Lámh láimhseála éifeachtóra deiridh ceirmeach SiC le haghaidh iompar vaiféir

Cur Síos Achomair:

Is ionann vaiféirí LiNbO₃ agus an caighdeán óir i bhfótónaic chomhtháite agus in acústaic chruinnis, ag seachadadh feidhmíocht gan sárú i gcórais optoelectronic nua-aimseartha. Mar mhonaróir ceannródaíoch, tá ealaín na foshraitheanna innealtóireachta seo feabhsaithe againn trí theicnící cothromaíochta iompair gaile chun cinn, ag baint amach foirfeacht chriostalach den scoth sa tionscal le dlúis lochtanna faoi bhun 50/cm².

Tá trastomhais idir 75mm agus 150mm ag baint le cumais táirgthe XKH, le rialú beacht treoshuímh (gearradh X/Y/Z ±0.3°) agus roghanna dópála speisialaithe lena n-áirítear dúile cré-annamha. Mar gheall ar an meascán uathúil airíonna i Sliseáin LiNbO₃ – lena n-áirítear a gcomhéifeacht r₃₃ suntasach (32±2 pm/V) agus trédhearcacht leathan ó gar-UV go lár-IR – tá siad fíor-riachtanach do chiorcaid fhótónacha agus do ghléasanna fuaimiúla ardmhinicíochta den chéad ghlúin eile.

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Éifeachtóir deiridh ceirmeach SiC Achoimre

Is cuid ríthábhachtach é an críoch-éifeachtóir ceirmeach SiC (Sileacan Carbaíd) i gcórais láimhseála sceallóga ardchruinneas a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí agus i dtimpeallachtaí micrea-mhonaraithe chun cinn. Deartha chun freastal ar riachtanais dhiana timpeallachtaí thar a bheith glana, ardteochta agus an-chobhsaí, cinntíonn an críoch-éifeachtóir speisialaithe seo iompar iontaofa agus saor ó thruailliú sceallóga le linn céimeanna táirgthe tábhachtacha amhail litagrafaíocht, greanadh agus taisceadh.

Agus airíonna ábhair den scoth charbaíd sileacain á mbaint leasa astu—amhail seoltacht theirmeach ard, cruas foircneach, táimhe cheimiceach den scoth, agus leathnú teirmeach íosta—cuireann an éifeachtóir deiridh ceirmeach SiC dolúbthacht mheicniúil agus cobhsaíocht tríthoiseach gan sárú ar fáil fiú faoi thimthriall teirmeach tapa nó i seomraí próiseála creimneacha. A bhuíochas dá thréithe íseal giniúna cáithníní agus friotaíochta plasma, tá sé oiriúnach go háirithe d’fheidhmchláir phróiseála seomraí glana agus folúis, áit a bhfuil sé ríthábhachtach sláine dhromchla na vaiféar a choinneáil agus éilliú cáithníní a laghdú.

Feidhmchlár éifeachtóra deiridh ceirmeach SiC

1. Láimhseáil Sliseáin Leathsheoltóra

Úsáidtear foircinn cheirmeacha SiC go forleathan sa tionscal leathsheoltóra chun sliseáin sileacain a láimhseáil le linn táirgeadh uathoibrithe. De ghnáth, bíonn na foircinn seo suite ar airm róbatacha nó ar chórais aistrithe folúis agus tá siad deartha chun freastal ar shliseáin de mhéideanna éagsúla amhail 200mm agus 300mm. Tá siad riachtanach i bpróisis lena n-áirítear Taisceadh Ceimiceach Gaile (CVD), Taisceadh Fisiceach Gaile (PVD), greanadh, agus idirleathadh—áit a bhfuil teochtaí arda, coinníollacha folúis, agus gáis chreimneacha coitianta. A bhuíochas leis an bhfriotaíocht theirmeach agus an chobhsaíocht cheimiceach eisceachtúil atá ag SiC, is ábhar idéalach é chun timpeallachtaí chomh crua sin a sheasamh gan díghrádú.

2. Comhoiriúnacht le Seomraí Glana agus Folúsghlanadh

I suíomhanna seomraí glana agus folúis, áit a gcaithfear éilliú cáithníní a íoslaghdú, cuireann criadóireacht SiC buntáistí suntasacha ar fáil. Cuireann dromchla dlúth, réidh an ábhair i gcoinne giniúint cáithníní, rud a chabhraíonn le sláine na vaiféar a choinneáil le linn iompair. Fágann sé seo go bhfuil éifeachtaí deiridh SiC an-oiriúnach do phróisis chriticiúla amhail Litagrafaíocht Ultraivialait Fhoircneach (EUV) agus Taisceadh Sraithe Adamhach (ALD), áit a bhfuil glaineacht ríthábhachtach. Ina theannta sin, cinntíonn easghásáil íseal SiC agus friotaíocht ard plasma feidhmíocht iontaofa i seomraí folúis, rud a shíneann saolré uirlisí agus a laghdaíonn minicíocht cothabhála.

3. Córais Suite Ardchruinnis

Tá cruinneas agus cobhsaíocht ríthábhachtach i gcórais láimhseála vaiféir ardleibhéil, go háirithe i dtrealamh meitreolaíochta, cigireachta agus ailínithe. Tá comhéifeacht leathnúcháin theirmigh thar a bheith íseal agus dolúbthacht ard ag criadóireacht SiC, rud a ligeann don éifeachtóir deiridh a chruinneas struchtúrach a choinneáil fiú faoi thimthriall teirmeach nó ualach meicniúil. Cinntíonn sé seo go bhfanann vaiféir ailínithe go beacht le linn iompair, rud a íoslaghdaíonn an riosca micrea-scríobtha, mí-ailínithe nó earráidí tomhais - fachtóirí atá ag éirí níos criticiúla ag nóid phróisis faoi bhun 5nm.

Airíonna éifeachtóra deiridh ceirmeach SiC

1. Neart agus Cruas Meicniúil Ard

Tá neart meicniúil eisceachtúil ag criadóireacht SiC, le neart lúbthachta a sháraíonn 400 MPa go minic agus luachanna cruas Vickers os cionn 2000 HV. Fágann sé seo go bhfuil siad an-fhrithsheasmhach in aghaidh struis mheicniúil, tionchair agus caitheamh, fiú tar éis úsáide oibríochta fada. Laghdaíonn ard-dhianacht SiC diall freisin le linn aistrithe sliseán ardluais, rud a chinntíonn suíomh cruinn agus in-athdhéanta.

2. Cobhsaíocht Theirmeach den Scoth

Ceann de na hairíonna is luachmhaire atá ag criadóireacht SiC ná a gcumas teochtaí thar a bheith arda a sheasamh—suas le 1600°C go minic in atmaisféir táimhe—gan sláine mheicniúil a chailleadh. Cinntíonn a gcomhéifeacht íseal leathnúcháin theirmigh (~4.0 x 10⁻⁶ /K) cobhsaíocht tríthoiseach faoi thimthriall teirmeach, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach d'fheidhmchláir ar nós CVD, PVD, agus annéalú ardteochta.

Ceisteanna agus Freagraí maidir le héifeachtóir deiridh ceirmeach SiC

C: Cén t-ábhar a úsáidtear in éifeachtóir deiridh na vaiféir?

A:Is gnách go ndéantar éifeachtaí deiridh vaiféir as ábhair a thairgeann neart ard, cobhsaíocht theirmeach, agus giniúint íseal cáithníní. Ina measc seo, tá ceirmeach Sileacain Charbíde (SiC) ar cheann de na hábhair is úire agus is fearr. Tá ceirmeach SiC thar a bheith crua, cobhsaí ó thaobh teirmeach de, támh ó thaobh ceimice de, agus frithsheasmhach in aghaidh caitheamh, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach chun vaiféir sileacain íogair a láimhseáil i dtimpeallachtaí seomra glan agus folúis. I gcomparáid le grianchloch nó miotail brataithe, cuireann SiC cobhsaíocht tríthoiseach níos fearr ar fáil faoi theocht ard agus ní scaoileann sé cáithníní, rud a chabhraíonn le cosc a chur ar éilliú.