Clár Ábhair
1. Forbhreathnú agus Príomhfheidhmeanna FOUP
2. Gnéithe Struchtúir agus Dearaidh FOUP
3. Treoirlínte Aicmithe agus Feidhme FOUP
4. Oibríochtaí agus Tábhacht FOUP i nDéantúsaíocht Leathsheoltóirí
5. Dúshláin Theicniúla agus Treochtaí Forbartha sa Todhchaí
6. Réitigh Saincheaptha agus Tacaíocht Seirbhíse XKH
Sa phróiseas monaraíochta leathsheoltóirí, is coimeádán ríthábhachtach é an Front Opening Unified Pod (FOUP) a úsáidtear chun vaiféir a chosaint, a iompar agus a stóráil. Is féidir 25 phíosa vaiféir 300mm a fheistiú ina thaobh istigh, agus áirítear ar a phríomhchodanna coimeádán oscailte tosaigh agus fráma dorais tiomnaithe le haghaidh oscailt agus dúnta. Is iompróir lárnach é an FOUP sa chóras iompair uathoibrithe laistigh de mhonarchana vaiféir 12 orlach. De ghnáth, iompraítear é i riocht dúnta agus ní osclaítear é ach nuair a bhrúitear chuig calafort luchtaithe an trealaimh é, rud a ligeann do vaiféir a bheith aistrithe isteach i gcalafort luchtaithe/díluchtaithe an trealaimh.
Tá dearadh an FOUP oiriúnaithe do riachtanais an mhicri-thimpeallachta. Tá sliotáin ann ar chúl le haghaidh cuir isteach vaiféir, agus tá an clúdach deartha go sonrach chun meaitseáil le teanntán an oscailteora. Oibríonn róbónna láimhseála vaiféir i dtimpeallacht aeir ghlan Aicme 1, rud a chinntíonn nach ndéantar na vaiféir a éilliú le linn tarchuir. Ina theannta sin, bogtar an FOUP idir uirlisí próisis trí chóras láimhseála ábhar uathoibrithe (AMHS). Úsáideann monarchana vaiféir nua-aimseartha córais iarnróid lastuas den chuid is mó le haghaidh iompair, agus féadfaidh roinnt monarchana níos sine feithiclí treoraithe uathoibrithe (AGVanna) ar an talamh a úsáid.
Ní hamháin go gcuireann an FOUP ar chumas aistriú uathoibrithe vaiféir ach feidhmíonn sé freisin stórála. Mar gheall ar na céimeanna déantúsaíochta iomadúla, féadfaidh sé míonna a thógáil ar vaiféir an sreabhadh próisis iomlán a chríochnú. I dteannta le toirteanna arda táirgeachta míosúla, ciallaíonn sé seo go bhfuil na mílte vaiféir laistigh de mhonarcha i gcónaí faoi bhealach nó i stóras sealadach ag aon am ar leith. Le linn stórála, déantar FOUPanna a ghlanadh go tréimhsiúil le nítrigin chun cosc a chur ar thruailleáin teagmháil a dhéanamh leis na vaiféir, rud a chinntíonn próiseas táirgthe glan agus iontaofa.
1. Feidhmeanna agus Tábhacht FOUP
Is é príomhfheidhm an FOUP ná vaiféir a chosaint ar turraing sheachtrach agus éilliú, go háirithe tionchair ar tháirgeacht a sheachaint le linn aistrithe. Cuireann sé cosc éifeachtach ar thaise trí mhodhanna cosúil le glanadh gáis agus Rialú Atmaisféir Áitiúil (LAC), rud a chinntíonn go bhfanann vaiféir i riocht sábháilte agus iad ag fanacht leis an gcéad chéim déantúsaíochta eile. Ní cheadaíonn a chóras séalaithe agus rialaithe ach comhdhúile agus dúile riachtanacha dul isteach, rud a laghdaíonn go suntasach na héifeachtaí díobhálacha a bhíonn ag VOCanna, ocsaigin agus taise ar na vaiféir.
Ós rud é gur féidir le FOUP atá lánlódáilte le 25 vaiféar suas le 9 gcileagram a mheá, ní mór a iompar a bheith ag brath ar Chóras Láimhseála Ábhar Uathoibrithe (AMHS). Chun seo a éascú, tá an FOUP deartha le teaglaim éagsúla de phlátaí cúplála, bioráin agus poill, agus tá clibeanna leictreonacha RFID feistithe air le haghaidh aitheantais agus aicmithe éasca. Ní theastaíonn beagnach aon oibríocht láimhe don láimhseáil uathoibrithe seo, rud a laghdaíonn rátaí earráide go mór agus a fheabhsaíonn sábháilteacht agus cruinneas an phróisis déantúsaíochta.
2. Struchtúr agus Aicmiú FOUP
Is iad toisí tipiciúla FOUP ná thart ar 420 mm ar leithead, 335 mm ar doimhneacht, agus 335 mm ar airde. Áirítear ar a phríomhchodanna struchtúracha: ceann beacán (OHT) barr le haghaidh iompar ardaitheoir lastuas; doras tosaigh le haghaidh rochtain ar shliseoga trealaimh; láimhsithe taobh, a bhfuil cód datha orthu go minic chun idirdhealú a dhéanamh idir limistéir phróisis a bhfuil leibhéil éillithe éagsúla acu; limistéar Cárta chun cártaí teachtaireachta a chur; agus clib RFID bun a fheidhmíonn mar aitheantóir uathúil don FOUP, rud a ligeann d’uirlisí agus d’ardaitheoirí lastuas é a aithint. Tá ceithre pholl aitheantais agus suímh ag an mbonn freisin chun meaitseáil le huirlisí agus limistéir phróisis a idirdhealú.
Bunaithe ar úsáid, déantar FOUPanna a aicmiú i dtrí chineál: PRD (le haghaidh táirgthe), ENG (le haghaidh sceallóga innealtóireachta), agus MON (le haghaidh sceallóga monatóireachta). Is féidir FOUPanna PRD a úsáid le haghaidh monarú táirgí, tá cineálacha ENG oiriúnach do T&F nó do thurgnaimh, agus tá cineálacha MON tiomnaithe do mhonatóireacht phróisis le haghaidh céimeanna cosúil le CMP agus DIFF. Tá sé tábhachtach a thabhairt faoi deara gur féidir FOUPanna PRD a úsáid chun críocha ENG agus MON araon, agus gur féidir cineálacha ENG a úsáid le haghaidh MON, ach go mbíonn rioscaí cáilíochta ag baint leis an oibríocht droim ar ais.
Aicmithe de réir leibhéal éillithe, is féidir FOUPanna a roinnt ina FE FOUP (próiseas tosaigh, saor ó mhiotal), BE FOUP (próiseas cúil, ina bhfuil miotal), agus iad siúd atá speisialaithe do phróisis miotail shonracha cosúil le NI FOUP, CU FOUP, agus CO FOUP. De ghnáth, déantar idirdhealú idir FOUPanna do phróisis éagsúla de réir dath na láimhseálacha taobh nó na bpainéal dorais. Is féidir FOUPanna ó phróisis tosaigh a úsáid i bpróisis chúlta, ach ní mór FOUPanna cúil a úsáid i bpróisis tosaigh riamh, mar go mbeadh rioscaí éillithe mar thoradh air seo.
Mar iompróir ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, cinntíonn an FOUP, trí uathoibriú ard agus rialú dian ar éilliú, sábháilteacht agus glaineacht na vaiféirí le linn an phróisis táirgthe, rud a fhágann gur bonneagar fíor-riachtanach é i monarchana vaiféirí nua-aimseartha.
Conclúid
Tá XKH tiomanta do réitigh Pod Aontaithe Oscailte Tosaigh (FOUP) atá saincheaptha go mór a sholáthar do chustaiméirí, ag cloí go docht le do riachtanais phróisis shonracha agus sonraíochtaí comhéadain trealaimh. Trí leas a bhaint as teicneolaíocht ábhair chun cinn agus próisis déantúsaíochta beachtais, cinntímid go seachadann gach táirge FOUP aerdhíonacht, glaineacht agus cobhsaíocht mheicniúil eisceachtúil. Tá saineolas domhain tionscail ag ár bhfoireann theicniúil, ag tairiscint tacaíocht chuimsitheach saolré - ó chomhairliúchán roghnúcháin agus optamú struchtúrach go glanadh agus cothabháil - ag cinntiú comhtháthú gan uaim agus comhoibriú éifeachtach idir an FOUP agus do Chóras Láimhseála Ábhar Uathoibrithe (AMHS) chomh maith le trealamh próiseála. Tugann muid tús áite i gcónaí do shábháilteacht na sceallóga agus do fheabhsú toradh táirgthe mar ár bpríomhchuspóirí. Trí tháirgí nuálacha agus seirbhísí teicniúla uileghabhálacha, soláthraímid ráthaíocht láidir do do phróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, rud a fheabhsaíonn éifeachtúlacht táirgthe agus toradh táirgí sa deireadh.
Am an phoist: Meán Fómhair-08-2025