Tá glanadh fliuch (Wet Clean) ar cheann de na céimeanna ríthábhachtacha i bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra, agus tá sé mar aidhm aige truailleáin éagsúla a bhaint de dhromchla an tsaiféir chun a chinntiú gur féidir céimeanna próisis ina dhiaidh sin a dhéanamh ar dhromchla glan.
De réir mar a leanann méid gléasanna leathsheoltóra ag crapadh agus riachtanais chruinnis ag méadú, tá na héilimh theicniúla maidir le próisis ghlantacháin vaiféir ag éirí níos déine. Is féidir fiú leis na cáithníní is lú, ábhair orgánacha, iain miotail, nó iarmhair ocsaíde ar dhromchla vaiféir tionchar suntasach a imirt ar fheidhmíocht na ngléasanna, rud a théann i bhfeidhm ar tháirgeacht agus ar iontaofacht na ngléasanna leathsheoltóra.
Príomhphrionsabail Glanadh Vaiféir
Is é croílár ghlanadh na vaiféir ná truailleáin éagsúla a bhaint go héifeachtach de dhromchla na vaiféir trí mhodhanna fisiceacha, ceimiceacha agus modhanna eile chun a chinntiú go bhfuil dromchla glan ag an vaiféir atá oiriúnach le haghaidh próiseála ina dhiaidh sin.
Cineál Éillithe
Príomhthionchair ar Thréithe na bhFeistí
| Éilliú Airteagail | Lochtanna patrún
Lochtanna ionchlannaithe ian
Lochtanna miondealaithe scannáin inslithe
| |
| Éilliú Miotalach | Miotail Alcaileacha | Éagobhsaíocht trasraitheora MOS
Miondealú/díghrádú scannáin ocsaíde geata
|
| Miotail Throma | Sruth sceite droim ar ais acomhal PN méadaithe
Lochtanna miondealaithe scannáin ocsaíd geata
Meath saoil iompróra mionlaigh
Giniúint locht ciseal spreagtha ocsaíde
| |
| Éilliú Ceimiceach | Ábhar Orgánach | Lochtanna miondealaithe scannáin ocsaíd geata
Athruithe scannáin CVD (amanna goir)
Athruithe ar thiús scannáin ocsaíd theirmigh (ocsaídiú luathaithe)
Tarlú ceo (vaiféar, lionsa, scáthán, masc, reticle)
|
| Dopants Neamhorgánacha (B, P) | Aistrithe Vth trasraitheora MOS
Athruithe friotaíochta ar shubstráit Si agus ar bhileoga polaisileacain ardfhriotaíochta
| |
| Bunáiteanna neamhorgánacha (aimíní, amóinia) & aigéid (SOx) | Díghrádú ar réiteach frithsheasmhacht aimplithe go ceimiceach
Tarlú éillithe cáithníní agus ceo mar gheall ar ghiniúint salainn
| |
| Scannáin Ocsaíd Dúchasacha agus Cheimiceacha de bharr Taise, Aeir | Friotaíocht teagmhála méadaithe
Miondealú/díghrádú scannáin ocsaíde geata
| |
Go sonrach, áirítear ar chuspóirí an phróisis glantacháin vaiféil:
Baint Cáithníní: Úsáid a bhaint as modhanna fisiceacha nó ceimiceacha chun cáithníní beaga atá ceangailte le dromchla an tsaiféir a bhaint. Tá sé níos deacra cáithníní níos lú a bhaint mar gheall ar na fórsaí leictreastatacha láidre eatarthu agus dromchla an tsaiféir, agus teastaíonn cóireáil speisialta uathu.
Baint Ábhar Orgánach: Féadfaidh truailleáin orgánacha amhail ramhar agus iarmhair fhótafhriotaíochta cloí le dromchla an tsliabháin. De ghnáth baintear na truailleáin seo trí ghníomhairí ocsaídiúcháin nó tuaslagóirí láidre a úsáid.
Baint Ian Miotail: Is féidir le hiarmhair ian miotail ar dhromchla an tsaiféir feidhmíocht leictreach a dhíghrádú agus fiú difear a dhéanamh do na céimeanna próiseála ina dhiaidh sin. Dá bhrí sin, úsáidtear tuaslagáin cheimiceacha sonracha chun na hiain seo a bhaint.
Baint Ocsaíde: Éilíonn roinnt próiseas go mbeadh dromchla an tsliabháin saor ó shraitheanna ocsaíde, amhail ocsaíd sileacain. I gcásanna den sórt sin, ní mór sraitheanna ocsaíde nádúrtha a bhaint le linn céimeanna glantacháin áirithe.
Is é dúshlán na teicneolaíochta glantacháin vaiféir ná truailleáin a bhaint go héifeachtúil gan drochthionchar a imirt ar dhromchla an vaiféir, amhail cosc a chur ar gharbhú dromchla, creimeadh nó damáiste fisiceach eile.
2. Sreabhadh Próisis Glanadh Vaiféir
De ghnáth bíonn roinnt céimeanna i gceist leis an bpróiseas glantacháin vaiféil chun a chinntiú go mbaintear gach truailleán go hiomlán agus go mbaintear dromchla lánghlan amach.
Fíor: Comparáid idir Glanadh Cineál Baisce agus Glanadh Aon-Shleamhnáin
Áirítear na príomhchéimeanna seo a leanas i ngnáthphróiseas glantacháin vaiféil:
1. Réamhghlanadh (Réamhghlanadh)
Is é cuspóir an réamhghlantacháin ná truailleáin scaoilte agus cáithníní móra a bhaint de dhromchla an tsaiféir, rud a bhaintear amach de ghnáth trí shruthlú le huisce dí-ianaithe (Uisce DI) agus glanadh ultrasonaic. Is féidir le huisce dí-ianaithe cáithníní agus eisíontais thuaslagtha a bhaint de dhromchla an tsaiféir ar dtús, agus úsáideann glanadh ultrasonaic éifeachtaí cavitation chun an nasc idir na cáithníní agus dromchla an tsaiféir a bhriseadh, rud a fhágann go bhfuil siad níos éasca a dhíbirt.
2. Glanadh Ceimiceach
Tá glanadh ceimiceach ar cheann de na céimeanna lárnacha sa phróiseas glantacháin vaiféir, ina n-úsáidtear tuaslagáin cheimiceacha chun ábhair orgánacha, iain miotail agus ocsaídí a bhaint de dhromchla an vaiféir.
Baint Ábhar Orgánach: De ghnáth, úsáidtear aicéatón nó meascán amóinia/peirocsaíde (SC-1) chun truailleáin orgánacha a thuaslagadh agus a ocsaídiú. Is é NH₄OH an cóimheas tipiciúil do thuaslagán SC-1.
₂O₂
₂O = 1:1:5, le teocht oibre de thart ar 20°C.
Baint Ian Miotail: Úsáidtear meascáin aigéad nítreach nó aigéad hidreaclórach/seirocsaíde (SC-2) chun iain miotail a bhaint de dhromchla an tsliabháin. Is é HCl an cóimheas tipiciúil do thuaslagán SC-2.
₂O₂
₂O = 1:1:6, agus an teocht á coinneáil ag thart ar 80°C.
Baint Ocsaíde: I roinnt próiseas, is gá an ciseal ocsaíde dúchasach a bhaint de dhromchla an tsliabháin, agus úsáidtear tuaslagán aigéid hidrofluaraigh (HF) chuige sin. Is é HF an cóimheas tipiciúil do thuaslagán HF
₂O = 1:50, agus is féidir é a úsáid ag teocht an tseomra.
3. Glanadh Deiridh
Tar éis glanadh ceimiceach, is gnách go ndéantar céim ghlantacháin deiridh ar na vaiféil chun a chinntiú nach bhfanann aon iarmhair cheimiceacha ar an dromchla. Úsáidtear uisce dí-ianaithe den chuid is mó le haghaidh sruthlú críochnúil sa ghlanadh deiridh. Ina theannta sin, úsáidtear glanadh uisce ózóin (O₃/H₂O) chun aon truailleáin atá fágtha a bhaint de dhromchla na vaiféile.
4. Triomú
Caithfear na vaiféir ghlantaithe a thriomú go tapa chun uiscemharcanna nó athcheangal truailleán a chosc. I measc na modhanna triomú coitianta tá triomú sníomha agus glanadh nítrigine. Baintear taise de dhromchla an vaiféir trí sníomh ag luas ard, agus cinntíonn an dara ceann triomú iomlán trí ghás nítrigine tirim a shéideadh trasna dhromchla an vaiféir.
Truailleán
Ainm an Nós Imeachta Glantacháin
Cur Síos ar an Meascán Ceimiceach
Ceimiceáin
| Cáithníní | Piranha (SPM) | Aigéad sulfarach/sárocsaíd hidrigine/uisce DI | H2SO4/H2O2/H2O 3-4:1; 90°C |
| SC-1 (APM) | Hiodrocsaíd amóiniam/sárocsaíd hidrigine/uisce DI | NH4OH/H2O2/H2O 1:4:20; 80°C | |
| Miotail (ní copar) | SC-2 (HPM) | Aigéad hidreaclórach/sárocsaíd hidrigine/uisce DI | HCl/H2O2/H2O1:1:6; 85°C |
| Piranha (SPM) | Aigéad sulfarach/sárocsaíd hidrigine/uisce DI | H2SO4/H2O2/H2O3-4:1; 90°C | |
| DHF | Aigéad hidrofluarach caolaithe/uisce DI (ní bhainfidh sé copar) | HF/H2O1:50 | |
| Orgánacha | Piranha (SPM) | Aigéad sulfarach/sárocsaíd hidrigine/uisce DI | H2SO4/H2O2/H2O 3-4:1; 90°C |
| SC-1 (APM) | Hiodrocsaíd amóiniam/sárocsaíd hidrigine/uisce DI | NH4OH/H2O2/H2O 1:4:20; 80°C | |
| DIO3 | Ózón in uisce dí-ianaithe | Meascáin Optamaithe O3/H2O | |
| Ocsaíd Dúchasach | DHF | Aigéad hidrofluarach caolaithe/uisce DI | HF/H2O 1:100 |
| BHF | Aigéad hidrofluarach maolaithe | NH4F/HF/H2O |
3. Modhanna Coitianta Glantacháin Vaiféir
1. Modh Glantacháin RCA
Tá modh glantacháin RCA ar cheann de na teicnící glantacháin vaiféil is clasaiceach sa tionscal leathsheoltóra, arna fhorbairt ag RCA Corporation breis agus 40 bliain ó shin. Úsáidtear an modh seo go príomha chun truailleáin orgánacha agus eisíontais ian miotail a bhaint agus is féidir é a chríochnú i ndá chéim: SC-1 (Glanadh Caighdeánach 1) agus SC-2 (Glanadh Caighdeánach 2).
Glanadh SC-1: Úsáidtear an chéim seo go príomha chun truailleáin orgánacha agus cáithníní a bhaint. Is meascán d'amóinia, sárocsaíd hidrigine, agus uisce an tuaslagán, a chruthaíonn ciseal tanaí ocsaíd sileacain ar dhromchla an tsaiféir.
Glanadh SC-2: Úsáidtear an chéim seo go príomha chun truailleáin ian miotail a bhaint, ag baint úsáide as meascán d'aigéad hidreaclórach, sárocsaíd hidrigine, agus uisce. Fágann sé sraith tanaí pasivithe ar dhromchla an tsliabháin chun ath-éilliú a chosc.
2. Modh Glantacháin Piranha (Glanadh Greanta Piranha)
Is teicníc an-éifeachtach í an modh glantacháin Piranha chun ábhair orgánacha a bhaint, ag baint úsáide as meascán d'aigéad sulfarach agus sárocsaíd hidrigine, de ghnáth i gcóimheas 3:1 nó 4:1. Mar gheall ar airíonna ocsaídiúcháin thar a bheith láidir an tuaslagáin seo, is féidir leis méid mór ábhair orgánaigh agus truailleáin righne a bhaint. Éilíonn an modh seo rialú docht ar choinníollacha, go háirithe i dtéarmaí teochta agus tiúchana, chun damáiste don sceallóg a sheachaint.
Úsáideann glanadh ultrasonaic an éifeacht cavitation a ghintear le tonnta fuaime ardmhinicíochta i leacht chun truailleáin a bhaint de dhromchla an tsaiféir. I gcomparáid le glanadh ultrasonaic traidisiúnta, oibríonn glanadh meigeashonach ag minicíocht níos airde, rud a chuireann ar chumas cáithníní faoi bhun micrónmhéide a bhaint níos éifeachtaí gan damáiste a dhéanamh do dhromchla an tsaiféir.
4. Glanadh Ózóin
Úsáideann teicneolaíocht glantacháin ózóin airíonna láidre ocsaídiúcháin ózóin chun truailleáin orgánacha a dhíghrádú agus a bhaint de dhromchla na vaiféil, agus sa deireadh thiar iad a thiontú ina ndé-ocsaíd charbóin agus uisce neamhdhíobhálach. Ní gá imoibrithe ceimiceacha costasacha a úsáid leis an modh seo agus is lú an truailliú comhshaoil a bhíonn mar thoradh air, rud a fhágann gur teicneolaíocht atá ag teacht chun cinn í i réimse glantacháin na vaiféil.
4. Trealamh Próisis Glanadh Vaiféir
Chun éifeachtúlacht agus sábháilteacht phróisis glantacháin vaiféil a chinntiú, úsáidtear réimse trealaimh ghlantacháin ardteicneolaíochta i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí. Áirítear ar na príomhchineálacha:
1. Trealamh Glantacháin Fliuch
Áirítear le trealamh glantacháin fhliucha umair tumoideachais éagsúla, umair ghlantacháin ultrasonaic, agus triomadóirí sníomha. Comhcheanglaíonn na gléasanna seo fórsaí meicniúla agus imoibrithe ceimiceacha chun truailleáin a bhaint de dhromchla an tsliabháin. De ghnáth, bíonn umair tumoideachais feistithe le córais rialaithe teochta chun cobhsaíocht agus éifeachtacht tuaslagán ceimiceach a chinntiú.
2. Trealamh Glantacháin Thirim
Is éard atá i dtrealamh glantacháin thirim den chuid is mó glantóirí plasma, a úsáideann cáithníní ardfhuinnimh i plasma chun imoibriú le dromchla na vaiféir agus iarmhair a bhaint de. Tá glanadh plasma oiriúnach go háirithe do phróisis a éilíonn sláine an dromchla a choinneáil gan iarmhair cheimiceacha a thabhairt isteach.
3. Córais Glantacháin Uathoibrithe
Le leathnú leanúnach ar tháirgeadh leathsheoltóirí, is rogha is fearr anois córais ghlantacháin uathoibrithe le haghaidh glanadh vaiféir ar scála mór. Is minic a bhíonn sásraí aistrithe uathoibrithe, córais ghlantacháin il-umair, agus córais rialaithe beachtais sna córais seo chun torthaí glantacháin chomhsheasmhacha a chinntiú do gach vaiféar.
5. Treochtaí sa Todhchaí
De réir mar a leanann feistí leathsheoltóra ag crapadh, tá teicneolaíocht glantacháin vaiféil ag forbairt i dtreo réitigh níos éifeachtaí agus níos neamhdhíobhálaí don chomhshaol. Díreoidh teicneolaíochtaí glantacháin amach anseo ar:
Bainistiú Cáithníní Fo-nanaiméadar: Is féidir le teicneolaíochtaí glantacháin atá ann cheana féin déileáil le cáithníní ar scála nanaiméadar, ach leis an laghdú breise ar mhéid na ngléasanna, beidh sé ina dhúshlán nua cáithníní fo-nanaiméadar a bhaint.
Glanadh Glas agus Éicea-Chairdiúil: Beidh sé níos tábhachtaí fós úsáid ceimiceán atá díobhálach don chomhshaol a laghdú agus modhanna glantacháin níos cairdiúla don chomhshaol a fhorbairt, amhail glanadh ózóin agus glanadh meigeashonach.
Leibhéil Níos Airde Uathoibrithe agus Intleachta: Cuirfidh córais chliste ar chumas monatóireacht agus coigeartú fíor-ama a dhéanamh ar pharaiméadair éagsúla le linn an phróisis ghlantacháin, rud a fheabhsóidh éifeachtacht ghlantacháin agus éifeachtúlacht táirgthe tuilleadh.
Tá ról ríthábhachtach ag teicneolaíocht glantacháin vaiféir, mar chéim ríthábhachtach i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, chun dromchlaí vaiféir glana a chinntiú le haghaidh próisis ina dhiaidh sin. Baintear truailleáin go héifeachtach trí mheascán de mhodhanna glantacháin éagsúla, rud a sholáthraíonn dromchla foshraithe glan do na chéad chéimeanna eile. De réir mar a théann an teicneolaíocht chun cinn, leanfar de phróisis ghlantacháin a bharrfheabhsú chun freastal ar na héilimh maidir le cruinneas níos airde agus rátaí locht níos ísle i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí.
Am an phoist: 08 Deireadh Fómhair 2024