Lámh Gabhála/Éifeachtair Deiridh Ceirmeach SiC – Láimhseáil Beachtas Ardleibhéil le haghaidh Déantúsaíochta Leathsheoltóra

Cur Síos Achomair:

Is comhpháirt láimhseála beachtais ardfheidhmíochta í an Lámh Gabhl Ceirmeach SiC, ar a dtugtar Éifeachtóir Deiridh Ceirmeach go minic, atá forbartha go sonrach le haghaidh iompair, ailíniú agus suíomh vaiféar i dtionscail ardteicneolaíochta, go háirithe laistigh de tháirgeadh leathsheoltóirí agus fótavoltach. Déanta ag baint úsáide as criadóireacht sileacain charbaíde ardíonachta, comhcheanglaíonn an chomhpháirt seo neart meicniúil eisceachtúil, leathnú teirmeach thar a bheith íseal, agus friotaíocht níos fearr in aghaidh turraing theirmeach agus creimeadh.

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Léaráid Mhionsonraithe

Forbhreathnú ar an Táirge

Murab ionann agus éifeachtaí deiridh traidisiúnta déanta as alúmanam, cruach dhosmálta, nó fiú grianchloch, cuireann éifeachtaí deiridh ceirmeacha SiC feidhmíocht gan sárú ar fáil i seomraí folúis, i seomraí glana, agus i dtimpeallachtaí próiseála crua, rud a fhágann gur cuid lárnach iad de róbait láimhseála vaiféir den chéad ghlúin eile. Le méadú ar an éileamh ar tháirgeadh saor ó thruailliú agus lamháltais níos doichte i ndéanamh sceallóga, tá úsáid éifeachtaí deiridh ceirmeacha ag éirí go tapa mar an caighdeán tionscail.

Prionsabal Déantúsaíochta

DéantúsaíochtÉifeachtóirí Deiridh Ceirmeacha SiCbaineann sraith próiseas ardchruinnis, ardíonachta leis a chinntíonn feidhmíocht agus marthanacht araon. De ghnáth úsáidtear dhá phríomhphróiseas:

Carbaíd Sileacain Nasctha le hImoibriú (RB-SiC)

Sa phróiseas seo, déantar réamhfhoirm atá déanta as púdar agus ceanglóir sileacain charbaíde a ionfhabhtú le sileacan leáite ag teochtaí arda (~1500°C), a imoibríonn le carbón iarmharach chun ilchodach SiC-Si dlúth, righin a fhoirmiú. Cuireann an modh seo rialú toisí den scoth ar fáil agus tá sé cost-éifeachtach le haghaidh táirgeadh ar scála mór.

Carbaíd Sileacain Sintéirithe Gan Bhrú (SSiC)

Déantar SSiC trí phúdar SiC ultra-mhín, ard-íonachta a shintéiriú ag teochtaí thar a bheith ard (>2000°C) gan breiseáin ná céim cheangailteach a úsáid. Mar thoradh air sin, tá táirge ann a bhfuil dlús beagnach 100% aige agus na hairíonna meicniúla agus teirmeacha is airde atá ar fáil i measc ábhar SiC. Tá sé oiriúnach d'fheidhmchláir láimhseála vaiféil ultra-chriticiúla.

Iarphróiseáil

Meaisínithe CNC BeachtasBaintear amach cothromaíocht agus comhthreomhaireacht ard.
Críochnú DromchlaLaghdaíonn snasú diamant garbhacht an dromchla go <0.02 µm.
CigireachtÚsáidtear intearfairíoméadracht optúil, CMM, agus tástáil neamh-millteach chun gach píosa a fhíorú.

Ráthaíonn na céimeanna seo goÉifeachtóir deiridh SiCseachadann sé cruinneas comhsheasmhach maidir le socrú vaiféir, plánachas den scoth, agus giniúint íosta cáithníní.

Príomhghnéithe agus Buntáistí

Gné	Cur síos
Cruas an-ard	Cruas Vickers > 2500 HV, ag seasamh in aghaidh caitheamh agus scealpadh.
Leathnú Teirmeach Íseal	CTE ~4.5×10⁻⁶/K, rud a chuireann cobhsaíocht tríthoiseach ar fáil i dtimthriall teirmeach.
Táimhe Cheimiceach	Frithsheasmhach in aghaidh HF, HCl, gáis plasma, agus gníomhairí creimneacha eile.
Friotaíocht den scoth ar thurraing theirmeach	Oiriúnach le haghaidh téimh/fuaraithe tapa i gcórais folúis agus foirnéise.
Ard-Docht agus Neart	Tacaíonn sé le hairm fhada forc cantilevered gan diall.
Íseal-Ghásáil	Oiriúnach do thimpeallachtaí folúis ultra-ard (UHV).
Réidh le haghaidh Seomra Glan ISO Aicme 1	Cinntíonn oibriú saor ó cháithníní sláine na vaiféir.

Feidhmchláir

Úsáidtear an Lámh Forc/Éifeachtóir Deiridh Ceirmeach SiC go forleathan i dtionscail a bhfuil cruinneas, glaineacht agus friotaíocht cheimiceach den scoth ag teastáil uathu. Áirítear ar na príomhchásanna feidhmchláir seo a leanas:

Déantúsaíocht Leathsheoltóra

Luchtú/díluchtú vaiféir i gcórais taiscthe (CVD, PVD), greanadh (RIE, DRIE), agus glantacháin.
Iompar vaiféir róbatach idir FOUPanna, caiséid, agus uirlisí próisis.
Láimhseáil ardteochta le linn próiseála teirmeach nó annealing.

Táirgeadh Cealla Fótavoltacha

Iompar íogair sceallóga sileacain leochaileacha nó foshraitheanna gréine i línte uathoibrithe.

Tionscal Taispeántais Painéil Chomhréidh (FPD)

Painéil nó foshraitheanna gloine móra a bhogadh i dtimpeallachtaí táirgthe OLED/LCD.

Leathsheoltóir Cumaisc / MEMS

Úsáidte i línte monaraíochta GaN, SiC, agus MEMS ina bhfuil rialú éillithe agus cruinneas suímh ríthábhachtach.

Tá a ról mar éifeachtóir deiridh ríthábhachtach chun láimhseáil chobhsaí saor ó lochtanna a chinntiú le linn oibríochtaí íogaire.

Cumais Saincheaptha

Cuirimid saincheapadh fairsing ar fáil chun freastal ar riachtanais éagsúla trealaimh agus próisis:

Dearadh ForcLeagan amach dhá bhiorán, ilmhéar, nó scoilt-leibhéil.
Comhoiriúnacht Méid na VaiféirÓ vaiféir 2” go 12”.
Comhéadain GléastaAg luí le hairm róbatacha OEM.
Tiús & Lamháltais DromchlaCothromas agus babhtú imeall ar leibhéal micrón ar fáil.
Gnéithe Frith-ShleamhnáinUigeachtaí nó bratuithe dromchla roghnacha le haghaidh greim slán ar na vaiféil.

Gachéifeachtóir deiridh ceirmeachatá deartha i gcomhar le cliaint chun feistiú beacht a chinntiú le hathruithe uirlisí íosta.

Ceisteanna Coitianta (CC)

C1: Cén chaoi a bhfuil SiC níos fearr ná grianchloch le haghaidh feidhmchláir éifeachtóra deiridh?
A1:Cé go n-úsáidtear grianchloch go coitianta mar gheall ar a íonacht, níl diana meicniúil aige agus tá sé seans maith go mbrisfidh sé faoi ualach nó turraing teochta. Cuireann SiC neart níos fearr, friotaíocht caitheamh agus cobhsaíocht theirmeach ar fáil, rud a laghdaíonn go suntasach an baol go dtarlóidh am neamhghníomhach agus damáiste do shliseog.

C2: An bhfuil an lámh forc ceirmeach seo comhoiriúnach le gach láimhseálaí vaiféil róbatach?
A2:Sea, tá ár n-éifeachtóirí deiridh ceirmeacha comhoiriúnach leis an gcuid is mó de na córais láimhseála vaiféir mhóra agus is féidir iad a oiriúnú do do mhúnlaí róbataice sonracha le líníochtaí innealtóireachta beachta.

C3: An féidir leis vaiféir 300 mm a láimhseáil gan iad a chasadh?
A3:Go hiomlán. A bhuíochas leis an righneas ard atá ag an SiC, is féidir le forcanna tanaí fada fiú vaiféir 300 mm a shealbhú go daingean gan cromadh ná diall le linn gluaiseachta.

C4: Cad é an saolré seirbhíse tipiciúil atá ag éifeachtóir deiridh ceirmeach SiC?
A4:Le húsáid cheart, is féidir le héifeachtóir deiridh SiC maireachtáil 5 go 10 n-uaire níos faide ná samhlacha traidisiúnta grianchloch nó alúmanaim, a bhuíochas dá fhriotaíocht den scoth in aghaidh strus teirmeach agus meicniúil.

C5: An dtugann tú seirbhísí athsholáthair nó fréamhshamhlú tapa?
A5:Sea, tacaímid le táirgeadh samplach tapa agus cuirimid seirbhísí athsholáthair ar fáil bunaithe ar líníochtaí CAD nó páirteanna innealtóireachta droim ar ais ó threalamh atá ann cheana féin.

Fúinn

Speisialtóireacht XKH is ea forbairt, táirgeadh agus díol ardteicneolaíochta gloine optúil speisialta agus ábhar criostail nua. Freastalaíonn ár dtáirgí ar leictreonaic optúil, leictreonaic tomhaltóra agus an míleata. Cuirimid comhpháirteanna optúla saifír, clúdaigh lionsa fón póca, criadóireacht, LT, sileacan cairbíde SIC, grianchloch, agus sliseáin criostail leathsheoltóra ar fáil. Le saineolas oilte agus trealamh ceannródaíoch, déanaimid sár-obair i bpróiseáil táirgí neamhchaighdeánacha, agus tá sé mar aidhm againn a bheith ina bhfiontar ardteicneolaíochta ábhar optoelectronic ceannródaíoch.