Tá an tsubstráit chomhdhúile sileacain roinnte ina chineál leath-inslithe agus cineál seoltaí. Faoi láthair, is é 4 orlach sonraíocht príomhshrutha táirgí tsubstráit chomhdhúile sileacain leath-inslithe. Sa mhargadh seoltaí chomhdhúile sileacain, is é 6 orlach sonraíocht táirge an tsubstráit príomhshrutha reatha.
Mar gheall ar iarratais anuas sa réimse RF, tá foshraitheanna SiC leath-inslithe agus ábhair epitaxial faoi réir rialú onnmhairithe ag Roinn Tráchtála na SA. Is é SiC leath-inslithe mar fhoshraith an t-ábhar is fearr le haghaidh heteroepitaxy GaN agus tá ionchais iarratais thábhachtacha aige i réimse micreathonn. I gcomparáid le neamhréir criostail sapphire 14% agus Si 16.9%, níl an neamhréir criostail idir ábhair SiC agus GaN ach 3.4%. I dteannta le seoltacht teirmeach ultra-ard SiC, tá buntáistí móra ag feistí micreathonnta ard-minicíochta agus ardchumhachta LED agus GaN a ullmhaíonn sé i radair, trealamh micreathonn ardchumhachta agus córais cumarsáide 5G.
Bhí taighde agus forbairt tsubstráit SiC leath-inslithe mar fhócas i gcónaí ar thaighde agus ar fhorbairt tsubstráit criostail aonair SiC. Tá dhá phríomhdheacracht ag baint le hábhair SiC leath-inslithe a fhás:
1) Laghdaigh na neamhíonachtaí deontóra N a thugtar isteach le breogán graifíte, asaithe inslithe theirmigh agus dópáil i bpúdar;
2) Agus cáilíocht agus airíonna leictreacha an chriostail á n-áirithiú, tugtar isteach ionad leibhéal domhain chun na neamhíonachtaí leibhéal éadomhain iarmharach a chúiteamh le gníomhaíocht leictreach.
Faoi láthair, is iad na monaróirí a bhfuil cumas táirgthe SiC leath-inslithe acu go príomha SICC Co, Semisic Crystal Co, Tanke Blue Co, Hebei Synlight Crystal Co., Ltd.
Baintear amach an criostail seoltaí SiC trí nítrigin a instealladh isteach san atmaisféar atá ag fás. Úsáidtear tsubstráit chomhdhúile sileacain seoltaí go príomha i ndéantúsaíocht feistí cumhachta, feabhsóidh feistí cumhachta chomhdhúile sileacain le ardvoltais, ard-sruth, teocht ard, minicíocht ard, caillteanas íseal agus buntáistí uathúla eile, go mór le húsáid reatha feistí cumhachta sileacain bunaithe ar fhuinneamh. éifeachtúlacht chomhshó, tá tionchar suntasach agus fadréimseach aige ar réimse an chomhshó éifeachtúil fuinnimh. Is iad na príomhréimsí iarratais ná feithiclí leictreacha / chairn luchtaithe, fuinneamh nua fótavoltach, idirthuras iarnróid, eangach cliste agus mar sin de. Toisc gur feistí cumhachta i bhfeithiclí leictreacha, fótavoltach agus réimsí eile iad sruth na dtáirgí seoltacha, tá an t-ionchas iarratais níos leithne, agus tá na monaróirí níos iomadúla.
Cineál criostail chomhdhúile sileacain: Is féidir struchtúr tipiciúil an chomhdhúile sileacain criostalach 4H is fearr a roinnt ina dhá chatagóir, is é ceann an chomhdhúile sileacain ciúbach criostail cineál struchtúr sphalerite, ar a dtugtar 3C-SiC nó β-SiC, agus is é an ceann eile an heicseagánach. nó struchtúr diamanta den struchtúr tréimhse mór, atá tipiciúil de 6H-SiC, 4H-sic, 15R-SiC, etc., ar a dtugtar α-SiC le chéile. Tá buntáiste ag 3C-SiC go bhfuil ardfhriotaíocht i bhfeistí déantúsaíochta. Mar sin féin, d'fhéadfadh líon mór lochtanna sa chiseal epitaxial 3C-SiC a bheith mar thoradh ar an neamhréir ard idir tairisigh laitíse Si agus SiC agus comhéifeachtaí leathnú teirmeach. Tá cumas mór ag 4H-SiC i ndéantúsaíocht MOSFETanna, toisc go bhfuil a fhás criostail agus próisis fáis ciseal epitaxial níos sármhaith, agus i dtéarmaí soghluaisteachta leictreon, tá 4H-SiC níos airde ná 3C-SiC agus 6H-SiC, ag soláthar saintréithe micreathonn níos fearr do 4H. -SiC MOSFETanna.
Má tá sárú ann, déan teagmháil le scriosadh
Am postála: Jul-16-2024