I bpróiseas forbartha borradhach thionscal na leathsheoltóirí, criostal aonair snastasceallóga sileacainimríonn siad ról ríthábhachtach. Feidhmíonn siad mar an t-ábhar bunúsach chun gléasanna micrileictreonacha éagsúla a tháirgeadh. Ó chiorcaid chomhtháite casta agus beachta go micreaphróiseálaithe ardluais agus braiteoirí ilfheidhmeacha, criostal aonair snastasceallóga sileacaintá siad riachtanach. Bíonn tionchar díreach ag na difríochtaí ina bhfeidhmíocht agus ina sonraíochtaí ar cháilíocht agus ar fheidhmíocht na dtáirgí deiridh. Seo a leanas na sonraíochtaí agus na paraiméadair choitianta a bhaineann le sceallóga sileacain criostail aonair snasta:

Trastomhas: Tomhaistear méid na sliseán sileacain criostail aonair leathsheoltóra de réir a dtrastomhas, agus tagann siad i réimse sonraíochtaí. I measc na dtrastomhas coitianta tá 2 orlach (50.8mm), 3 orlach (76.2mm), 4 orlach (100mm), 5 orlach (125mm), 6 orlach (150mm), 8 n-orlach (200mm), 12 orlach (300mm), agus 18 n-orlach (450mm). Tá trastomhais éagsúla oiriúnach do riachtanais táirgthe agus do riachtanais phróisis éagsúla. Mar shampla, úsáidtear sliseáin le trastomhas níos lú go coitianta le haghaidh gléasanna micrileictreonacha speisialta, beaga, agus léiríonn sliseáin le trastomhas níos mó éifeachtúlacht táirgthe níos airde agus buntáistí costais i ndéantúsaíocht chiorcad comhtháite ar scála mór. Déantar riachtanais dromchla a chatagóiriú mar snasta aontaobhach (SSP) agus snasta déthaobhach (DSP). Úsáidtear sliseáin snasta aontaobhach le haghaidh gléasanna a bhfuil cothromaíocht ard ag teastáil uathu ar thaobh amháin, amhail braiteoirí áirithe. Úsáidtear sliseáin snasta déthaobhach go coitianta le haghaidh ciorcad comhtháite agus táirgí eile a bhfuil cruinneas ard ag teastáil uathu ar an dá dhromchla. Riachtanas Dromchla (Críochnú): SSP snasta aontaobhach / DSP snasta déthaobhach.

Cineál/Dópán: (1) Leathsheoltóir Cineál-N: Nuair a thugtar adaimh eisíontas áirithe isteach sa leathsheoltóir intreach, athraíonn siad a sheoltacht. Mar shampla, nuair a chuirtear dúile cúigfhiúsacha cosúil le nítrigin (N), fosfar (P), arsanaic (As), nó antamón (Sb) leis, cruthaíonn a leictreoin vaileins naisc chomhfhiúsacha le leictreoin vaileins na n-adamh sileacain máguaird, rud a fhágann leictreon breise nach bhfuil ceangailte le nasc comhfhiúsach. Mar thoradh air sin, bíonn tiúchan leictreon níos mó ná tiúchan an phoill, rud a chruthaíonn leathsheoltóir Cineál-N, ar a dtugtar leathsheoltóir Cineál-leictreon freisin. Tá leathsheoltóirí Cineál-N ríthábhachtach i ndéantúsaíocht gléasanna a bhfuil leictreoin ag teastáil uathu mar phríomhiompróirí luchta, amhail gléasanna cumhachta áirithe. (2) Leathsheoltóir Cineál-P: Nuair a thugtar dúile eisíontas trífhiúsacha cosúil le bórón (B), galliam (Ga), nó indiam (In) isteach sa leathsheoltóir sileacain, cruthaíonn leictreoin vaileins na n-adamh eisíontas naisc chomhfhiúsacha leis na hadaimh sileacain máguaird, ach níl leictreon vaileins amháin ar a laghad acu agus ní féidir leo nasc comhfhiúsach iomlán a fhoirmiú. Mar thoradh air sin, bíonn tiúchan poill níos mó ná tiúchan na leictreon, rud a chruthaíonn leathsheoltóir de chineál P, ar a dtugtar leathsheoltóir de chineál poill freisin. Tá ról lárnach ag leathsheoltóirí de chineál P i ndéantúsaíocht gléasanna ina bhfeidhmíonn poill mar phríomhiompróirí luchta, amhail dé-óidí agus trasraitheoirí áirithe.

Friotaíocht: Is cainníocht fhisiceach ríthábhachtach í an fhriotaíocht a thomhaiseann seoltacht leictreach sceallóga sileacain criostail aonair snasta. Léiríonn a luach feidhmíocht sheoltachta an ábhair. Dá ísle an fhriotaíocht, is amhlaidh is fearr seoltacht an sceallóige sileacain; os a choinne sin, dá airde an fhriotaíocht, is amhlaidh is measa an seoltacht. Cinntear friotaíocht sceallóga sileacain de réir a n-airíonna ábhair dhúchasacha, agus bíonn tionchar suntasach ag an teocht freisin. Go ginearálta, méadaíonn friotaíocht sceallóga sileacain de réir na teochta. I bhfeidhmeanna praiticiúla, bíonn ceanglais fhriotaíochta éagsúla ag feistí micrileictreonacha éagsúla do sceallóga sileacain. Mar shampla, ní mór rialú beacht ar fhriotaíocht a dhéanamh ar sceallóga a úsáidtear i ndéantúsaíocht ciorcad comhtháite chun feidhmíocht fheiste chobhsaí agus iontaofa a chinntiú.

Treoshuíomh: Léiríonn treoshuíomh criostail an tsliabháin treo criostalagrafach an laitíse sileacain, a shonraítear de ghnáth le hinnéacsanna Miller amhail (100), (110), (111), etc. Bíonn airíonna fisiceacha éagsúla ag treoshuíomhanna criostail éagsúla, amhail dlús líne, a athraíonn bunaithe ar an treoshuíomh. Is féidir leis an difríocht seo difear a dhéanamh do fheidhmíocht an tsliabháin i gcéimeanna próiseála ina dhiaidh sin agus do fheidhmíocht deiridh gléasanna micrileictreonacha. Sa phróiseas monaraíochta, is féidir le sliabhán sileacain a roghnú leis an treoshuíomh cuí do riachtanais éagsúla gléasanna feidhmíocht an ghléasanna a bharrfheabhsú, éifeachtúlacht táirgthe a fheabhsú, agus cáilíocht an táirge a fheabhsú.

Cothrom/Eang: Tá ról ríthábhachtach ag an imeall cothrom (Cothrom) nó ag an eang-V (Eang) ar imlíne an tsliabh sileacain in ailíniú treoshuíomh criostail agus is aitheantóir tábhachtach é i ndéantúsaíocht agus i bpróiseáil an tsliabh. Freagraíonn slabháin de thrastomhais éagsúla do chaighdeáin éagsúla maidir le fad an Eanga Chothrom nó an Eanga. Aicmítear na himill ailínithe ina imeall cothrom príomhúil agus imeall cothrom tánaisteach. Úsáidtear an imeall cothrom príomhúil go príomha chun treoshuíomh bunúsach criostail agus tagairt phróiseála an tsliabh a chinneadh, agus cuidíonn an imeall cothrom tánaisteach tuilleadh le hailíniú agus próiseáil chruinn, rud a chinntíonn oibriú cruinn agus comhsheasmhacht an tsliabh ar fud na líne táirgeachta.

Tiús: De ghnáth, sonraítear tiús vaiféir i micriméadair (μm), agus raonta tiús coitianta idir 100μm agus 1000μm. Tá vaiféir de thiús éagsúil oiriúnach do chineálacha éagsúla gléasanna micrileictreonacha. Úsáidtear vaiféir níos tanaí (m.sh., 100μm – 300μm) go minic le haghaidh monarú sceallóga a éilíonn rialú dian ar thiús, rud a laghdaíonn méid agus meáchan na sceallóige agus a mhéadaíonn an dlús comhtháthaithe. Úsáidtear vaiféir níos tibhe (m.sh., 500μm – 1000μm) go forleathan i bhfeistí a éilíonn neart meicniúil níos airde, amhail gléasanna leathsheoltóra cumhachta, chun cobhsaíocht a chinntiú le linn oibríochta.

Garbhacht Dromchla: Tá garbhacht dromchla ar cheann de na príomhpharaiméadair chun cáilíocht na vaiféar a mheas, toisc go mbíonn tionchar díreach aige ar an ngreamaitheacht idir an vaiféar agus ábhair scannáin tanaí taiscthe ina dhiaidh sin, chomh maith le feidhmíocht leictreach na feiste. De ghnáth, léirítear é mar gharbhacht fhréamh mheáin an chearnóige (RMS) (i nm). Ciallaíonn garbhacht dromchla níos ísle go bhfuil dromchla na vaiféar níos míne, rud a chabhraíonn le feiniméin cosúil le scaipeadh leictreon a laghdú agus a fheabhsaíonn feidhmíocht agus iontaofacht na bhfeistí. I bpróisis déantúsaíochta leathsheoltóra chun cinn, tá ceanglais gharbhachta dromchla ag éirí níos déine, go háirithe le haghaidh déantúsaíochta ciorcad comhtháite ard-deireadh, áit a gcaithfear garbhacht dromchla a rialú go cúpla nanaiméadar nó fiú níos ísle.

Éagsúlacht Iomlán Tiúis (TTV): Tagraíonn éagsúlacht iomlán tiúis don difríocht idir an tiús uasta agus an tiús íosta a thomhaistear ag pointí iolracha ar dhromchla na vaiféar, a shloinntear de ghnáth i μm. D’fhéadfadh TTV ard dialltaí a bheith mar thoradh air i bpróisis amhail fótailitagrafaíocht agus greanadh, rud a théann i bhfeidhm ar chomhsheasmhacht feidhmíochta agus toradh na bhfeistí. Dá bhrí sin, is céim ríthábhachtach í rialú TTV le linn monarú vaiféar chun cáilíocht an táirge a chinntiú. I gcás monarú gléasanna micrileictreonacha ardchruinnis, is gnách go mbíonn an TTV laistigh de chúpla micrimhéadar.

Bogha: Tagraíonn bogha don diall idir dromchla an tsliabháin agus an plána cothrom idéalach, a thomhaistear de ghnáth i μm. Féadfaidh slabháin a bhfuil bogha iomarcach orthu briseadh nó strus míchothrom a fhulaingt le linn próiseála ina dhiaidh sin, rud a théann i bhfeidhm ar éifeachtúlacht táirgthe agus ar cháilíocht an táirge. Go háirithe i bpróisis a éilíonn cothromaíocht ard, amhail fótailitagrafaíocht, ní mór bogha a rialú laistigh de raon sonrach chun cruinneas agus comhsheasmhacht an phatrúin fótailitagrafaíochta a chinntiú.

Dlúth: Léiríonn dlúth an diall idir dromchla an tsaile agus an cruth sféarúil idéalach, a thomhaistear i μm freisin. Cosúil le bogha, is táscaire tábhachtach é dlúth ar chomhréidh an tsaile. Ní hamháin go mbíonn tionchar ag dlúth iomarcach ar chruinneas socrúcháin an tsaile i dtrealamh próiseála ach is féidir leis fadhbanna a chruthú le linn an phróisis phacáistithe sceallóga, amhail droch-nasc idir an tslis agus an t-ábhar pacáistithe, rud a théann i bhfeidhm ar iontaofacht na feiste. I ndéantúsaíocht leathsheoltóra ardleibhéil, tá ceanglais dlúth ag éirí níos déine chun freastal ar éilimh phróisis déantúsaíochta agus pacáistithe sceallóga chun cinn.

Próifíl Imeall: Tá próifíl imeall vaiféir ríthábhachtach dá phróiseáil agus dá láimhseáil ina dhiaidh sin. De ghnáth, sonraítear é leis an gCrios Eisiaimh Imeall (EEZ), a shainíonn an t-achar ón imeall vaiféir nach gceadaítear aon phróiseáil. Cuidíonn próifíl imeall atá deartha i gceart agus rialú beacht EEZ le lochtanna imeall, tiúchan struis agus saincheisteanna eile a sheachaint le linn próiseála, rud a fheabhsaíonn cáilíocht agus toradh foriomlán an vaiféir. I roinnt próiseas déantúsaíochta chun cinn, ní mór cruinneas próifíl imeall a bheith ag an leibhéal fo-mhicrón.

Líon na gCáithníní: Bíonn tionchar suntasach ag líon agus dáileadh méide na gcáithníní ar dhromchla na vaiféar ar fheidhmíocht gléasanna micrileictreonacha. Is féidir le cáithníní iomarcacha nó móra teipeanna gléasanna a bheith mar thoradh orthu, amhail ciorcaid ghearra nó sceitheadh, rud a laghdaíonn toradh an táirge. Dá bhrí sin, is gnách go ndéantar comhaireamh na gcáithníní a thomhas trí na cáithníní in aghaidh an aonaid achair a chomhaireamh, amhail líon na gcáithníní atá níos mó ná 0.3μm. Is beart riachtanach é rialú docht ar chomhaireamh na gcáithníní le linn monarú vaiféar chun cáilíocht an táirge a chinntiú. Úsáidtear teicneolaíochtaí glantacháin chun cinn agus timpeallacht táirgthe ghlan chun éilliú cáithníní ar dhromchla na vaiféar a íoslaghdú.

Táirgeadh gaolmhar

Cineál Foshraithe Si le haghaidh Sileacan Criostail Aonair N/P le haghaidh Sileacan Carbaíde Roghnach

Vaiféar FZ CZ Si i stoc Vaiféar sileacain 12 orlach Prime nó Test