Foshraith SIC cineál-p 4H/6H-P 3C-N CINEÁL 4 orlach 〈111〉± 0.5°Zero MPD
Foshraitheanna Ilchodacha SiC Cineál 4H/6H-P Tábla paraiméadair choiteann
4 trastomhas orlach SiliconFoshraith Carbíde (SiC) Sonraíocht
| Grád | Táirgeadh nialasach MPD Grád (Z Grád) | Táirgeadh Caighdeánach Grád (P Grád) | Grád Bréige (D Grád) | ||
| Trastomhas | 99.5 mm ~ 100.0 mm | ||||
| Tiús | 350 μm ± 25 μm | ||||
| Treoshuíomh na Vaiféir | Lasmuigh den ais: 2.0°-4.0° i dtreo [1120] ± 0.5° le haghaidh 4H/6H-P, Oais n: 〈111〉± 0.5° le haghaidh 3C-N | ||||
| Dlús Micripíopa | 0 cm-2 | ||||
| Friotaíocht | cineál-p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
| cineál-n 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
| Treoshuíomh Cothrom Príomhúil | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
| 3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
| Fad Cothrom Príomhúil | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
| Fad Cothrom Tánaisteach | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
| Treoshuíomh Cothrom Tánaisteach | Aghaidh sileacain suas: 90° CW. ó Prime cothrom±5.0° | ||||
| Eisiamh Imeall | 3 mm | 6 mm | |||
| LTV/TTV/Bogha/Dlúth | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
| Garbhacht | Polainnis Ra≤1 nm | ||||
| CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
| Scoilteanna Imeall de bharr Solas Ard-Déine | Dada | Fad carnach ≤ 10 mm, fad aonair ≤2 mm | |||
| Plátaí Heicseagánacha de réir Solas Ard-Déine | Limistéar carnach ≤0.05% | Limistéar carnach ≤0.1% | |||
| Limistéir Pholaitíopa de réir Solais Ard-Déine | Dada | Limistéar carnach ≤3% | |||
| Cuimsithe Carbóin Amhairc | Limistéar carnach ≤0.05% | Limistéar carnach ≤3% | |||
| Scríobann Dromchla Sileacain de bharr Solas Ard-Déine | Dada | Fad carnach ≤1 × trastomhas vaiféir | |||
| Sceallóga Imeall Ard-Déine Solais | Gan aon cheann ceadaithe ≥0.2mm leithead agus doimhneacht | 5 cheadaithe, ≤1 mm an ceann | |||
| Éilliú Dromchla Sileacain de bharr Ard-Déine | Dada | ||||
| Pacáistiú | Caiséad Il-vaiféir nó Coimeádán Vaiféir Aonair | ||||
Nótaí:
※Baineann teorainneacha lochtanna le dromchla iomlán an tsliabháin seachas an limistéar eisiata imeall. # Níor cheart na scríobtha a sheiceáil ach amháin ar aghaidh Si.
Úsáidtear an tsubstráit SiC 4-orlach de chineál P 4H/6H-P 3C-N le treoshuíomh 〈111〉± 0.5° agus grád nialasach MPD go forleathan in iarratais leictreonacha ardfheidhmíochta. A bhuíochas dá sheoltacht theirmeach den scoth agus dá voltas miondealaithe ard, tá sé oiriúnach do leictreonaic chumhachta, amhail lasca ardvoltais, inbhéirteoirí, agus tiontairí cumhachta, ag feidhmiú i ndálaí foircneacha. Ina theannta sin, cinntíonn friotaíocht an tsubstráit in aghaidh teochtaí arda agus creimeadh feidhmíocht chobhsaí i dtimpeallachtaí crua. Feabhsaíonn an treoshuíomh beacht 〈111〉± 0.5° cruinneas déantúsaíochta, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do ghléasanna RF agus d'iarratais ardmhinicíochta, amhail córais radair agus trealamh cumarsáide gan sreang.
Áirítear ar na buntáistí a bhaineann le foshraitheanna ilchodacha SiC de chineál N:
1. Seoltacht Theirmeach Ard: Diúltú teasa éifeachtach, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do thimpeallachtaí ardteochta agus d'fheidhmchláir ardchumhachta.
2. Voltas Miondealú Ard: Cinntíonn sé feidhmíocht iontaofa in iarratais ardvoltais cosúil le tiontairí cumhachta agus inbhéirteoirí.
3. Grád MPD nialasach (Locht Micrea-Phíopa): Ráthaíonn sé lochtanna íosta, ag soláthar cobhsaíochta agus ard-iontaofachta i bhfeistí leictreonacha criticiúla.
4. Friotaíocht in aghaidh Creimeadh: Marthanach i dtimpeallachtaí crua, ag cinntiú feidhmiúlacht fhadtéarmach i ndálaí diana.
5. Treoshuíomh Beacht 〈111〉± 0.5°: Ceadaíonn sé ailíniú cruinn le linn monaraíochta, rud a fheabhsaíonn feidhmíocht na feiste in iarratais ardmhinicíochta agus RF.
Tríd is tríd, is ábhar ardfheidhmíochta é an tsubstráit SiC 4-orlach de chineál P 4H/6H-P 3C-N le treoshuíomh 〈111〉± 0.5° agus grád Nialasach MPD atá oiriúnach d'fheidhmchláir leictreonacha chun cinn. Déanann a sheoltacht theirmeach den scoth agus a voltas miondealaithe ard é foirfe do leictreonaic chumhachta cosúil le lasca ardvoltais, inbhéirteoirí agus tiontairí. Cinntíonn an grád Nialasach MPD lochtanna íosta, ag soláthar iontaofachta agus cobhsaíochta i bhfeistí criticiúla. Ina theannta sin, cinntíonn friotaíocht an tsubstráit i gcoinne creimeadh agus teochtaí arda marthanacht i dtimpeallachtaí crua. Ceadaíonn an treoshuíomh beacht 〈111〉± 0.5° ailíniú cruinn le linn monaraíochta, rud a fhágann go bhfuil sé an-oiriúnach do fheistí RF agus d'fheidhmchláir ardmhinicíochta.
Léaráid Mhionsonraithe
