Tráidire chuck ceirmeach SiC Cupáin shúchán ceirmeacha Meaisínithe cruinneas saincheaptha
Saintréithe ábhartha:
1. Cruas ard: is é cruas Mohs charbaid sileacain ná 9.2-9.5, an dara ceann i ndiaidh diamant, agus tá friotaíocht láidir caitheamh aige.
2. Seoltacht theirmeach ard: tá seoltacht theirmeach charbaíd sileacain chomh hard le 120-200 W/m·K, rud a fhéadann teas a scaipeadh go tapa agus atá oiriúnach do thimpeallacht ardteochta.
3. Comhéifeacht leathnú teirmeach íseal: tá comhéifeacht leathnú teirmeach charbíde sileacain íseal (4.0-4.5 × 10⁻⁶/K), agus is féidir leis cobhsaíocht tríthoiseach a choinneáil ag teocht ard fós.
4. Cobhsaíocht cheimiceach: friotaíocht creimeadh aigéad agus alcaile sileacain charbíde, oiriúnach le húsáid i dtimpeallacht chreimneach cheimiceach.
5. Neart meicniúil ard: tá neart lúbadh agus neart comhbhrúite ard ag carbóide sileacain, agus is féidir leis strus meicniúil mór a sheasamh.
Gnéithe:
1. Sa tionscal leathsheoltóra, ní mór sliseáin thar a bheith tanaí a chur ar chupán súchán folúis, úsáidtear an súchán folúis chun na sliseáin a shocrú, agus déantar an próiseas céirithe, tanaithe, céirithe, glantacháin agus gearrtha ar na sliseáin.
2. Tá seoltacht theirmeach mhaith ag súiteoir carbide sileacain, is féidir leis an am céirithe agus céirithe a ghiorrú go héifeachtach, agus éifeachtúlacht táirgthe a fheabhsú.
3. Tá friotaíocht mhaith creimeadh aigéad agus alcaile ag súchán folúis charbíde sileacain freisin.
4. I gcomparáid leis an pláta iompróra corandam traidisiúnta, giorraíonn sé an t-am téimh agus fuaraithe luchtaithe agus díluchtaithe, feabhsaíonn sé éifeachtúlacht na hoibre; Ag an am céanna, is féidir leis an gcaitheamh idir na plátaí uachtaracha agus íochtaracha a laghdú, cruinneas maith eitleáin a choinneáil, agus an saol seirbhíse a shíneadh thart ar 40%.
5. Tá an cion ábhair beag, meáchan éadrom. Tá sé níos éasca d’oibreoirí pailléid a iompar, rud a laghdaíonn an baol damáiste imbhuailte de bharr deacrachtaí iompair faoi thart ar 20%.
6. Méid: trastomhas uasta 640mm; Cothromas: 3um nó níos lú
Réimse iarratais:
1. Déantúsaíocht leathsheoltóra
● Próiseáil vaiféir:
Le haghaidh socrú vaiféir i bhfótalithagrafaíocht, greanadh, taisceadh scannán tanaí agus próisis eile, rud a chinntíonn cruinneas ard agus comhsheasmhacht próisis. Tá a fhriotaíocht ardteochta agus creimeadh oiriúnach do thimpeallachtaí crua déantúsaíochta leathsheoltóra.
● Fás eipitaiseach:
I bhfás eipitacsach SiC nó GaN, mar iompróir chun sliseáin a théamh agus a shocrú, rud a chinntíonn aonfhoirmeacht teochta agus cáilíocht criostail ag teochtaí arda, agus a fheabhsaíonn feidhmíocht na ngléasanna.
2. Trealamh fótaileictreach
● Déantúsaíocht LED:
Úsáidtear é chun foshraith sapphire nó SiC a shocrú, agus mar iompróir téimh i bpróiseas MOCVD, chun aonfhoirmeacht fáis eipitacsaigh a chinntiú, éifeachtúlacht agus cáilíocht lonrúil LED a fheabhsú.
● Dé-óid léasair:
Mar dhaingneán ardchruinnis, socraíonn agus téimh foshraith chun cobhsaíocht teochta an phróisis a chinntiú, feabhas a chur ar chumhacht aschuir agus ar iontaofacht an dé-óid léasair.
3. Meaisínithe beachtais
● Próiseáil comhpháirteanna optúla:
Úsáidtear é chun comhpháirteanna beachtais amhail lionsaí optúla agus scagairí a shocrú chun cruinneas ard agus truailliú íseal a chinntiú le linn próiseála, agus tá sé oiriúnach le haghaidh meaisínithe ard-déine.
● Próiseáil ceirmeach:
Mar dhaingneán ardchobhsaíochta, tá sé oiriúnach le haghaidh meaisínithe beachtais ábhar ceirmeach chun cruinneas agus comhsheasmhacht meaisínithe a chinntiú faoi theocht ard agus timpeallacht chreimneach.
4. Turgnaimh eolaíocha
● Turgnamh ardteochta:
Mar fheiste socraithe samplaí i dtimpeallachtaí ardteochta, tacaíonn sé le turgnaimh teochta foircneacha os cionn 1600°C chun aonfhoirmeacht teochta agus cobhsaíocht an tsampla a chinntiú.
●Tástáil folúis:
Mar iompróir socraithe agus téimh samplach i dtimpeallacht folúis, chun cruinneas agus in-athdhéantacht an turgnaimh a chinntiú, oiriúnach le haghaidh sciath folúis agus cóireála teasa.
Sonraíochtaí teicniúla:
| (Airí ábhartha) | (Aonad) | (sic) | |
| (ábhar SiC) |
| (Meáchan)% | >99 |
| (Meánmhéid gráin) |
| micrón | 4-10 |
| (Dlús) |
| kg/dm3 | >3.14 |
| (Póiriúlacht dealraitheach) |
| Vo1% | <0.5 |
| (Cruas Vickers) | HV 0.5 | GPa | 28 |
| *(Neart lúbtha) | 20ºC | MPa | 450 |
| (Neart comhbhrúite) | 20ºC | MPa | 3900 |
| (Modúl Leaisteach) | 20ºC | GPa | 420 |
| (Dianacht briste) |
| MPa/m'% | 3.5 |
| (Seoltacht theirmeach) | 20°ºC | W/(m*K) | 160 |
| (Friotaíocht) | 20°ºC | Óm.cm | 106-108 |
|
| a(RT**...80ºC) | K-1*10-6 | 4.3 |
|
|
| oºC | 1700 |
Le blianta fada de charnadh teicniúil agus taithí tionscail, tá XKH in ann paraiméadair thábhachtacha amhail méid, modh téimh agus dearadh ionsúcháin folúis an chuck a shaincheapadh de réir riachtanais shonracha an chustaiméara, ag cinntiú go bhfuil an táirge oiriúnaithe go foirfe do phróiseas an chustaiméara. Tá chuck ceirmeacha sileacain charbaíde SiC anois ina gcomhpháirteanna fíor-riachtanacha i bpróiseáil vaiféil, fás eipitacsach agus próisis thábhachtacha eile mar gheall ar a seoltacht theirmeach den scoth, a gcobhsaíocht ardteochta agus a gcobhsaíocht cheimiceach. Go háirithe i ndéantúsaíocht ábhar leathsheoltóra tríú glúin amhail SiC agus GaN, leanann an t-éileamh ar chuck ceirmeacha sileacain charbaíde ag fás. Amach anseo, le forbairt thapa 5G, feithiclí leictreacha, intleacht shaorga agus teicneolaíochtaí eile, beidh ionchais iarratais chuck ceirmeacha sileacain charbaíde sa tionscal leathsheoltóra níos leithne.
Léaráid Mhionsonraithe
