Réabhlóidiú ar Thannú Ingot ag Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra

Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra a Réabhlóidíonn Tanú Ingot Íomhá Réadmhaoine

Cur Síos Achomair:

Is réiteach tionsclaíoch an-speisialaithe é an Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra atá deartha le haghaidh tanú beacht agus neamh-theagmhála ar thinní leathsheoltóra trí theicnící ardaithe léasair-spreagtha. Tá ról lárnach ag an gcóras chun cinn seo i bpróisis nua-aimseartha sceallóga leathsheoltóra, go háirithe i ndéanamh sceallóga ultra-tanaí le haghaidh leictreonaic chumhachta ardfheidhmíochta, soilse LED, agus gléasanna RF. Trí dheighilt sraitheanna tanaí ó thinní mórchóir nó foshraitheanna deontóra a chumasú, réabhlóidíonn Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra tanú tinní trí chéimeanna sábhadh meicniúil, meilt, agus greanadh ceimiceach a dhíchur.

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Léaráid Mhionsonraithe

Réamhrá Táirge ar Threalamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra

Is minic a bhíonn tanú traidisiúnta ar bhinní leathsheoltóra, amhail níotráit ghailliam (GaN), cairbíd sileacain (SiC), agus saifír, dian ar shaothar, cur amú, agus seans maith ann go mbeidh micrea-scoilteanna nó damáiste dromchla ann. I gcodarsnacht leis sin, cuireann Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra rogha eile neamh-millteach, beacht ar fáil a íoslaghdaíonn caillteanas ábhair agus strus dromchla agus a mhéadaíonn táirgiúlacht ag an am céanna. Tacaíonn sé le raon leathan ábhar criostalach agus cumaisc agus is féidir é a chomhtháthú go gan uaim i línte táirgthe leathsheoltóra tosaigh nó lár-shrutha.

Le tonnfhaid léasair inchumraithe, córais fócais oiriúnaitheacha, agus chucks vaiféir atá comhoiriúnach le folús, tá an trealamh seo oiriúnach go háirithe le haghaidh slisniú tinne, cruthú lamela, agus dícheangal scannán ultra-thanaí le haghaidh struchtúir gléasanna ingearacha nó aistriú ciseal heitrea-eipiteacsach.

Paraiméadar Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra

Tonnfhad	IR/SHG/THG/FHG
Leithead Pulse	Nanashoicind, Picosoicind, Feimtosoicind
Córas Optúil	Córas optúil seasta nó córas galvano-optúil
Céim XY	500 mm × 500 mm
Raon Próiseála	160 mm
Luas Gluaiseachta	Uasmhéid 1,000 mm/soic
In-athdhéantacht	±1 μm nó níos lú
Cruinneas Suímh Absalóideach:	±5 μm nó níos lú
Méid an Vaiféir	2–6 orlach nó saincheaptha
Rialú	Windows 10,11 agus PLC
Voltas Soláthair Cumhachta	AC 200 V ±20 V, Céim amháin, 50/60 kHz
Toisí Seachtracha	2400 mm (L) × 1700 mm (D) × 2000 mm (A)
Meáchan	1,000 kg

Prionsabal Oibre Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra

Braitheann croí-mheicníocht an Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra ar dhíghrádú fótoteirmeach roghnach nó abláisiú ag an gcomhéadan idir an t-ingot deontóra agus an ciseal eipitacsach nó sprice. Dírítear léasar UV ardfhuinnimh (de ghnáth KrF ag 248 nm nó léasair UV soladstaide timpeall 355 nm) trí ábhar deontóra trédhearcach nó leath-thrédhearcach, áit a n-ionsúitear an fuinneamh go roghnach ag doimhneacht réamhchinntithe.

Cruthaíonn an ionsú fuinnimh áitiúil seo céim gháis ardbhrú nó ciseal leathnaithe teirmeach ag an gcomhéadan, rud a chuireann tús le dí-lánú glan an tsliseáin uachtaraigh nó an chiseal feiste ón mbonn tinne. Déantar an próiseas a choigeartú go mín trí pharaiméadair ar nós leithead cuisle, sreabhacht léasair, luas scanadh, agus doimhneacht fócasach ais-z a choigeartú. Is é an toradh slisne thar a bheith tanaí - go minic sa raon 10 go 50 µm - atá scartha go glan ón dtinn tuismitheora gan scríobadh meicniúil.

Seachnaíonn an modh seo chun léasar a thógáil amach le haghaidh tanaithe tinne an caillteanas gearrtha agus an damáiste dromchla a bhaineann le sábhadh sreinge diamant nó lapáil mheicniúil. Coinníonn sé sláine criostail freisin agus laghdaíonn sé riachtanais snasta iartheachtach, rud a fhágann gur uirlis athraithe cluiche é Trealamh Tógtha As Léasair Leathsheoltóra do tháirgeadh vaiféir den chéad ghlúin eile.

Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra ag Réabhlóidiú Tanú Ingot 2

Feidhmeanna Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra

Faigheann Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra infheidhmeacht leathan i dtanaí tinne ar fud raon ábhar agus cineálacha gléasanna chun cinn, lena n-áirítear:

Tanú Ingot GaN agus GaAs le haghaidh Gléasanna Cumhachta
Cumasaíonn sé cruthú vaiféil tanaí le haghaidh trasraitheoirí agus dé-óidí cumhachta ardéifeachtúlachta agus ísealfhriotaíochta.

Athghiniúint Foshraithe SiC agus Deighilt Lamela
Ceadaíonn sé ardú ar scála vaiféir ó foshraitheanna SiC mórchóir le haghaidh struchtúir gléasanna ingearacha agus athúsáid vaiféir.

Sliseáil Vaiféir LED
Éascaíonn sé ardú sraitheanna GaN ó bhinní tiubha saifír chun foshraitheanna LED ultra-tanaí a tháirgeadh.

Déantúsaíocht Gléasanna RF agus Micreathonnáin
Tacaíonn sé le struchtúir trasraitheoirí soghluaisteachta leictreon ard-tanaí (HEMT) atá riachtanach i gcórais 5G agus radair.

Aistriú Sraithe Epitaxial
Scaoileann sé sraitheanna eipitacsacha ó bhinní criostalach go beacht le haghaidh athúsáide nó comhtháthú i struchtúir heitreo.

Cealla Gréine Scannán Tanaí agus Fótavoltacha
Úsáidtear chun sraitheanna tanaí ionsúire a dheighilt le haghaidh cealla gréine solúbtha nó ardéifeachtúlachta.

I ngach ceann de na réimsí seo, soláthraíonn Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra rialú gan sárú ar aonfhoirmeacht tiús, cáilíocht dromchla, agus sláine ciseal.

Buntáistí a bhaineann le Tanú Ingot Léasair-bhunaithe

Caillteanas Ábhar Nialasach-Kerf
I gcomparáid le modhanna traidisiúnta gearrtha vaiféir, baintear úsáid ábhair as beagnach 100% mar thoradh ar an bpróiseas léasair.

Strus agus Saobhadh Íosta
Cuireann ardú neamh-theagmhála deireadh le creathadh meicniúil, rud a laghdaíonn foirmiú bogha vaiféir agus micrea-scoilteanna.

Caomhnú Cáilíochta Dromchla
Ní gá lapáil ná snasú iar-tanaithe i go leor cásanna, toisc go gcoimeádann ardú léasair sláine an dromchla uachtaraigh.

Ard-Tréchur agus Réidh le hUathoibriú
In ann na céadta foshraith a phróiseáil in aghaidh an sealaíochta le luchtú/díluchtú uathoibrithe.

Inoiriúnaithe do Il-Ábhair
Ag luí le GaN, SiC, saifír, GaAs, agus ábhair III-V atá ag teacht chun cinn.

Níos Sábháilte ó thaobh an Chomhshaoil de
Laghdaíonn sé úsáid scríobach agus ceimiceán géar atá tipiciúil i bpróisis tanaithe bunaithe ar shladair.

Athúsáid Foshraithe
Is féidir barraí deontóra a athchúrsáil le haghaidh il-thimthriallta ardaithe, rud a laghdaíonn costais ábhartha go mór.

Ceisteanna Coitianta (CC) maidir le Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra

C1: Cén raon tiús is féidir leis an Trealamh Ardaithe Léasair Leathsheoltóra a bhaint amach le haghaidh slisní vaiféir?
A1:Bíonn tiús tipiciúil na slisne idir 10 µm agus 100 µm ag brath ar an ábhar agus ar an chumraíocht.

C2: An féidir an trealamh seo a úsáid chun tinní déanta as ábhair teimhneacha cosúil le SiC a thanú?
A2:Sea. Trí thonnfhad an léasair a choigeartú agus innealtóireacht chomhéadain a bharrfheabhsú (m.sh., idirshraitheanna íobartacha), is féidir fiú ábhair atá teimhneach go páirteach a phróiseáil.

C3: Conas a ailínítear an tsubstráit deontóra roimh ardú léasair?
A3:Úsáideann an córas modúil ailínithe radhairc-bhunaithe fo-mhicrón le haiseolas ó mharcanna fiducial agus scananna frithchaiteacha dromchla.

C4: Cad é an t-am timthrialla a bhfuiltear ag súil leis le haghaidh oibríocht amháin ardaithe léasair?
A4:Ag brath ar mhéid agus tiús an vaiféir, maireann timthriallta tipiciúla ó 2 go 10 nóiméad.

C5: An bhfuil timpeallacht ghlansheomra ag teastáil don phróiseas?
A5:Cé nach bhfuil sé éigeantach, moltar comhtháthú seomra glan chun glaineacht an tsubstráit agus toradh na feiste a choinneáil le linn oibríochtaí ardchruinnis.

Fúinn

Speisialtóireacht XKH is ea forbairt, táirgeadh agus díol ardteicneolaíochta gloine optúil speisialta agus ábhar criostail nua. Freastalaíonn ár dtáirgí ar leictreonaic optúil, leictreonaic tomhaltóra agus an míleata. Cuirimid comhpháirteanna optúla saifír, clúdaigh lionsa fón póca, criadóireacht, LT, sileacan cairbíde SIC, grianchloch, agus sliseáin criostail leathsheoltóra ar fáil. Le saineolas oilte agus trealamh ceannródaíoch, déanaimid sár-obair i bpróiseáil táirgí neamhchaighdeánacha, agus tá sé mar aidhm againn a bheith ina bhfiontar ardteicneolaíochta ábhar optoelectronic ceannródaíoch.