Tráidire Ceirmeach SiC le haghaidh Iompróir Vaiféir le Friotaíocht Ardteochta
Tráidire Ceirmeach Carbaíde Sileacain (Tráidire SiC)
Comhpháirt cheirmeach ardfheidhmíochta bunaithe ar ábhar sileacain charbaíde (SiC), atá deartha le haghaidh feidhmeanna tionsclaíocha chun cinn amhail déantúsaíocht leathsheoltóra agus táirgeadh LED. I measc a phríomhfheidhmeanna tá feidhmiú mar iompróir vaiféil, ardán próisis greanadh, nó tacaíocht próisis ardteochta, ag baint leasa as seoltacht theirmeach eisceachtúil, friotaíocht ardteochta, agus cobhsaíocht cheimiceach chun aonfhoirmeacht phróisis agus toradh táirge a chinntiú.
Príomhghnéithe
1. Feidhmíocht Theirmeach
- Seoltacht Theirmeach Ard: 140–300 W/m·K, ag sárú go mór ar ghraifít thraidisiúnta (85 W/m·K), rud a chuireann ar chumas teas a dhiúscairt go tapa agus strus teirmeach a laghdú.
- Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach Íseal: 4.0 × 10⁻⁶/℃ (25–1000 ℃), sileacan atá cosúil go dlúth leis (2.6 × 10⁻⁶/℃), rud a íoslaghdaíonn rioscaí dífhoirmithe teirmeach.
2. Airíonna Meicniúla
- Neart Ard: Neart lúbtha ≥320 MPa (20℃), frithsheasmhach in aghaidh comhbhrú agus tionchair.
- Cruas Ard: Cruas Mohs 9.5, an dara cruas i ndiaidh diamant amháin, ag tairiscint friotaíocht caitheamh níos fearr.
3. Cobhsaíocht Cheimiceach
- Friotaíocht in aghaidh Creimeadh: Friotach in aghaidh aigéid láidre (e.g., HF, H₂SO₄), oiriúnach do thimpeallachtaí próisis greanadh.
- Neamh-mhaighnéadach: So-ghabhálacht mhaighnéadach intreach <1 × 10⁻⁶ emu/g, rud a sheachnaíonn cur isteach ar ionstraimí beachtais.
4. Caoinfhulaingt Thar a Bheith in Éagsúlacht Chomhshaoil
- Marthanacht Ardteochta: Teocht oibriúcháin fhadtéarmach suas le 1600–1900 ℃; friotaíocht ghearrthéarmach suas le 2200 ℃ (timpeallacht saor ó ocsaigin).
- Friotaíocht in aghaidh Turraing Theirmeach: Seasann sé in aghaidh athruithe tobann teochta (ΔT >1000℃) gan scoilteadh.
Feidhmchláir
| Réimse Iarratais | Cásanna sonracha | Luach Teicniúil |
| Déantúsaíocht Leathsheoltóra | Greanadh vaiféir (ICP), taisceadh scannáin tanaí (MOCVD), snasú CMP | Cinntíonn seoltacht theirmeach ard réimsí teochta aonfhoirmeacha; laghdaíonn leathnú teirmeach íseal saobhadh na vaiféir. |
| Táirgeadh LED | Fás eipitacsach (m.sh., GaN), dísliú vaiféir, pacáistiú | Cuireann sé cosc ar lochtanna ilchineálacha, ag feabhsú éifeachtúlachta lonrúla agus saolré LED. |
| Tionscal Fótavoltach | Foirnéisí sintéirithe sceallóga sileacain, tacaí trealaimh PECVD | Leathnaíonn friotaíocht ardteochta agus turraing theirmeach saolré an trealaimh. |
| Léasar & Optaic | Foshraitheanna fuaraithe léasair ardchumhachta, tacaí córais optúla | Cuireann seoltacht theirmeach ard ar chumas teas a dhíscaoileadh go tapa, ag cobhsú comhpháirteanna optúla. |
| Ionstraimí Anailíseacha | Sealbhóirí sampla TGA/DSC | Feabhsaíonn cumas teasa íseal agus freagairt theirmeach thapa cruinneas tomhais. |
Buntáistí Táirge
- Feidhmíocht Chuimsitheach: Tá seoltacht theirmeach, neart agus friotaíocht creimeadh i bhfad níos fearr ná criadóireacht alúmana agus níotráit sileacain, ag freastal ar éilimh oibríochtúla foircneacha.
- Dearadh Éadrom: Dlús 3.1–3.2 g/cm³ (40% de chruach), rud a laghdaíonn an t-ualach táimhe agus a fheabhsaíonn cruinneas gluaisne.
- Fad saoil & Iontaofacht: Sáraíonn saol seirbhíse 5 bliana ag 1600℃, rud a laghdaíonn am neamhghníomhach agus a íslíonn costais oibriúcháin faoi 30%.
- Saincheapadh: Tacaíonn sé le geoiméadrachtaí casta (e.g., cupáin shúchán scagach, tráidirí ilchisealacha) le hearráid chomhréidh <15 μm le haghaidh feidhmchlár beachtais.
Sonraíochtaí Teicniúla
| Catagóir Paraiméadair | Táscaire |
| Airíonna Fisiceacha | |
| Dlús | ≥3.10 g/cm³ |
| Neart Lúbthachta (20℃) | 320–410 MPa |
| Seoltacht Theirmeach (20℃) | 140–300 W/(m·K) |
| Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach (25–1000 ℃) | 4.0 × 10⁻⁶/℃ |
| Airíonna Ceimiceacha | |
| Friotaíocht Aigéid (HF/H₂SO₄) | Gan aon chreimeadh tar éis tumoideachais 24 uair an chloig |
| Beachtas Meaisínithe | |
| Cothromas | ≤15 μm (300 × 300 mm) |
| Garbhacht Dromchla (Ra) | ≤0.4 μm |
Seirbhísí XKH
Cuireann XKH réitigh thionsclaíocha chuimsitheacha ar fáil lena n-áirítear forbairt saincheaptha, meaisínithe beachtais, agus rialú cáilíochta dian. I gcás forbartha saincheaptha, cuireann sé réitigh ábhair ard-íonachta (>99.999%) agus scagach (30–50% scagach) ar fáil, in éineacht le samhaltú agus insamhalta 3T chun geoiméadrachtaí casta a bharrfheabhsú d'fheidhmchláir cosúil le leathsheoltóirí agus aeraspás. Leanann meaisínithe beachtais próiseas sruthlínithe: próiseáil púdair → brú iseatatach/tirim → sintéiriú 2200°C → meilt CNC/diamant → cigireacht, rud a chinntíonn snasú ar leibhéal nanaiméadar agus lamháltas tríthoiseach ±0.01 mm. Áirítear leis an rialú cáilíochta tástáil iomlán próisis (comhdhéanamh XRD, micreastruchtúr SEM, lúbadh 3 phointe) agus tacaíocht theicniúil (uasmhéadú próisis, comhairliúchán 24/7, seachadadh samplach 48 uair an chloig), ag seachadadh comhpháirteanna iontaofa, ardfheidhmíochta do riachtanais thionsclaíocha chun cinn.
Ceisteanna Coitianta (CC)
1. C: Cén tionscail a úsáideann tráidirí ceirmeacha sileacain charbaid?
A: Úsáidtear go forleathan i ndéantúsaíocht leathsheoltóra (láimhseáil vaiféir), i bhfuinneamh gréine (próisis PECVD), i dtrealamh leighis (comhpháirteanna MRI), agus san aeraspás (páirteanna ardteochta) mar gheall ar a bhfriotaíocht teasa mhór agus a gcobhsaíocht cheimiceach.
2. C: Cén chaoi a mbíonn feidhmíocht níos fearr ag cairbíd sileacain ná tráidirí grianchloiche/gloine?
A: Friotaíocht níos airde in aghaidh turraing theirmeach (suas le 1800°C i gcomparáid le 1100°C grianchloch), gan cur isteach maighnéadach ar bith, agus saolré níos faide (5+ bliana i gcomparáid le 6-12 mhí grianchloch).
3. C: An féidir le tráidirí sileacain charbíde timpeallachtaí aigéadacha a láimhseáil?
A: Tá. Frithsheasmhach in aghaidh HF, H2SO4, agus NaOH le <0.01mm creimeadh/bliain, rud a fhágann go bhfuil siad oiriúnach le haghaidh greanadh ceimiceach agus glanadh vaiféir.
4. C: An bhfuil tráidirí sileacain charbaid comhoiriúnach le huathoibriú?
A: Tá. Deartha le haghaidh piocadh i bhfolús agus láimhseáil róbatach, le cothrom dromchla <0.01mm chun cosc a chur ar éilliú cáithníní i monarchana uathoibrithe.
5. C: Cad é an comparáid costais i gcomparáid le hábhair thraidisiúnta?
A: Costas tosaigh níos airde (Grianchloch 3-5x) ach TCO 30-50% níos ísle mar gheall ar shaolré sínte, am neamhghníomhach laghdaithe, agus coigilteas fuinnimh ó sheoltacht theirmeach níos fearr.
