Tá plánaí criostail agus treoshuíomh criostail dhá chroí-choincheap sa chriostalagrafaíocht, a bhaineann go dlúth leis an struchtúr criostail i dteicneolaíocht ciorcad comhtháite sileacain.
1.Definition agus Airíonna Treoshuíomh Crystal
Is ionann treoshuíomh criostail agus treo sonrach laistigh de chriostail, arna chur in iúl go hiondúil ag innéacsanna treoshuímh criostail. Sainmhínítear treoshuíomh criostail trí aon dhá phointe laitíse a nascadh laistigh den struchtúr criostail, agus tá na tréithe seo a leanas aige: tá líon gan teorainn pointí laitíse ag gach treoshuíomh criostail; is féidir le treoshuíomh criostail aonair a bheith comhdhéanta de threoshuímh criostail iolracha a fhoirmíonn teaghlach treoshuíomh criostail; clúdaíonn an teaghlach treoshuíomh criostail gach pointe laitíse laistigh den chriostail.
Is é an tábhacht a bhaineann le treoshuíomh criostail ná socrú treo na n-adamh laistigh den chriostail a léiriú. Mar shampla, seasann an treoshuíomh criostail [111] do threoir shonrach ina bhfuil cóimheasa teilgean na dtrí haiseanna comhordanáidí 1:1:1.
2. Sainmhíniú agus Airíonna na bPlánaí Criostail
Is plána criostail é plána socraithe adaimh laistigh de chriostail, arna léiriú ag innéacsanna plána criostail (innéacsanna Miller). Mar shampla, tugann (111) le fios go bhfuil cómhalartuithe idircheapa an eitleáin chriostail ar na haiseanna comhordanáidí sa chóimheas 1:1:1. Tá na hairíonna seo a leanas ag an eitleán criostail: tá líon gan teorainn pointí laitíse ag gach eitleán criostail; tá líon gan teorainn eitleáin comhthreomhara ag gach eitleán criostail a fhoirmíonn teaghlach eitleáin criostail; clúdaíonn an teaghlach eitleáin criostail an criostail iomlán.
Is éard atá i gceist le cinneadh innéacsanna Miller ná idircheapanna an eitleáin chriostail a thógáil ar gach ais chomhordanáideach, a gcómhalartuithe a aimsiú, agus iad a thiontú go dtí an cóimheas slánuimhir is lú. Mar shampla, tá idircheapanna ag an eitleán criostail (111) ar na haiseanna x, y, agus z sa chóimheas 1:1:1.
3. An Gaol idir Criostail Planes agus Crystal Treoshuíomh
Is dhá bhealach éagsúla iad eitleáin chriostail agus treoshuíomh criostail chun struchtúr geoiméadrach criostail a chur síos. Tagraíonn treoshuíomh criostail do shocrú na n-adamh feadh treo ar leith, agus tagraíonn eitleán criostail do shocrú na n-adamh ar eitleán ar leith. Tá comhfhreagras áirithe ag an dá cheann seo, ach is ionann iad agus coincheapa fisiceacha éagsúla.
Gaolmhaireacht eochair: Freagraíonn gnáthveicteoir plána criostail (.i. an veicteoir atá ingearach leis an eitleán sin) do threoshuíomh criostail. Mar shampla, comhfhreagraíonn gnáthveicteoir an eitleáin chriostail (111) don treoshuíomh criostail [111], rud a chiallaíonn go bhfuil an socrú adamhach feadh an treo [111] ingearach leis an eitleán sin.
I bpróisis leathsheoltóra, cuireann roghnú eitleáin criostail isteach go mór ar fheidhmíocht gléas. Mar shampla, i leathsheoltóirí sileacain-bhunaithe, is iad na plánaí criostail a úsáidtear go coitianta na heitleáin (100) agus (111) toisc go bhfuil socruithe adamhach éagsúla agus modhanna nascáil i dtreonna difriúla acu. Athraíonn airíonna cosúil le soghluaisteacht leictreon agus fuinneamh dromchla ar phlánaí criostail éagsúla, rud a mbíonn tionchar acu ar fheidhmíocht agus ar phróiseas fáis feistí leathsheoltóra.
4. Feidhmchláir Phraiticiúil i bPróisis Leathsheoltóra
I ndéantúsaíocht leathsheoltóra sileacain-bhunaithe, cuirtear treoshuíomh criostail agus plánaí criostail i bhfeidhm i go leor gnéithe:
Fás Criostail: Is gnách go bhfástar criostail leathsheoltóra feadh treoshuímh criostail ar leith. Is minic a fhásann criostail sileacain feadh na dtreoshuímh [100] nó [111] toisc go bhfuil cobhsaíocht agus socrú adamhach sna treoshuímh seo fabhrach d'fhás criostail.
Próiseas Eitseála: In eitseáil fhliuch, bíonn rátaí eitseála éagsúla ag eitleáin chriostail éagsúla. Mar shampla, tá difríocht idir na rátaí eitseála ar na plánaí sileacain (100) agus (111), rud a fhágann éifeachtaí eitseála anisotrópacha.
Tréithe an Ghléis: Bíonn tionchar ag an eitleán criostail ar shoghluaisteacht leictreon i bhfeistí MOSFET. De ghnáth, bíonn an tsoghluaisteacht níos airde ar an eitleán (100), agus is é sin an fáth go n-úsáideann MOSFETanna nua-aimseartha sileacain-bhunaithe go príomha (100) sliseog.
Go hachomair, tá eitleáin criostail agus treoshuíomh criostail dhá bhealach bunúsacha chun cur síos a dhéanamh ar struchtúr na criostail i criostalagrafaíocht. Léiríonn treoshuíomh criostail na hairíonna treocha laistigh de chriostail, agus cuireann plánaí criostail síos ar eitleáin shonracha laistigh den chriostail. Tá dlúthbhaint ag an dá choincheap seo i ndéantúsaíocht leathsheoltóra. Bíonn tionchar díreach ag roghnú eitleáin chriostail ar airíonna fisiceacha agus ceimiceacha an ábhair, agus bíonn tionchar ag treoshuíomh criostail ar fhás criostail agus ar theicnící próiseála. Tá sé ríthábhachtach an gaol idir eitleáin criostail agus treoshuímh a thuiscint chun próisis leathsheoltóra a bharrfheabhsú agus chun feidhmíocht gléas a fheabhsú.
Am postála: Oct-08-2024