⁵).
4. Tacaíocht Slabhra Soláthair Dhomhanda
· Cumas Táirgthe: Aschur míosúil >5,000 vaiféar (8 n-orlach: 70%), le seachadadh éigeandála 48 uair an chloig.
· Líonra Loighistice: Clúdach san Eoraip, i Meiriceá Thuaidh, agus san Áise-Aigéan Ciúin trí lastas aeir/mara le pacáistiú teochtrialaithe.


