Is dhá choincheap lárnacha sa chriostalagrafaíocht iad plánaí criostail agus treoshuíomh criostail, atá gaolmhar go dlúth leis an struchtúr criostail i dteicneolaíocht chiorcad comhtháite bunaithe ar sileacan.
1. Sainmhíniú agus Airíonna Treoshuíomh Criostail
Léiríonn treoshuíomh criostail treo ar leith laistigh de chriostal, a léirítear de ghnáth le hinnéacsanna treoshuímh criostail. Sainmhínítear treoshuíomh criostail trí aon dá phointe laitíse a nascadh laistigh den struchtúr criostail, agus tá na tréithe seo a leanas aige: tá líon gan teorainn pointí laitíse i ngach treoshuíomh criostail; is féidir le treoshuíomh criostail aonair a bheith comhdhéanta de threoshuímh criostail comhthreomhara iolracha a chruthaíonn teaghlach treoshuímh criostail; clúdaíonn an teaghlach treoshuímh criostail gach pointe laitíse laistigh den chriostal.
Tá tábhacht le treoshuíomh criostail i léiriú a dhéanamh ar shocrú treorach na n-adamh laistigh den chriostal. Mar shampla, léiríonn treoshuíomh criostail [111] treo sonrach ina bhfuil cóimheasa teilgean na dtrí ais chomhordanáideacha 1:1:1.

2. Sainmhíniú agus Airíonna na bPlánaí Criostail
Is plána socrúcháin adamh laistigh de chriostal é plána criostail, arna léiriú ag innéacsanna plána criostail (innéacsanna Miller). Mar shampla, léiríonn (111) go bhfuil cómhalartaigh na n-idirghabhálacha den phlána criostail ar na haiseanna comhordanáideacha sa chóimheas 1:1:1. Tá na hairíonna seo a leanas ag an bplána criostail: tá líon gan teorainn pointí laitíse i ngach plána criostail; tá líon gan teorainn plánaí comhthreomhara i ngach plána criostail a chruthaíonn teaghlach plána criostail; clúdaíonn an teaghlach plána criostail an criostal ar fad.
Baineann cinneadh innéacsanna Miller le trasnáin an eitleáin chriostail a thógáil ar gach ais chomhordanáide, a gcóimheasa cómhalartacha a aimsiú, agus iad a thiontú go dtí an cóimheas slánuimhreach is lú. Mar shampla, tá trasnáin ag an eitleán criostail (111) ar na haiseanna x, y, agus z sa chóimheas 1:1:1.

3. An Gaol idir Eitleáin Chriostail agus Treoshuíomh Criostail
Is dhá bhealach éagsúla iad eitleáin chriostail agus treoshuíomh criostail chun struchtúr geoiméadrach criostail a chur síos. Tagraíonn treoshuíomh criostail do shocrú na n-adamh feadh treo ar leith, agus tagraíonn eitleán criostail do shocrú na n-adamh ar eitleán ar leith. Tá comhfhreagras áirithe ag an dá cheann seo, ach léiríonn siad coincheapa fisiceacha difriúla.
Príomhghaol: Freagraíonn veicteoir gnáthphlána criostail (i.e., an veicteoir atá ingearach leis an bplána sin) do threoshuíomh criostail. Mar shampla, comhfhreagraíonn veicteoir gnáthphlána an chriostail (111) do threoshuíomh an chriostail [111], rud a chiallaíonn go bhfuil an socrú adamhach feadh an treo [111] ingearach leis an bplána sin.
I bpróisis leathsheoltóra, bíonn tionchar mór ag roghnú eitleán criostail ar fheidhmíocht gléasanna. Mar shampla, i leathsheoltóirí bunaithe ar shiliceán, is iad na heitleáin criostail a úsáidtear go coitianta ná na heitleáin (100) agus (111) toisc go bhfuil socruithe adamhacha agus modhanna nasctha éagsúla acu i dtreonna difriúla. Athraíonn airíonna amhail soghluaisteacht leictreon agus fuinneamh dromchla ar eitleáin criostail éagsúla, rud a mbíonn tionchar aige ar fheidhmíocht agus ar phróiseas fáis gléasanna leathsheoltóra.

4. Feidhmeanna Praiticiúla i bPróisis Leathsheoltóra
I ndéantúsaíocht leathsheoltóra bunaithe ar sileacan, cuirtear treoshuíomh criostail agus eitleáin criostail i bhfeidhm i go leor gnéithe:
Fás Criostail: De ghnáth, fásann criostail leathsheoltóra feadh treoshuímh chriostail shonracha. Is minic a fhásann criostail sileacain feadh na dtreoshuímh [100] nó [111] toisc go bhfuil an chobhsaíocht agus an socrú adamhach sna treoshuímh seo fabhrach d'fhás criostail.
Próiseas Greanta: I ngreanta fliuch, bíonn rátaí greanta éagsúla ag eitleáin chriostail éagsúla. Mar shampla, bíonn difríocht idir na rátaí greanta ar eitleáin (100) agus (111) sileacain, rud a fhágann éifeachtaí greanta neamh-isotropic.
Saintréithe na bhFeiste: Bíonn tionchar ag an eitleán criostail ar shoghluaisteacht na leictreon i bhfeistí MOSFET. De ghnáth, bíonn an soghluaisteacht níos airde ar an eitleán (100), agus is é sin an fáth a n-úsáideann MOSFETanna nua-aimseartha atá bunaithe ar sileacan vaiféir (100) den chuid is mó.
Mar achoimre, is dhá bhealach bhunúsacha iad eitleáin chriostail agus treoshuíomhanna criostail chun struchtúr criostail a chur síos i gcriostalagrafaíocht. Léiríonn treoshuíomh criostail na hairíonna treorach laistigh de chriostal, agus cuireann eitleáin chriostail síos ar eitleáin shonracha laistigh den chriostal. Tá dlúthbhaint ag an dá choincheap seo i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí. Bíonn tionchar díreach ag roghnú eitleáin chriostail ar airíonna fisiceacha agus ceimiceacha an ábhair, agus bíonn tionchar ag treoshuíomh criostail ar fhás criostail agus ar theicnící próiseála. Tá sé ríthábhachtach an gaol idir eitleáin chriostail agus treoshuíomhanna a thuiscint chun próisis leathsheoltóirí a bharrfheabhsú agus feidhmíocht gléasanna a fheabhsú.
Am an phoist: 08 Deireadh Fómhair 2024