An bhfuil difríochtaí ann freisin maidir le cur i bhfeidhm sliseog sapphire le treoshuímh criostail éagsúla?

Is criostail aonair alúmana é Sapphire, baineann sé leis an gcóras criostail trípháirteach, struchtúr heicseagánach, tá a struchtúr criostail comhdhéanta de thrí adamh ocsaigine agus dhá adamh alúmanaim i gcineál banna comhfhiúsacha, socraithe go dlúth, le slabhra nascáil láidir agus fuinneamh laitíse, agus a chuid. taobh istigh criostail beagnach aon eisíontais nó lochtanna, agus mar sin tá insliú leictreach den scoth, trédhearcacht, seoltacht teirmeach maith agus tréithe rigidity ard. Úsáidtear go forleathan mar fhuinneog optúla agus ábhair fhoshraitheanna ardfheidhmíochta. Mar sin féin, tá struchtúr móilíneach sapphire casta agus tá anisotrópacht ann, agus tá an tionchar ar na hairíonna fisiceacha comhfhreagracha an-difriúil freisin maidir le próiseáil agus úsáid treoracha criostail éagsúla, agus mar sin tá an úsáid difriúil freisin. Go ginearálta, tá foshraitheanna sapphire ar fáil i dtreoracha eitleáin C, R, A agus M.

lch4

lch5

Feidhm naWafer sapphire C-eitleán

Nítríde Gallium (GaN) mar leathsheoltóir tríú glúin bandgap leathan, tá bearna leathan díreach banna, banna adamhach láidir, seoltacht teirmeach ard, cobhsaíocht mhaith ceimiceach (beagnach gan creimthe ag aon aigéad) agus cumas láidir frith-ionradaíochta, agus tá ionchais leathan i cur i bhfeidhm optoelectronics, feistí ardteochta agus cumhachta agus feistí micreathonnta ardmhinicíochta. Mar gheall ar an leáphointe ard GaN, áfach, tá sé deacair ábhair criostail aonair mórmhéide a fháil, agus mar sin is é an bealach coitianta fás heteroepitaxy a dhéanamh ar fhoshraitheanna eile, a bhfuil ceanglais níos airde acu maidir le hábhair fhoshraitheanna.

I gcomparáid leis antsubstráit sapphirele aghaidheanna criostail eile, tá an ráta neamhréire seasta laitíse idir an wafer sapphire C-eitleán (<0001> treoshuíomh) agus na scannáin a thaisceadh i ngrúpaí Ⅲ-Ⅴ agus Ⅱ-Ⅵ (cosúil le GaN) sách beag, agus tá an neamhréir leanúnach laitíse ráta idir an dá agus anScannáin AlNis féidir a úsáid mar chiseal maolánach fiú níos lú, agus go gcomhlíonann sé na ceanglais maidir le friotaíocht ardteochta sa phróiseas criostalaithe GaN. Mar sin, is ábhar foshraithe coitianta é le haghaidh fáis GaN, ar féidir é a úsáid chun soilse bán / gorm / glas, dé-óid léasair, brathadóirí infridhearg agus mar sin de a dhéanamh.

lch2 lch3

Is fiú a lua go bhfásann an scannán GaN a fhástar ar an tsubstráit sapphire C-eitleán feadh a ais polar, is é sin, treo an ais C, nach bhfuil ach próiseas fáis aibí agus próiseas epitaxy, costas réasúnta íseal, cobhsaí fisiceach. agus airíonna ceimiceacha, ach freisin feidhmíocht próiseála níos fearr. Tá adaimh an wafer sapphire C-dhírithe nasctha i socrú O-al-al-o-al-O, agus tá na criostail sapphire M-dhírithe agus A-dhírithe nasctha in al-O-al-O. Toisc go bhfuil fuinneamh nascáil níos ísle ag Al-Al agus nascáil níos laige ná Al-O, i gcomparáid leis na criostail sapphire M-dhírithe agus A-dhírithe, is é próiseáil C-sapphire go príomha ná an eochair Al-Al a oscailt, atá níos éasca le próiseáil. , agus is féidir cáilíocht dromchla níos airde a fháil, agus ansin cáilíocht epitaxial nítríde Gailliam níos fearr a fháil, ar féidir leo cáilíocht ultra-ard gile bán / gorm LED a fheabhsú. Ar an láimh eile, tá éifeachtaí polaraithe spontáineacha agus piezoelectric ag na scannáin a fhástar ar feadh an ais-C, rud a fhágann go bhfuil réimse inmheánach láidir leictreach taobh istigh den scannán (ciseal gníomhach quantum Wells), rud a laghdaíonn go mór éifeachtacht lonrúil scannáin GaN.

A-eitleán wafer sapphireiarratas

Mar gheall ar a fheidhmíocht chuimsitheach den scoth, go háirithe tarchur den scoth, is féidir le criostail aonair sapphire feabhas a chur ar an éifeacht treá infridhearg, agus a bheith ina ábhar fuinneog lár-infridhearg idéalach, a úsáidtear go forleathan i dtrealamh fótaileictreach míleata. Sa chás go bhfuil A sapphire eitleán Polar (eitleán C) i dtreo gnáth an duine, is dromchla neamh-polar. Go ginearálta, tá cáilíocht criostail sapphire A-dhírithe níos fearr ná an criostail C-dhírithe, le níos lú dislocation, níos lú struchtúr mósáic agus struchtúr criostail níos iomláine, agus mar sin tá feidhmíocht tarchurtha solais níos fearr aige. Ag an am céanna, mar gheall ar mhodh nascáil adamhach Al-O-Al-O ar eitleán A, tá cruas agus friotaíocht caitheamh sapphire A-dhírithe i bhfad níos airde ná sin sapphire C-dhírithe. Dá bhrí sin, úsáidtear sliseanna A-directional den chuid is mó mar ábhair fhuinneog; Ina theannta sin, tá tairiseach tréleictreach aonfhoirmeach agus airíonna inslithe ard ag sapphire freisin, ionas gur féidir é a chur i bhfeidhm ar theicneolaíocht mhicrileictreonaic hibrideach, ach freisin le haghaidh fás seoltóirí sármhaithe, mar shampla úsáid TlBaCaCuO (TbBaCaCuO), Tl-2212, an fás de scannáin fhorsheoltacha epitaxial ilchineálach ar fhoshraith ilchodach sapphire ocsaíd cerium (CeO2). Mar sin féin, freisin mar gheall ar fhuinneamh banna mór Al-O, tá sé níos deacra a phróiseáil.

lch2

FeidhmLaiscín sapphire eitleáin R /M

Is é an R-eitleán dromchla neamhpholach sapphire, agus mar sin tugann an t-athrú ar an suíomh R-eitleán i bhfeiste sapphire airíonna meicniúla, teirmeacha, leictreacha agus optúla éagsúla dó. Go ginearálta, is fearr le tsubstráit sapphire R-dhromchla le haghaidh sil-leagan heteroepitaxial sileacain, go príomha le haghaidh feidhmchláir chiorcaid chomhtháite leathsheoltóra, micreathonnta agus micrileictreonaic, i dtáirgeadh luaidhe, comhpháirteanna superconducting eile, friotóirí ardfhriotaíochta, is féidir arsenide Gailliam a úsáid freisin le haghaidh R- fás tsubstráit cineál. Faoi láthair, leis an tóir a bhí ar fhóin chliste agus ar chórais ríomhairí táibléid, tá an tsubstráit sapphire R-face tar éis na feistí SAW cumaisc atá ann cheana féin a úsáidtear le haghaidh fóin chliste agus ríomhairí táibléad a chur in ionad, ag soláthar foshraith le haghaidh feistí ar féidir leo feidhmíocht a fheabhsú.

lch1

Má tá sárú ann, déan teagmháil le scriosadh


Am postála: Jul-16-2024