Graifít pláta tráidire ceirmeach SiC le sciath CVD SiC don trealamh

Graifít pláta tráidire ceirmeach SiC le sciath CVD SiC do threalamh Íomhá Réadmhaoin

Cur síos gairid:

Táirgeann Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. diosca eitseála leathsheoltóra Φ380mm–Φ600mm, diosca imthacaí wafer, tráidire chomhdhúile sileacain, tráidire SIC, tráidire chomhdhúile sileacain, tráidire eitseála ICP, tráidire eitseála, íonacht chomhdhúile sileacain > 99.9%, saol seirbhíse tráidire SIC ceithre huaire níos mó ná tráidire CVD bunaithe ar graifít, úsáid fhadtéarmach gan dífhoirmiú, Frithsheasmhach d'aigéad FH, creimeadh H2So4 tiubhaithe.

Seol ríomhphost chugainn

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Ní hamháin go n-úsáidtear criadóireacht chomhdhúile sileacain sa chéim taisce scannáin thanaí, mar shampla epitaxy nó MOCVD, nó i bpróiseáil wafer, a bhfuil na tráidirí iompróra wafer le haghaidh MOCVD faoi réir na timpeallachta taiscí ar dtús, agus dá bhrí sin tá siad an-resistant do teas agus creimeadh.Tá seoltacht ard teirmeach agus airíonna dáileadh teirmeach den scoth ag iompróirí atá brataithe le SiC.

Iompróirí sliseog Sileacain Carbide Sileacain (CVD SiC) Pure Cheimiceach a Dhéanamh le haghaidh próiseála ardteochta Miotal Orgánach Ceimiceach Gaile (MOCVD).

Tá iompróirí wafer CVD SiC Pure i bhfad níos fearr ná na hiompróirí traidisiúnta wafer a úsáidtear sa phróiseas seo, atá graifít agus brataithe le sraith de CVD SiC. ní féidir leis na hiompróirí brataithe graifíte seo na teochtaí arda (1100 go 1200 céim Celsius) a sheasamh a theastaíonn le haghaidh sil-leagan GaN d'ardghile an lae inniu faoi stiúir gorm agus bán. De bharr na dteochtaí arda is cúis leis an bhratú poill bheaga bídeacha a fhorbairt trína gcreimeann ceimiceáin phróisis an graifít thíos. Ansin scealaíonn na cáithníní graifíte agus éillíonn siad an GaN, rud a fhágann go n-athsholáthrófar an t-iompróir wafer brataithe.

Tá íonacht CVD SiC de 99.999% nó níos mó agus tá seoltacht ard teirmeach agus friotaíocht turraing teirmeach aige. Mar sin, is féidir leis na teochtaí arda agus timpeallachtaí crua déantúsaíochta LED gile ard a sheasamh. Is ábhar soladach monolithic é a shroicheann dlús teoiriciúil, a tháirgeann cáithníní íosta, agus a thaispeánann friotaíocht creimeadh agus creimeadh an-ard. Is féidir leis an ábhar teimhneacht agus seoltacht a athrú gan eisíontais mhiotalacha a thabhairt isteach. Is gnách go mbíonn iompróirí sliseog 17 n-orlach ar trastomhas agus is féidir leo suas le 40 sliseog 2-4 orlach a sheasamh.