Foshraith SiC cineál-P 4H/6H-P 3C-N 4 orlach le tiús 350um Grád táirgeachta Grád bréige
Tábla paraiméadair 4H/6H-P 3C-N de chineál P foshraithe SiC 4 orlach
4 trastomhas orlach SiliconFoshraith Carbíde (SiC) Sonraíocht
Grád | Táirgeadh nialasach MPD Grád (Z Grád) | Táirgeadh Caighdeánach Grád (P Grád) | Grád Bréige (D Grád) | ||
Trastomhas | 99.5 mm ~ 100.0 mm | ||||
Tiús | 350 μm ± 25 μm | ||||
Treoshuíomh na Vaiféir | Lasmuigh den ais: 2.0°-4.0° i dtreo [1120] ± 0.5° le haghaidh 4H/6H-P, Oais n: 〈111〉± 0.5° le haghaidh 3C-N | ||||
Dlús Micripíopa | 0 cm-2 | ||||
Friotaíocht | cineál-p 4H/6H-P | ≤0.1 Ωꞏcm | ≤0.3 Ωꞏcm | ||
cineál-n 3C-N | ≤0.8 mΩꞏcm | ≤1 m Ωꞏcm | |||
Treoshuíomh Cothrom Príomhúil | 4H/6H-P | - {1010} ± 5.0° | |||
3C-N | - {110} ± 5.0° | ||||
Fad Cothrom Príomhúil | 32.5 mm ± 2.0 mm | ||||
Fad Cothrom Tánaisteach | 18.0 mm ± 2.0 mm | ||||
Treoshuíomh Cothrom Tánaisteach | Aghaidh sileacain suas: 90° CW. ó Prime cothrom±5.0° | ||||
Eisiamh Imeall | 3 mm | 6 mm | |||
LTV/TTV/Bogha/Dlúth | ≤2.5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm | ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm | |||
Garbhacht | Polainnis Ra≤1 nm | ||||
CMP Ra≤0.2 nm | Ra≤0.5 nm | ||||
Scoilteanna Imeall de bharr Solas Ard-Déine | Dada | Fad carnach ≤ 10 mm, fad aonair ≤2 mm | |||
Plátaí Heicseagánacha de réir Solas Ard-Déine | Limistéar carnach ≤0.05% | Limistéar carnach ≤0.1% | |||
Limistéir Pholaitíopa de réir Solais Ard-Déine | Dada | Limistéar carnach ≤3% | |||
Cuimsithe Carbóin Amhairc | Limistéar carnach ≤0.05% | Limistéar carnach ≤3% | |||
Scríobann Dromchla Sileacain de bharr Solas Ard-Déine | Dada | Fad carnach ≤1 × trastomhas vaiféir | |||
Sceallóga Imeall Ard-Déine Solais | Gan aon cheann ceadaithe ≥0.2mm leithead agus doimhneacht | 5 cheadaithe, ≤1 mm an ceann | |||
Éilliú Dromchla Sileacain de bharr Ard-Déine | Dada | ||||
Pacáistiú | Caiséad Il-vaiféir nó Coimeádán Vaiféir Aonair |
Nótaí:
※Baineann teorainneacha lochtanna le dromchla iomlán an tsliabháin seachas an limistéar eisiata imeall. # Níor cheart na scríobtha a sheiceáil ach amháin ar aghaidh Si.
Úsáidtear an tsubstráit SiC 4-orlach de chineál P 4H/6H-P 3C-N le tiús 350 μm go forleathan i ndéantúsaíocht gléasanna leictreonacha agus cumhachta chun cinn. Le seoltacht theirmeach den scoth, voltas miondealaithe ard, agus friotaíocht láidir in aghaidh timpeallachtaí foircneacha, tá an tsubstráit seo oiriúnach do leictreonaic chumhachta ardfheidhmíochta amhail lasca ardvoltais, inbhéirteoirí, agus gléasanna RF. Úsáidtear foshraitheanna grád táirgthe i ndéantúsaíocht ar scála mór, rud a chinntíonn feidhmíocht iontaofa, ardchruinneas gléasanna, atá ríthábhachtach d'fheidhmchláir leictreonaice cumhachta agus ardmhinicíochta. Ar an láimh eile, úsáidtear foshraitheanna grád bréige go príomha le haghaidh calabrú próisis, tástáil trealaimh, agus forbairt fréamhshamhlacha, rud a chabhraíonn le rialú cáilíochta agus comhsheasmhacht próisis a choinneáil i dtáirgeadh leathsheoltóra.
Sonraíocht Áirítear ar na buntáistí a bhaineann le foshraitheanna ilchodacha SiC de chineál N
- Seoltacht Theirmeach ArdA bhuíochas leis an diomailt teasa éifeachtach, tá an tsubstráit oiriúnach d'fheidhmchláir ardteochta agus ardchumhachta.
- Voltas Miondealú ArdTacaíonn sé le hoibriú ardvoltais, rud a chinntíonn iontaofacht i leictreonaic chumhachta agus i bhfeistí RF.
- Friotaíocht in aghaidh Timpeallachtaí GéaraMarthanach i ndálaí foircneacha amhail teochtaí arda agus timpeallachtaí creimneacha, rud a chinntíonn feidhmíocht fhadtéarmach.
- Beachtas Grád TáirgtheCinntíonn sé feidhmíocht ardchaighdeáin agus iontaofa i ndéantúsaíocht ar scála mór, atá oiriúnach d'fheidhmchláir chumhachta agus RF chun cinn.
- Grád Bréige le haghaidh TástálaCumasaíonn sé calabrú cruinn próisis, tástáil trealaimh agus fréamhshamáirí gan cur isteach ar sceallóga grád táirgeachta.
Tríd is tríd, cuireann an tsubstráit SiC 4-orlach de chineál P 4H/6H-P 3C-N le tiús 350 μm buntáistí suntasacha ar fáil d'fheidhmchláir leictreonacha ardfheidhmíochta. A bhuíochas dá sheoltacht theirmeach ard agus dá voltas miondealaithe, tá sé oiriúnach do thimpeallachtaí ardchumhachta agus ardteochta, agus cinntíonn a fhriotaíocht in aghaidh dálaí crua marthanacht agus iontaofacht. Cinntíonn an tsubstráit ghrád táirgthe feidhmíocht bheacht agus chomhsheasmhach i ndéantúsaíocht leictreonaice cumhachta agus gléasanna RF ar scála mór. Idir an dá linn, tá an tsubstráit ghrád bréige riachtanach le haghaidh calabrú próisis, tástáil trealaimh, agus fréamhshamhaltú, ag tacú le rialú cáilíochta agus comhsheasmhacht i dtáirgeadh leathsheoltóirí. Déanann na gnéithe seo foshraitheanna SiC an-ildánach d'fheidhmchláir ardleibhéil.
Léaráid Mhionsonraithe

