Le forbairt leanúnach na teicneolaíochta leathsheoltóra, sa tionscal leathsheoltóra agus fiú sa tionscal fótavoltach, tá na ceanglais maidir le cáilíocht dromchla an tsubstráit wafer nó an bhileog epitaxial an-dian freisin.Mar sin, cad iad na ceanglais cháilíochta le haghaidh sliseog?Ag glacadh le sliseog sapphire mar shampla, cad iad na táscairí is féidir a úsáid chun cáilíocht dromchla na sliseog a mheas?
Cad iad táscairí meastóireachta na sliseog?
Na Trí Tháscaire
Maidir le sliseog sapphire, is iad a tháscairí meastóireachta ná diall tiús iomlán (TTV), bend (Bow) agus Warp (Warp).Léiríonn na trí pharaiméadar seo le chéile maoile agus aonfhoirmeacht thiús an wafer sileacain, agus is féidir leo méid ripple an wafer a thomhas.Is féidir an corrugation a chomhcheangal leis an Maoile chun cáilíocht an dromchla wafer a mheas.
Cad é TTV, BOW, Warp?
TTV (Athrúchán Tiús Iomlán)
Is é TTV an difríocht idir tiús uasta agus íosta sliseog.Is innéacs tábhachtach é an paraiméadar seo a úsáidtear chun aonfhoirmeacht tiús wafer a thomhas.I bpróiseas leathsheoltóra, caithfidh tiús an wafer a bheith an-aonfhoirmeach thar an dromchla iomlán.De ghnáth déantar tomhais ag cúig shuíomh ar an sliseog agus ríomhtar an difríocht.I ndeireadh na dála, is bunús tábhachtach é an luach seo chun cáilíocht an sliseog a mheas.
Bow
Tagraíonn bogha i ndéantúsaíocht leathsheoltóra do lúbadh wafer, rud a fhágann an fad idir lárphointe wafer neamhchlampáilte agus an eitleán tagartha.Is dócha go dtagann an focal as cur síos ar chruth réada nuair a bhíonn sé lúbtha, cosúil le cruth cuartha bogha.Sainmhínítear luach Bow tríd an diall idir lár agus imeall an wafer sileacain a thomhas.Sloinntear an luach seo i micriméadair (µm) de ghnáth.
Dlúth
Is airí domhanda de chuid sliseog é dlúith a thomhaiseann an difríocht idir an t-achar uasta agus an t-íosmhéid idir lár sliseog neamhchlampáilte agus an t-eitleán tagartha.Léiríonn sé an fad ó dhromchla an wafer sileacain go dtí an eitleán.
Cad é an difríocht idir TTV, Bow, Warp?
Díríonn TTV ar athruithe i dtiús agus ní bhaineann sé le lúbadh nó saobhadh an sliseog.
Díríonn Bow ar an bend iomlán, go príomha ag smaoineamh ar bend an lárphointe agus an imeall.
Tá warp níos cuimsithí, lena n-áirítear lúbadh agus casadh an dromchla sliseog iomlán.
Cé go bhfuil baint ag na trí pharaiméadar seo le cruth agus airíonna geoiméadracha an wafer sileacain, déantar iad a thomhas agus a thuairisciú go difriúil, agus tá a dtionchar ar an bpróiseas leathsheoltóra agus ar phróiseáil wafer difriúil freisin.
Is lú na trí pharaiméadar, is amhlaidh is fearr, agus is mó an paraiméadar, is mó an tionchar diúltach ar an bpróiseas leathsheoltóra.Dá bhrí sin, mar chleachtóir leathsheoltóra, ní mór dúinn a thuiscint ar an tábhacht a bhaineann le paraiméadair phróifíl wafer don phróiseas próiseas iomlán, a dhéanamh próiseas leathsheoltóra, ní mór aird a thabhairt ar na sonraí.
（cinsireacht）
Am postála: Meitheamh-24-2024