Tuiscint dhomhain ar an gCóras SPC i Déantúsaíocht Wafer

1. Forbhreathnú ar an gCóras SPC

Is modh é SPC a úsáideann teicnící staidrimh chun monatóireacht agus rialú a dhéanamh ar phróisis déantúsaíochta. Is é a phríomhfheidhm ná aimhrialtachtaí sa phróiseas táirgthe a bhrath trí shonraí fíor-ama a bhailiú agus a anailísiú, ag cabhrú le hinnealtóirí coigeartuithe agus cinntí tráthúla a dhéanamh. Is é an sprioc atá ag SPC ná éagsúlacht sa phróiseas táirgthe a laghdú, ag cinntiú go bhfanann cáilíocht an táirge cobhsaí agus go gcomhlíonann sé sonraíochtaí.

Úsáidtear SPC sa phróiseas eitseála chun:

Monatóireacht a dhéanamh ar pharaiméadair trealaimh ríthábhachtacha (m.sh., ráta etch, cumhacht RF, brú seomra, teocht, etc.)

Déan anailís ar phríomhtháscairí cáilíochta an táirge (m.sh., líneáil, doimhneacht eitse, garbhacht an chiumhais, etc.)

Trí mhonatóireacht a dhéanamh ar na paraiméadair seo, is féidir le hinnealtóirí treochtaí a bhrath a léiríonn díghrádú feidhmíochta trealaimh nó diallais sa phróiseas táirgthe, rud a laghdóidh rátaí scrap.

2. Comhpháirteanna Bunúsacha an Chórais SPC

Tá an córas SPC comhdhéanta de roinnt eochair-mhodúil:

Modúl Bailithe Sonraí: Bailíonn sé sonraí fíor-ama ó threalamh agus sreafaí próisis (eg, trí chórais FDC, EES) agus taifeadann sé paraiméadair thábhachtacha agus torthaí táirgthe.

Modúl Cairte Rialaithe: Úsáideann sé cairteacha rialaithe staitistiúla (m.sh., cairt X-Barr, R-chairt, cairt Cp/Cpk) chun cobhsaíocht an phróisis a shamhlú agus chun cabhrú le fáil amach an bhfuil an próiseas i gceannas.

Córas Aláraim: Spreagann sé aláraim nuair a sháraíonn paraiméadair chriticiúla na teorainneacha rialaithe nó nuair a léiríonn siad athruithe treochta, ag spreagadh na n-innealtóirí beart a dhéanamh.

Modúl Anailíse agus Tuairiscithe: Déanann sé anailís ar bhunchúis na n-aimhrialtachtaí bunaithe ar chairteacha SPC agus gineann sé tuarascálacha feidhmíochta go rialta don phróiseas agus don trealamh.

3. Míniú Mionsonraithe ar Chairteacha Rialaithe sa CPS

Tá cairteacha rialaithe ar cheann de na huirlisí is coitianta a úsáidtear i SPC, ag cuidiú le hidirdhealú a dhéanamh idir "gnáthathrú" (de bharr éagsúlachtaí próisis nádúrtha) agus "éagsúlacht neamhghnácha" (de bharr teipeanna trealaimh nó diallais próisis). I measc na gcairteacha rialaithe coitianta tá:

Cairteacha X-Bar agus R: Úsáidtear é chun monatóireacht a dhéanamh ar an meán agus ar an raon laistigh de bhaisceanna táirgthe chun féachaint an bhfuil an próiseas cobhsaí.

Innéacsanna Cp agus Cpk: Úsáidtear é chun cumas próisis a thomhas, ie, cibé an féidir le haschur an phróisis riachtanais sonraíochta a chomhlíonadh go comhsheasmhach. Tomhaiseann Cp an cumas féideartha, agus breithníonn Cpk imeacht lárionad an phróisis ó na teorainneacha sonraíochta.

Mar shampla, sa phróiseas eitseála, d'fhéadfá monatóireacht a dhéanamh ar pharaiméadair cosúil le ráta eitse agus gairbhe an dromchla. Má sháraíonn ráta etch píosa áirithe trealaimh an teorainn rialaithe, is féidir leat cairteacha rialaithe a úsáid chun a chinneadh an bhfuil sé seo ina athrú nádúrtha nó ina léiriú ar mhífheidhmiú trealaimh.

4. Feidhmiú CPS i dTrealamh Eitseála

Sa phróiseas eitseála, tá sé ríthábhachtach paraiméadair trealaimh a rialú, agus cuidíonn SPC le cobhsaíocht an phróisis a fheabhsú ar na bealaí seo a leanas:

Monatóireacht ar Riocht Trealaimh: Bailíonn córais cosúil le FDC sonraí fíor-ama ar phríomh-pharaiméadair trealaimh eitseála (m.sh., cumhacht RF, sreabhadh gáis) agus comhcheanglaíonn siad na sonraí seo le cairteacha rialaithe SPC chun saincheisteanna trealaimh féideartha a bhrath. Mar shampla, má fheiceann tú go bhfuil an chumhacht RF ar chairt rialaithe ag imeacht de réir a chéile ón luach socraithe, is féidir leat beart a dhéanamh go luath maidir le coigeartú nó cothabháil chun tionchar a sheachaint ar cháilíocht an táirge.

Monatóireacht ar Cháilíocht an Táirge: Is féidir leat freisin paraiméadair cháilíochta táirge ríthábhachtacha (m.sh. doimhneacht etch, líne athrú) a ionchur isteach sa chóras SPC chun monatóireacht a dhéanamh ar a gcobhsaíocht. Má imíonn roinnt táscairí táirge ríthábhachtacha de réir a chéile ó na spriocluachanna, eiseoidh an córas SPC aláram, rud a léiríonn go bhfuil gá le coigeartuithe próisis.

Cothabháil Choisctheach (PM): Is féidir le SPC cuidiú leis an timthriall cothabhála coisctheach do threalamh a bharrfheabhsú. Trí anailís a dhéanamh ar shonraí fadtéarmacha ar fheidhmíocht trealaimh agus ar thorthaí próisis, is féidir leat an t-am is fearr le haghaidh cothabhála trealaimh a chinneadh. Mar shampla, trí mhonatóireacht a dhéanamh ar chumhacht RF agus saolré ESC, is féidir leat a chinneadh nuair a bhíonn gá le glanadh nó athsholáthar comhpháirteanna, ag laghdú rátaí teip trealaimh agus aga neamhfhónaimh táirgthe.

5. Leideanna Úsáide Laethúla don Chóras SPC

Agus an córas SPC á úsáid in oibríochtaí laethúla, is féidir na céimeanna seo a leanas a leanúint:

Sainmhínigh Príomhpharaiméadair Rialaithe (KPI): Sainaithin na paraiméadair is tábhachtaí sa phróiseas táirgthe agus cuir san áireamh iad i monatóireacht SPC. Ba cheart go mbeadh dlúthbhaint ag na paraiméadair seo le cáilíocht an táirge agus feidhmíocht trealaimh.

Socraigh Teorainneacha Rialaithe agus Teorainneacha Aláraim: Bunaithe ar shonraí stairiúla agus riachtanais phróisis, socraigh teorainneacha rialaithe réasúnta agus teorainneacha aláraim do gach paraiméadar. De ghnáth socraítear teorainneacha rialaithe ag ±3σ (dialltaí caighdeánacha), agus tá teorainneacha aláraim bunaithe ar choinníollacha sonracha an phróisis agus an trealaimh.

Monatóireacht agus Anailís Leanúnach: Déan athbhreithniú rialta ar chairteacha rialaithe SPC chun anailís a dhéanamh ar threochtaí agus éagsúlachtaí sonraí. Má sháraíonn roinnt paraiméadair na teorainneacha rialaithe, tá gá le gníomh láithreach, mar shampla paraiméadair trealaimh a choigeartú nó cothabháil trealaimh a dhéanamh.

Láimhseáil Neamhghnáthach agus Anailís ar Fhréamhchúis: Nuair a tharlaíonn mínormáltacht, taifeadann an córas SPC faisnéis mhionsonraithe faoin teagmhas. Ní mór duit fabhtcheartaithe agus anailís a dhéanamh ar bhunchúis na mínormáltachta bunaithe ar an bhfaisnéis seo. Is minic is féidir sonraí a chomhcheangal ó chórais FDC, córais EES, etc., chun anailís a dhéanamh an bhfuil an cheist mar gheall ar theip trealaimh, diall próisis, nó fachtóirí comhshaoil ​​seachtracha.

Feabhsú Leanúnach: Ag baint úsáide as na sonraí stairiúla atá taifeadta ag an gcóras SPC, sainaithin pointí laga sa phróiseas agus mol pleananna feabhsúcháin. Mar shampla, sa phróiseas eitseála, anailís a dhéanamh ar thionchar shaolré ESC agus modhanna glantacháin ar thimthriallta cothabhála trealaimh agus paraiméadair oibriúcháin trealaimh a bharrfheabhsú go leanúnach.

6. Cás Iarratais Phraiticiúil

Mar shampla praiticiúil, is dócha go bhfuil tú freagrach as an trealamh eitseála E-MAX, agus tá an chatóid seomra ag fulaingt roimh am, rud a fhágann go dtiocfaidh méadú ar luachanna D0 (locht BARC). Trí mhonatóireacht a dhéanamh ar chumhacht RF agus ráta eitse tríd an gcóras SPC, tugann tú faoi deara treocht ina n-imíonn na paraiméadair seo de réir a chéile óna luachanna socraithe. Tar éis aláram SPC a spreagadh, comhcheanglaíonn tú sonraí ón gcóras FDC agus cinneann tú gurb é rialú teochta éagobhsaí taobh istigh den seomra ba chúis leis an gceist. Ansin cuireann tú modhanna glantacháin agus straitéisí cothabhála nua i bhfeidhm, ag laghdú luach D0 ar deireadh ó 4.3 go 2.4, rud a fheabhsaíonn cáilíocht an táirge.

7.In XINKEHUI is féidir leat a fháil.

Ag XINKEHUI, is féidir leat an wafer foirfe a bhaint amach, cibé acu is wafer sileacain nó wafer SiC é. Speisialtóireacht againn i sliseog den scoth a sheachadadh do thionscail éagsúla, ag díriú ar chruinneas agus feidhmíocht.