Feadán Foirnéise Cothrománach Carbaíd Sileacain (SiC)

Cur Síos Achomair:

Feidhmíonn an Feadán Foirnéise Cothrománach Sileacain Charbíde (SiC) mar an príomhsheomra próiseála agus teorainn brú le haghaidh imoibrithe céime gáis ardteochta agus cóireálacha teasa a úsáidtear i ndéantúsaíocht leathsheoltóirí, i ndéantúsaíocht fhótavoltach, agus i bpróiseáil ábhar chun cinn.

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Léaráid Mhionsonraithe

Suíomh Táirgí & Tairiscint Luacha

Déanta as struchtúr SiC aonphíosa, monaraithe le breiseáin, in éineacht le ciseal cosanta dlúth CVD-SiC, seachadann an feadán seo seoltacht theirmeach eisceachtúil, éilliú íosta, sláine mheicniúil láidir, agus friotaíocht cheimiceach den scoth.
Cinntíonn a dhearadh aonfhoirmeacht teochta níos fearr, eatraimh seirbhíse sínte, agus oibriú cobhsaí fadtéarmach.

Buntáistí Croí

Cuireann sé le comhsheasmhacht teocht an chórais, glaineacht agus éifeachtacht fhoriomlán trealaimh (OEE).
Laghdaíonn sé an t-am neamhghníomhach le haghaidh glantacháin agus fadaíonn sé timthriallta athsholáthair, rud a laghdaíonn costas iomlán úinéireachta (TCO).
Soláthraíonn sé seomra fadsaoil atá in ann déileáil le ceimiceáin ocsaídiúcháin ardteochta agus atá saibhir i gclóirín le riosca íosta.

Atmaisféir Infheidhme & Fuinneog Próisis

Gáis imoibríochaocsaigin (O₂) agus meascáin ocsaídiúcháin eile
Gáis iompróra/chosantanítrigin (N₂) agus gáis táimhe thar a bheith íon
Speicis chomhoiriúnacharianghás clóirín (tiúchan agus am fanachta faoi rialú an oidis)

Próisis Tipiciúlaocsaídiú tirim/fliuch, annéalú, idirleathadh, taisceadh LPCVD/CVD, gníomhachtú dromchla, pasiviú fótavoltach, fás feidhmiúil scannáin tanaí, carbónú, níotráitiú, agus tuilleadh.

Coinníollacha Oibriúcháin

Teocht: teocht an tseomra suas le 1250 °C (ceadaigh corrlach sábháilteachta 10–15% ag brath ar dhearadh an téitheora agus ΔT)
Brú: ó leibhéil folúis ísealbhrú/LPCVD go brú dearfach gar don atmaisféarach (sonraíocht deiridh in aghaidh an ordaithe ceannaigh)

Ábhair & Loighic Struchtúrach

Comhlacht SiC Monaliteach (Monaraithe le Breiseán)

β-SiC ard-dlúis nó SiC ilchéime, tógtha mar chomhpháirt aonair—gan aon hailt ná seams braisáilte a d'fhéadfadh sceitheadh nó pointí struis a chruthú.
Cumasaíonn seoltacht theirmeach ard freagairt theirmeach thapa agus aonfhoirmeacht teochta aiseach/gathach den scoth.
Cinntíonn comhéifeacht leathnúcháin theirmigh (CTE) íseal, cobhsaí cobhsaíocht tríthoiseach agus séalaí iontaofa ag teochtaí arda.

Sciath Feidhmiúil CVD SiC

Taiscthe in-situ, thar a bheith íon (eisíontais dromchla/sciath < 5 ppm) chun giniúint cáithníní agus scaoileadh ian miotail a chosc.
Táimhe cheimiceach den scoth i gcoinne gás ocsaídiúcháin agus clóirín-iompartha, rud a chuireann cosc ar ionsaí balla nó ath-thaisceadh.
Roghanna tiús crios-shonracha chun cothromaíocht a bhaint amach idir friotaíocht creimeadh agus freagrúlacht theirmeach.

Sochar ComhcheangailteSoláthraíonn an corp láidir SiC neart struchtúrach agus seoltacht teasa, agus ráthaíonn an ciseal CVD glaineacht agus friotaíocht creimeadh le haghaidh iontaofachta agus tréchur uasta.

Príomhspriocanna Feidhmíochta

Teocht úsáide leanúnaí:≤ 1250 °C
Eisíontais foshraithe mórchóir:< 300 ppm
Eisíontais dhromchla CVD-SiC:< 5 ppm
Lamháltais thoisí: OD ±0.3–0.5 mm; comhaiseacht ≤ 0.3 mm/m (níos doichte ar fáil)
Garbhacht an bhalla istigh: Ra ≤ 0.8–1.6 µm (bailchríoch snasta nó beagnach scáthánach roghnach)
Ráta sceite héiliam: ≤ 1 × 10⁻⁹ Pa·m³/s
Seasmhacht turraing theirmigh: maireann sé timthriallta te/fuar arís agus arís eile gan scoilteadh ná scoilteadh
Tionól seomra glan: Aicme ISO 5–6 le leibhéil iarmhair cáithníní/ian miotail deimhnithe

Cumraíochtaí & Roghanna

Geoiméadracht: OD 50–400 mm (níos mó de réir meastóireachta) le tógáil fhada aonphíosa; tiús balla optamaithe le haghaidh neart meicniúil, meáchain agus sreabhadh teasa.
Dearaí deiridh: flangaí, béal cloig, bayonet, fáinní suímh, claiseanna O-fáinne, agus calafoirt caidéil nó brú saincheaptha.
Calafoirt fheidhmiúlaFothaí teirmeachúpla, suíocháin gloine radhairc, ionraon gáis sheachbhóthair—déanta go léir le haghaidh oibriú ardteochta, sceithdhíonach.
Scéimeanna sciathballa istigh (réamhshocraithe), balla seachtrach, nó clúdach iomlán; sciath spriocdhírithe nó tiús grádaithe do réigiúin ard-imbhuailte.
Cóireáil dromchla agus glanadh: ilghráid garbhachta, glanadh ultrasonaic/DI, agus prótacail bácála/triomú saincheaptha.
Gabhálais: flangaí graifíte/ceirmeacha/miotail, séalaí, daingneáin aimsithe, muinchillí láimhseála, agus cliabháin stórála.

Comparáid Feidhmíochta

Méadrach	Feadán SiC	Feadán Grianchloch	Feadán Alúmana	Feadán Graifíte
Seoltacht theirmeach	Ard, aonfhoirmeach	Íseal	Íseal	Ard
Neart/snéal ardteochta	Sármhaith	Cóir	Go maith	Maith (íogair ó thaobh ocsaídiúcháin de)
Turraing theirmeach	Sármhaith	Lag	Measartha	Sármhaith
Glantacht / iain miotail	Sármhaith (íseal)	Measartha	Measartha	Bocht
Ocsaídiú & Ceimic Chl	Sármhaith	Cóir	Go maith	Droch (ocsaídíonn)
Costas vs. saolré seirbhíse	Saolré meánach/fada	Íseal / gearr	Meánach / meánach	Meánach / teoranta don chomhshaol

Ceisteanna Coitianta (CC)

C1. Cén fáth a roghnófá comhlacht SiC monailiteach atá priontáilte tríthoiseach?
A. Cuireann sé deireadh le seams agus brazes a d’fhéadfadh sceitheadh nó strus a dhíriú, agus tacaíonn sé le geoiméadrachtaí casta le cruinneas tríthoiseach comhsheasmhach.

C2. An bhfuil SiC frithsheasmhach in aghaidh gás ina bhfuil clóirín?
A. Tá. Tá CVD-SiC thar a bheith támh laistigh de theorainneacha teochta agus brú sonraithe. I gcás limistéar ard-thionchair, moltar bratuithe tiubha áitiúla agus córais purgóideacha/sceiththe láidre.

C3. Cén chaoi a n-éiríonn sé níos fearr ná feadáin grianchloch?
A. Cuireann SiC saol seirbhíse níos faide, aonfhoirmeacht teochta níos fearr, éilliú níos ísle cáithníní/ian miotail, agus TCO feabhsaithe ar fáil—go háirithe thar ~900 °C nó in atmaisféir ocsaídiúcháin/clóirínithe.

C4. An féidir leis an bhfeadán dul i ngleic le rampaí teirmeacha tapa?
A. Sea, ar choinníoll go gcomhlíontar na treoirlínte uasta ΔT agus ráta rampála. Tacaíonn péireáil comhlacht SiC ard-κ le sraith tanaí CVD le haistrithe teirmeacha gasta.

C5. Cathain a bhíonn gá le hathsholáthar?
A. Cuir an feadán ina áit má bhraithtear scoilteanna ar an bhflange nó ar an imeall, poill sciath nó scoilteadh, rátaí sceite atá ag méadú, drift shuntasach próifíl teochta, nó giniúint neamhghnácha cáithníní.

Fúinn

Speisialtóireacht XKH is ea forbairt, táirgeadh agus díol ardteicneolaíochta gloine optúil speisialta agus ábhar criostail nua. Freastalaíonn ár dtáirgí ar leictreonaic optúil, leictreonaic tomhaltóra agus an míleata. Cuirimid comhpháirteanna optúla saifír, clúdaigh lionsa fón póca, criadóireacht, LT, sileacan cairbíde SIC, grianchloch, agus sliseáin criostail leathsheoltóra ar fáil. Le saineolas oilte agus trealamh ceannródaíoch, déanaimid sár-obair i bpróiseáil táirgí neamhchaighdeánacha, agus tá sé mar aidhm againn a bheith ina bhfiontar ardteicneolaíochta ábhar optoelectronic ceannródaíoch.