Cad é an difríocht idir substráit seoltaí SiC agus substráit leath-inslithe?

SiC chomhdhúile sileacainTagraíonn gléas don fheiste déanta as chomhdhúile sileacain mar amhábhar.

De réir na n-airíonna friotaíochta éagsúla, roinntear é i bhfeistí cumhachta seoltacha chomhdhúile sileacain aguscairbíd sileacain leath-inslitheFeistí RF.

Foirmeacha agus feidhmchláir phríomhfheiste de chomhdhúile sileacain

Na príomhbhuntáistí a bhaineann le SiC thallSi ábhairiad:

Tá bearna bannaí ag SiC 3 huaire níos mó ná Si, rud a d'fhéadfadh sceitheadh ​​a laghdú agus an lamháltas teochta a mhéadú.

Tá SiC 10 n-uaire an neart réimse miondealaithe Si, is féidir feabhas a chur ar an dlús reatha, minicíocht oibriúcháin, sheasamh toilleadh voltais agus laghdú ar an caillteanas ar-uaire, níos oiriúnaí d'iarratais ardvoltais.

Tá dhá oiread luas srutha sáithiúcháin leictreon SiC ag SiC, ionas gur féidir leis oibriú ag minicíocht níos airde.

Tá 3 huaire seoltacht theirmeach SiC ag SiC, feidhmíocht diomailt teasa níos fearr, is féidir leis tacú le dlús ardchumhachta agus riachtanais diomailt teasa a laghdú, rud a fhágann go bhfuil an gléas níos éadroime.

Foshraith seoltach

Foshraith seoltaí: Trí eisíontais éagsúla sa chriostail a bhaint, go háirithe neamhíonachtaí leibhéal éadomhain, chun friotachas ard intreach an chriostail a bhaint amach.

a1

Seoltatsubstráit chomhdhúile sileacainsliseog SiC

Tá gléas cumhachta chomhdhúile sileacain seoltaí trí fhás ciseal epitaxial chomhdhúile sileacain ar an tsubstráit seoltaí, déantar an leathán epitaxial chomhdhúile sileacain a phróiseáil tuilleadh, lena n-áirítear táirgeadh dé-óid Schottky, MOSFET, IGBT, etc., a úsáidtear go príomha i bhfeithiclí leictreacha, cumhacht fótavoltach. giniúint, idirthuras iarnróid, ionad sonraí, muirearú agus bonneagar eile. Is iad seo a leanas na buntáistí feidhmíochta:

Saintréithe ardbhrú feabhsaithe. Tá neart an réimse leictrigh miondealaithe de chomhdhúile sileacain níos mó ná 10 n-uaire níos mó ná sileacain, rud a fhágann go bhfuil friotaíocht ardbhrú feistí cairbíde sileacain i bhfad níos airde ná sin feistí sileacain coibhéiseacha.

Saintréithe teocht ard níos fearr. Tá seoltacht teirmeach níos airde ag chomhdhúile sileacain ná sileacain, rud a fhágann go bhfuil an gléas diomailt teasa níos éasca agus an teorainn teocht oibriúcháin níos airde. Is féidir méadú suntasach ar dhlús cumhachta a bheith mar thoradh ar fhriotaíocht teocht ard, agus na ceanglais ar an gcóras fuaraithe a laghdú, ionas gur féidir leis an teirminéal a bheith níos éadroma agus miniaturized.

Tomhaltas fuinnimh níos ísle. ① Tá frithsheasmhacht an-íseal ag gléas chomhdhúile sileacain agus ar-chaillteanas íseal; (2) Laghdaítear sruth sceite feistí cairbíde sileacain go suntasach ná mar atá i bhfeistí sileacain, rud a laghdóidh caillteanas cumhachta; ③ Níl aon fheiniméan fuíllithe reatha i bpróiseas sealaithe feistí chomhdhúile sileacain, agus tá an caillteanas aistrithe íseal, rud a fheabhsaíonn minicíocht aistrithe na n-iarratas praiticiúla go mór.

Foshraith SiC leath-inslithe

Foshraith SiC leath-inslithe: Úsáidtear dópáil N chun friotachas táirgí seoltacha a rialú go beacht tríd an gcaidreamh comhfhreagrach idir tiúchan dópála nítrigine, ráta fáis agus friotachas criostail a chalabrú.

a2
a3

Ábhar substráit leath-inslithe ard-íonachta

Déantar feistí RF carbóin-bhunaithe sileacain leath-inslithe a dhéanamh tuilleadh trí chiseal epitaxial nítríde gailliam a fhás ar shubstráit chomhdhúile sileacain leath-inslithe chun bileog epitaxial nítríde sileacain a ullmhú, lena n-áirítear HEMT agus feistí RF nítríde gailliam eile, a úsáidtear go príomha i gcumarsáid 5G, cumarsáid feithicle, feidhmchláir chosanta, tarchur sonraí, aeraspáis.

Is é an ráta sreabhadh leictreon sáithithe de chomhdhúile sileacain agus ábhair nítríde ghailliam ná 2.0 agus 2.5 uair níos mó ná sileacain faoi seach, agus mar sin tá minicíocht oibriúcháin feistí chomhdhúile sileacain agus nítríde ghailliam níos mó ná sin na bhfeistí sileacain traidisiúnta. Mar sin féin, tá an míbhuntáiste droch-fhriotaíocht teasa ag ábhar nítríde Gailliam, cé go bhfuil friotaíocht teasa maith agus seoltacht theirmeach maith ag chomhdhúile sileacain, rud a d'fhéadfadh droch-fhriotaíocht teasa feistí nítríde ghailliam a dhéanamh, agus mar sin glacann an tionscal chomhdhúile sileacain leath-inslithe mar an tsubstráit. , agus fástar ciseal epitaxial ar an tsubstráit chomhdhúile sileacain chun feistí RF a mhonarú.

Má tá sárú ann, déan teagmháil le scriosadh


Am postála: Jul-16-2024