Criostal Tantalait Litiam LT (LiTaO3) 2 orlach/3 orlach/4 orlach/6 orlach Treoshuíomh Y-42°/36°/108° Tiús 250-500um
Paraiméadair theicniúla
Ainm | LiTaO3 grád optúil | Leibhéal tábla fuaime LiTaO3 |
Aiseach | Gearradh Z + / - 0.2 ° | Gearradh Y 36° / Gearradh Y 42° / Gearradh X(+ / - 0.2°) |
Trastomhas | 76.2mm + / - 0.3mm/100±0.2mm | 76.2mm + /-0.3mm100mm + /-0.3mm 0r 150±0.5mm |
Plána sonraí | 22mm + / - 2mm | 22mm + /-2mm32mm + /-2mm |
Tiús | 500um + /-5mm1000um + /-5mm | 500um + /-20mm350um + /-20mm |
TTV | ≤ 10um | ≤ 10um |
Teocht Curie | 605 °C + / - 0.7 °C (Modh DTA) | 605 °C + / -3 °C (Modh DTA) |
Cáilíocht dromchla | Snasú déthaobhach | Snasú déthaobhach |
Imill chamferáilte | babhtú imeall | babhtú imeall |
Príomhthréithe
1. Struchtúr Criostail agus Feidhmíocht Leictreach
· Cobhsaíocht Chriostalagrafach: Ceannas polaitíopa 4H-SiC 100%, gan aon chuimsithe ilchriostalach (m.sh., 6H/15R), le cuar luascadáin XRD lánleithead ag leath-uasmhéid (FWHM) ≤32.7 stua-seic.
· Soghluaisteacht Ard-Iompróra: Soghluaisteacht leictreon de 5,400 cm²/V·s (4H-SiC) agus soghluaisteacht phoill de 380 cm²/V·s, rud a chuireann ar chumas dearaí gléasanna ardmhinicíochta.
·Cruas Radaíochta: Seasann sé in aghaidh radaíocht neodrón 1 MeV le tairseach damáiste díláithrithe de 1 × 10¹⁵ n/cm², atá oiriúnach d'fheidhmchláir aeraspáis agus núicléacha.
2. Airíonna Teirmeacha agus Meicniúla
· Seoltacht Theirmeach Eisceachtúil: 4.9 W/cm·K (4H-SiC), trí oiread níos mó ná sileacan, ag tacú le hoibriú os cionn 200°C.
· Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach Íseal: CTE de 4.0 × 10⁻⁶/K (25–1000°C), rud a chinntíonn comhoiriúnacht le pacáistiú sileacain-bhunaithe agus a íoslaghdaíonn strus teirmeach.
3. Rialú Lochtanna agus Beachtas Próiseála
· Dlús Micripíopa: <0.3 cm⁻² (vaiféir 8 n-orlach), dlús dí-áitithe <1,000 cm⁻² (fíoraithe trí ghreanadh KOH).
· Cáilíocht Dromchla: Snasta le CMP go Ra <0.2 nm, ag comhlíonadh riachtanais chomhréidhe grád litagrafaíochta EUV.
Feidhmchláir Eochair
Fearann | Cásanna Iarratais | Buntáistí Teicniúla |
Cumarsáid Optúil | Léasair 100G/400G, modúil hibrideacha fótóinice sileacain | Cumasaíonn foshraitheanna síl InP bearna bhanda dhíreach (1.34 eV) agus heiteroepitacs bunaithe ar Si, rud a laghdaíonn caillteanas cúplála optúil. |
Feithiclí Fuinnimh Nua | Inbhéirteoirí ardvoltais 800V, luchtairí ar bord (OBC) | Seasann foshraitheanna 4H-SiC le >1,200 V, rud a laghdaíonn caillteanais sheolta faoi 50% agus toirt an chórais faoi 40%. |
Cumarsáid 5G | Gléasanna RF tonnmhéadair (PA/LNA), aimplitheoirí cumhachta stáisiúin bonn | Cumasaíonn foshraitheanna SiC leath-inslithe (friotachas >10⁵ Ω·cm) comhtháthú éighníomhach ardmhinicíochta (60 GHz+). |
Trealamh Tionsclaíoch | Braiteoirí ardteochta, claochladáin reatha, monatóirí imoibritheora núicléacha | Seachadann foshraitheanna síl InSb (bearna banda 0.17 eV) íogaireacht mhaighnéadach suas le 300% @ 10 T. |
Vaiféir LiTaO₃ - Príomhthréithe
1. Feidhmíocht Piezoelectric Sármhaith
· Cumasaíonn comhéifeachtaí piezoelectric arda (d₃₃~8-10 pC/N, K²~0.5%) feistí SAW/BAW ardmhinicíochta le caillteanas ionchuir <1.5dB do scagairí RF 5G
· Tacaíonn cúpláil leictrimheicniúil den scoth le dearaí scagaire bandaleithead leathan (≥5%) le haghaidh feidhmchlár faoi bhun 6GHz agus mmWave
2. Airíonna Optúla
· Trédhearcacht leathanbhanda (tarchur >70% ó 400-5000nm) do mhodhnóirí leictrea-optúla a bhaineann bandaleithead >40GHz amach
· Éascaíonn so-ghabhálacht optúil neamhlíneach láidir (χ⁽²⁾~30pm/V) giniúint dara armónach éifeachtach (SHG) i gcórais léasair
3. Cobhsaíocht Chomhshaoil
· Coinníonn teocht ard Curie (600°C) freagairt piezoelectric i dtimpeallachtaí grád feithicleach (-40°C go 150°C)
· Cinntíonn neamhshuim cheimiceach i gcoinne aigéid/alcailí (pH1-13) iontaofacht in iarratais braiteoirí tionsclaíocha
4. Cumais Saincheaptha
· Innealtóireacht treoshuímh: Gearradh-X (51°), gearradh-Y (0°), gearradh-Z (36°) le haghaidh freagairtí piezoelectric saincheaptha
· Roghanna dópála: Dópáilte le Mg (friotaíocht in aghaidh damáiste optúil), Dópáilte le Zn (d₃₃ feabhsaithe)
· Bailchríocha dromchla: Snasú réidh le haghaidh eipitacsach (Ra<0.5nm), miotalú ITO/Au
Vaiféir LiTaO₃ - Feidhmeanna Príomhúla
1. Modúil Tosaigh RF
· Scagairí 5G NR SAW (Banda n77/n79) le comhéifeacht teochta minicíochta (TCF) <|-15ppm/°C|
· Athshondóirí BAW ultra-leathanbhanda le haghaidh WiFi 6E/7 (5.925-7.125GHz)
2. Fótónaic Chomhtháite
· Modhnóirí Mach-Zehnder ardluais (>100Gbps) le haghaidh cumarsáide optúla comhtháite
Brathadóirí infridhearg QWIP le tonnfhaid scoite inchoigeartaithe ó 3-14μm
3. Leictreonaic Feithicleach
· Braiteoirí páirceála ultrasonaic le minicíocht oibriúcháin >200kHz
· Trasduchtóirí piezoileictreacha TPMS a mhaireann timthriall teirmeach ó -40°C go 125°C
4. Córais Chosanta
· Scagairí glacadóra EW le diúltú lasmuigh den bhanda >60dB
· Fuinneoga infridhearga cuardaitheora diúracán ag tarchur radaíocht MWIR 3-5μm
5. Teicneolaíochtaí atá ag Teacht Chun Cinn
· Trasduchtóirí chandamacha optómeicniúla le haghaidh tiontú ó mhicreathonn go optúil
· Eagair PMUT le haghaidh íomháú ultrafhuaime leighis (taifeach >20MHz)
Vaiféir LiTaO₃ - Seirbhísí XKH
1. Bainistíocht Slabhra Soláthair
· Próiseáil Boule-go-wafer le ham luaidhe 4 seachtaine le haghaidh sonraíochtaí caighdeánacha
· Táirgeadh atá optamaithe ó thaobh costais de a thugann buntáiste praghais 10-15% i gcomparáid le hiomaitheoirí
2. Réitigh Saincheaptha
· Sciathánú sainiúil don treoshuíomh: gearradh Y 36°±0.5° le haghaidh feidhmíocht SAW is fearr
· Comhdhéanamh dópáilte: dópáil MgO (5mol%) le haghaidh feidhmeanna optúla
Seirbhísí miotalaithe: patrúnú leictreoid Cr/Au (100/1000Å)
3. Tacaíocht Theicniúil
· Saintréithiú ábhair: cuar luascáin XRD (FWHM<0.01°), anailís dhromchla AFM
· Insamhladh gléasanna: Samhaltú FEM le haghaidh optamú dearadh scagaire SAW
Conclúid
Leanann sliseáin LiTaO₃ de bheith ag cur le dul chun cinn teicneolaíochta i measc cumarsáide RF, fótóinic chomhtháite, agus braiteoirí timpeallachta crua. Cuidíonn saineolas ábhartha, cruinneas déantúsaíochta, agus tacaíocht innealtóireachta feidhmchláir XKH le custaiméirí dúshláin dearaidh a shárú i gcórais leictreonacha an chéad ghlúin eile.


