Trealamh Fáis Ingot Sapphire Modh Czochralski CZ chun Sliseáin Sapphire 2 orlach-12 orlach a Tháirgeadh
Prionsabal Oibre
Oibríonn an modh CZ trí na céimeanna seo a leanas:
1. Amhábhair Leáite: Leáitear Al₂O₃ ard-íonachta (íonacht >99.999%) i mbreogán iridiam ag 2050–2100°C.
2. Réamhrá ar Chriostal Síl: Íslítear criostal síl isteach sa leá, agus ina dhiaidh sin tarraingítear go tapa é chun muineál (trastomhas <1 mm) a fhoirmiú chun díláithrithe a dhíchur.
3. Foirmiú Gualainne agus Fás Toirchis: Laghdaítear an luas tarraingthe go 0.2–1 mm/u, ag leathnú trastomhas an chriostail de réir a chéile go dtí an méid sprice (m.sh., 4–12 orlach).
4. Ainéalú agus Fuarú: Fuaraítear an criostal ag 0.1–0.5°C/nóim chun scoilteadh de bharr struis theirmigh a íoslaghdú.
5. Cineálacha Criostail Comhoiriúnacha:
Grád Leictreonach: Foshraitheanna leathsheoltóra (TTV <5 μm)
Grád Optúil: Fuinneoga léasair UV (tarchur >90%@200 nm)
Malartacha Dópáilte: Rúibín (tiúchan Cr³⁺ 0.01–0.5% de réir meáchain), feadánra gorm saifír
Comhpháirteanna Croíchórais
1. Córas Leá
Crucible Iridiam: Frithsheasmhach in aghaidh 2300°C, frithsheasmhach in aghaidh creimeadh, comhoiriúnach le leáigh mhóra (100–400 kg).
Foirnéis Téimh Ionduchtaithe: Rialú teochta neamhspleách ilchriosach (±0.5°C), grádáin theirmeacha optamaithe.
2. Córas Tarraingthe agus Rothlaithe
Mótar Servo Ard-Bheachtais: Taifeach tarraingthe 0.01 mm/u, comhchruinniú rothlach <0.01 mm.
Séala Sreabhán Maighnéadach: Tarchur neamh-theagmhála le haghaidh fáis leanúnaigh (>72 uair an chloig).
3. Córas Rialaithe Teirmeach
Rialú Lúb Dúnta PID: Coigeartú cumhachta i bhfíor-am (50–200 kW) chun an réimse teirmeach a chobhsú.
Cosaint ó Ghás Támh: meascán Ar/N₂ (íonacht 99.999%) chun ocsaídiú a chosc.
4. Uathoibriú agus Monatóireacht
Monatóireacht ar Thrastomhas CCD: Aiseolas fíor-ama (cruinneas ±0.01 mm).
Teirmeagrafaíocht Infridhearg: Déanann monatóireacht ar mhórfhoirmiú an chomhéadain sholad-leachta.
Comparáid Modhanna CZ vs. KY
Paraiméadar | Modh CZ | Modh KY |
Uasmhéid Criostail | 12 orlach (300 mm) | 400 mm (tinní cruth piorra) |
Dlús Lochtanna | <100/cm² | <50/cm² |
Ráta Fáis | 0.5–5 mm/u | 0.1–2 mm/u |
Tomhaltas Fuinnimh | 50–80 kWh/kg | 80–120 kWh/kg |
Iarratais | Foshraitheanna LED, eipitacsas GaN | Fuinneoga optúla, ingots móra |
Costas | Measartha (infheistíocht ard trealaimh) | Ard (próiseas casta) |
Feidhmchláir Eochair
1. Tionscal Leathsheoltóra
Fosclóirí Eipeatacsacha GaN: Sliseoga 2–8 n-orlach (TTV <10 μm) le haghaidh Micrea-LEDanna agus dé-óidí léasair.
Sliseáin SOI: Gairbhe dromchla <0.2 nm le haghaidh sceallóga comhtháite 3T.
2. Optoelectronics
Fuinneoga Léasair UV: Seasann siad le dlús cumhachta 200 W/cm² le haghaidh optaic litagrafaíochta.
Comhpháirteanna Infridhearg: Comhéifeacht ionsúcháin <10⁻³ cm⁻¹ le haghaidh íomháú teirmeach.
3. Leictreonaic Tomhaltóra
Clúdaigh Ceamara Fón Cliste: Cruas Mohs 9, feabhsú 10× ar fhriotaíocht scríobtha.
Taispeántais Uaireadóirí Cliste: Tiús 0.3–0.5 mm, tarchur >92%.
4. Cosaint agus Aeraspás
Fuinneoga Imoibritheora Núicléacha: Caoinfhulaingt radaíochta suas le 10¹⁶ n/cm².
Scátháin Léasair Ardchumhachta: Dífhoirmiú teirmeach <λ/20@1064 nm.
Seirbhísí XKH
1. Saincheapadh Trealamh
Dearadh Seomra Inscálaithe: Cumraíochtaí Φ200–400 mm le haghaidh táirgeadh vaiféir 2–12 orlach.
Solúbthacht Dópála: Tacaíonn sé le dópáil miotail neamhchoitianta (Er/Yb) agus miotail trasdultacha (Ti/Cr) le haghaidh airíonna optúlaictreonacha saincheaptha.
2. Tacaíocht ó cheann ceann
Uasmhéadú Próisis: Oidis réamh-bhailíochtaithe (50+) do LED, gléasanna RF, agus comhpháirteanna atá cruaite ag radaíocht.
Líonra Seirbhíse Domhanda: Diagnóisic iargúlta 24/7 agus cothabháil ar an láthair le barántas 24 mí.
3. Próiseáil Iartheachtach
Déantúsaíocht Vaiféir: Sliseáil, meilt agus snasú vaiféir 2–12 orlach (plána C/A).
Táirgí Breisluacha:
Comhpháirteanna Optúla: Fuinneoga UV/IR (tiús 0.5–50 mm).
Ábhair Grád Seodra: Rúibín Cr³⁺ (deimhnithe ag GIA), saifír réalta Ti³⁺.
4. Ceannaireacht Theicniúil
Deimhniúcháin: Sliseáin atá comhoiriúnach le EMI.
Paitinní: Príomhphaitinní i nuálaíocht mhodhanna CZ.
Conclúid
Soláthraíonn trealamh an mhodha CZ comhoiriúnacht mhórthoiseach, rátaí locht thar a bheith íseal, agus cobhsaíocht ard phróisis, rud a fhágann gurb é an tagarmharc tionscail é d’fheidhmchláir LED, leathsheoltóra, agus cosanta. Soláthraíonn XKH tacaíocht chuimsitheach ó imscaradh trealaimh go próiseáil iar-fhás, rud a chuireann ar chumas cliant táirgeadh criostail sapphire ardfheidhmíochta agus cost-éifeachtach a bhaint amach.

