Líne Uathoibrithe Snasta Nasctha Ceithre Chéim do Shreabháin Sileacain / Sileacain Charbaíde (SiC) (Líne Láimhseála Iar-Shnasaithe Chomhtháite)

Líne Uathoibrithe Snasta Nasctha Ceithre Chéim do Shreabhán Sileacain / Sileacain Charbaíde (SiC) (Líne Láimhseála Iar-Shnasaithe Chomhtháite) Íomhá Réadmhaoin

Cur Síos Achomair:

Is réiteach comhtháite, inlíne é an Líne Uathoibrithe Snasta Nasctha Ceithre Chéim seo atá deartha le haghaidhiar-snas / iar-CMPoibríochtaísileacanaguscarbaid sileacain (SiC)vaiféil. Tógtha timpealliompróirí ceirmeacha (plátaí ceirmeacha), comhcheanglaíonn an córas il-thascanna iartheachtacha i líne chomhordaithe amháin—rud a chabhraíonn le monarchana láimhseáil láimhe a laghdú, am tact a chobhsú, agus rialú éillithe a neartú.

Seol ríomhphost chugainn

Gnéithe

Léaráid Mhionsonraithe

Líne Uathoibrithe Snasta Nasctha Ceithre Chéim do Shreabháin Sileacain / Sileacain Charbaíde (SiC) (Líne Láimhseála Iar-Shnasaithe Chomhtháite)4

Forbhreathnú

I ndéantúsaíocht leathsheoltóirí,glanadh éifeachtach iar-CMPaithnítear go forleathan é mar chéim ríthábhachtach chun lochtanna a laghdú roimh an gcéad phróiseas eile, agus cuir chuige chun cinn (lena n-áirítearglanadh meigeasónach) a phléitear go coitianta chun feidhmíocht bhaint cáithníní a fheabhsú.

I gcás SiC go háirithe, acruas ard agus táimhe ceimiceachdéanann sé snasú dúshlánach (a bhaineann go minic le ráta íseal bainte ábhair agus riosca níos airde damáiste dromchla/fo-dhromchla), rud a fhágann go bhfuil uathoibriú cobhsaí iar-snasta agus glanadh/láimhseáil rialaithe thar a bheith luachmhar.

Príomhbhuntáistí

Líne chomhtháite aonair a thacaíonn le:

Deighilt agus bailiú vaiféir(tar éis snasta)
Maolánú/stóráil iompróra ceirmeach
Glanadh iompróra ceirmeach
Gléasadh (greamú) vaiféir ar iompróirí ceirmeacha
Oibríocht chomhdhlúite, aonlíne le haghaidhvaiféir 6–8 n-orlach

Sonraíochtaí Teicniúla (Ón mBileog Sonraí a Soláthraíodh)

Toisí Trealaimh (F×L×A):13643 × 5030 × 2300 mm
Soláthar Cumhachta:AC 380 V, 50 Hz
Cumhacht Iomlán:119 kW
Glanadh Gléasta:0.5 μm < 50 an ceann; 5 μm < 1 an ceann
Cothromas Gléasta:≤ 2 μm

Tagairt Tréchur (Ón mBileog Sonraí a Soláthraíodh)

Toisí Trealaimh (F×L×A):13643 × 5030 × 2300 mm
Soláthar Cumhachta:AC 380 V, 50 Hz
Cumhacht Iomlán:119 kW
Glanadh Gléasta:0.5 μm < 50 an ceann; 5 μm < 1 an ceann
Cothromas Gléasta:≤ 2 μm

Sreabhadh Líne Tipiciúil

Beathú isteach / comhéadan ó limistéar snasta suas an sruth
Deighilt agus bailiú vaiféir
Maolánú/stóráil iompróra ceirmeach (díchúpláil ama-takt)
Glanadh iompróra ceirmeach
Gléasadh vaiféir ar iompróirí (le rialú glaineachta agus cothromaíochta)
Aschur chuig próiseas iartheachtach nó lóistíocht

Ceisteanna Coitianta

C1: Cad iad na fadhbanna a réitíonn an líne seo go príomha?
A: Sruthlíníonn sé oibríochtaí iar-snasta trí dheighilt/bhailiú vaiféar, maolánú iompróirí ceirmeacha, glanadh iompróirí, agus gléasadh vaiféar a chomhtháthú in aon líne uathoibrithe chomhordaithe amháin—rud a laghdaíonn pointí tadhaill láimhe agus a chobhsaíonn rithim an táirgthe.

C2: Cé na hábhair agus na méideanna vaiféir a dtacaítear leo?
A:Sileacan agus SiC,6–8 n-orlachvaiféir (de réir na sonraíochta a cuireadh ar fáil).

C3: Cén fáth a bhfuil béim ar ghlanadh iar-CMP sa tionscal?
A: Leagann litríocht an tionscail béim ar an méadú atá tagtha ar an éileamh ar ghlanadh éifeachtach iar-CMP chun dlús lochtanna a laghdú roimh an gcéad chéim eile; déantar staidéar go coitianta ar chur chuige bunaithe ar mheigishonaic chun feabhas a chur ar bhaint cáithníní.

Fúinn

Speisialtóireacht XKH is ea forbairt, táirgeadh agus díol ardteicneolaíochta gloine optúil speisialta agus ábhar criostail nua. Freastalaíonn ár dtáirgí ar leictreonaic optúil, leictreonaic tomhaltóra agus an míleata. Cuirimid comhpháirteanna optúla saifír, clúdaigh lionsa fón póca, criadóireacht, LT, sileacan cairbíde SIC, grianchloch, agus sliseáin criostail leathsheoltóra ar fáil. Le saineolas oilte agus trealamh ceannródaíoch, déanaimid sár-obair i bpróiseáil táirgí neamhchaighdeánacha, agus tá sé mar aidhm againn a bheith ina bhfiontar ardteicneolaíochta ábhar optoelectronic ceannródaíoch.