Pláta/tráidire ceirmeach SiC le haghaidh sealbhóir vaiféil 4 orlach 6 orlach le haghaidh ICP
Achoimre ar phláta ceirmeach SiC
Is comhpháirt ardfheidhmíochta í an pláta ceirmeach SiC atá innealtóireachta as Carbaíd Sileacain ard-íonachta, atá deartha lena húsáid i dtimpeallachtaí teirmeacha, ceimiceacha agus meicniúla foircneacha. Clúiteach as a chruas eisceachtúil, a sheoltacht theirmeach agus a fhriotaíocht creimeadh, úsáidtear an pláta SiC go forleathan mar iompróir vaiféil, glacadóir, nó comhpháirt struchtúrach i dtionscail leathsheoltóra, LED, fótavoltach agus aeraspáis.
Le cobhsaíocht theirmeach den scoth suas le 1600°C agus friotaíocht den scoth in aghaidh gás imoibríoch agus timpeallachtaí plasma, cinntíonn an pláta SiC feidhmíocht chomhsheasmhach le linn próisis eitseála, taiscthe agus scaipthe ardteochta. Laghdaíonn a mhicreastruchtúr dlúth, neamh-scagach giniúint cáithníní, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'fheidhmchláir thar a bheith glan i suíomhanna folúis nó glanseomra.
Feidhmchlár pláta ceirmeach SiC
1. Déantúsaíocht Leathsheoltóra
Úsáidtear plátaí ceirmeacha SiC go coitianta mar iompróirí vaiféir, glacadóirí, agus plátaí pedestal i dtrealamh monaraithe leathsheoltóra amhail CVD (Taisceadh Ceimiceach Gaile), PVD (Taisceadh Fisiceach Gaile), agus córais eitseála. Ligeann a seoltacht theirmeach den scoth agus a leathnú teirmeach íseal dóibh dáileadh teochta aonfhoirmeach a choinneáil, rud atá ríthábhachtach le haghaidh próiseáil vaiféir ardchruinnis. Cinntíonn friotaíocht SiC in aghaidh gás agus plasma creimneach marthanacht i dtimpeallachtaí crua, rud a chabhraíonn le héilliú cáithníní agus cothabháil trealaimh a laghdú.
2. Tionscal LED – Greanadh ICP
I réimse na déantúsaíochta LED, is comhpháirteanna ríthábhachtacha iad plátaí SiC i gcórais eitseála ICP (Plasma Cúpláilte go hIonduchtach). Ag feidhmiú mar shealbhóirí vaiféir, soláthraíonn siad ardán cobhsaí agus teirmeach láidir chun tacú le vaiféir saifír nó GaN le linn próiseála plasma. Cuidíonn a bhfriotaíocht plasma den scoth, a gcothrom dromchla, agus a gcobhsaíocht tríthoiseach le cruinneas agus aonfhoirmeacht ard eitseála a chinntiú, rud a fhágann go méadaítear toradh agus feidhmíocht gléasanna i sceallóga LED.
3. Fótóvoltaic (PV) agus Fuinneamh Gréine
Úsáidtear plátaí ceirmeacha SiC i dtáirgeadh cealla gréine freisin, go háirithe le linn céimeanna sintéirithe agus annála ardteochta. Cinntíonn a neamhshuim ag teochtaí arda agus a gcumas cur i gcoinne saobhadh próiseáil chomhsheasmhach ar sceallóga sileacain. Ina theannta sin, tá a riosca íseal éillithe ríthábhachtach chun éifeachtúlacht cealla fótavoltacha a choinneáil.
Airíonna pláta ceirmeach SiC
1. Neart agus Cruas Meicniúil Eisceachtúil
Léiríonn plátaí ceirmeacha SiC neart meicniúil an-ard, le neart lúbthachta tipiciúil os cionn 400 MPa agus cruas Vickers a shroicheann >2000 HV. Fágann sé seo go bhfuil siad an-fhriotaíoch in aghaidh caitheamh meicniúil, scríobadh agus dífhoirmiú, rud a chinntíonn saolré seirbhíse fada fiú faoi ualach ard nó timthriallú teirmeach arís agus arís eile.
2. Seoltacht Theirmeach Ard
Tá seoltacht theirmeach den scoth ag SiC (de ghnáth 120–200 W/m·K), rud a ligeann dó teas a dháileadh go cothrom ar a dhromchla. Tá an mhaoin seo ríthábhachtach i bpróisis ar nós greanadh, taisceadh nó sintéiriú vaiféir, áit a mbíonn tionchar díreach ag aonfhoirmeacht teochta ar thoradh agus ar cháilíocht an táirge.
3. Cobhsaíocht Theirmeach Sármhaith
Le pointe leá ard (2700°C) agus comhéifeacht íseal leathnúcháin theirmigh (4.0 × 10⁻⁶/K), coinníonn plátaí ceirmeacha SiC cruinneas tríthoiseach agus sláine struchtúrach faoi thimthriallta téimh agus fuaraithe tapa. Fágann sé seo go bhfuil siad oiriúnach d'fheidhmchláir i bhfoirnéisí ardteochta, i seomraí folúis, agus i dtimpeallachtaí plasma.
Airíonna Teicniúla | ||||
Innéacs | Aonad | Luach | ||
Ainm Ábhar | Carbaíd Sileacain Sintéirithe Imoibrithe | Carbaíd Sileacain Sintéirithe Gan Bhrú | Carbaíd Sileacain Athchriostalaithe | |
Comhdhéanamh | RBSiC | SSiC | R-SiC | |
Dlús Bulc | g/cm3 | 3 | 3.15 ± 0.03 | 2.60-2.70 |
Neart Lúbthachta | MPa (kpsi) | 338(49) | 380(55) | 80-90 (20°C) 90-100 (1400°C) |
Neart Comhbhrúite | MPa (kpsi) | 1120(158) | 3970(560) | > 600 |
Cruas | Cnap | 2700 | 2800 | / |
Briseadh Seasmhachta | MPa m1/2 | 4.5 | 4 | / |
Seoltacht Theirmeach | S/mc | 95 | 120 | 23 |
Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach | 10-6.1/°C | 5 | 4 | 4.7 |
Teas Sonrach | Giúl/g 0k | 0.8 | 0.67 | / |
Uasteocht san aer | ℃ | 1200 | 1500 | 1600 |
Modúl Leaisteach | GPA | 360 | 410 | 240 |
Ceisteanna agus Freagraí maidir le pláta ceirmeach SiC
C: Cad iad airíonna pláta carbide sileacain?
A: Tá plátaí cairbíde sileacain (SiC) aitheanta as a neart ard, a gcruas agus a gcobhsaíocht theirmeach. Cuireann siad seoltacht theirmeach den scoth agus leathnú teirmeach íseal ar fáil, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa faoi theocht mhór. Tá SiC támh ó thaobh ceimice de freisin, frithsheasmhach in aghaidh aigéid, alcailí agus timpeallachtaí plasma, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach do phróiseáil leathsheoltóra agus LED. Laghdaíonn a dhromchla dlúth, réidh giniúint cáithníní, ag cothabháil comhoiriúnacht seomra glan. Úsáidtear plátaí SiC go forleathan mar iompróirí vaiféil, glacadóirí, agus comhpháirteanna tacaíochta i dtimpeallachtaí ardteochta agus creimneacha ar fud na dtionscal leathsheoltóra, fótavoltach agus aeraspáis.


