Sliseáin SiC 4 orlach Foshraitheanna SiC Leath-inslithe 6H grád príomha, taighde, agus bréige

Cur Síos Achomair:

Déantar foshraith chriostail chairbíde sileacain leath-inslithe a fhoirmiú trí ghearradh, meilt, snasú, glanadh agus teicneolaíocht phróiseála eile tar éis fás criostail chairbíde sileacain leath-inslithe. Fásann sraith criostail ilchiseal nó ilchiseal ar an foshraith a chomhlíonann na ceanglais cháilíochta mar eipitacsach, agus ansin déantar an gléas RF micreathonn tríd an dearadh ciorcaid agus an pacáistiú a chomhcheangal. Ar fáil mar foshraitheanna criostail aonair chairbíde sileacain leath-inslithe tionsclaíocha, taighde agus tástála grád 2 orlach, 3 orlach, 4 orlach, 6 orlach, 8 n-orlach.

Seol ríomhphost chugainn

Sonraí Táirge

Clibeanna Táirge

Sonraíocht Táirge

Grád			Grád Táirgthe Nialasach MPD (Grád Z)			Grád Táirgthe Caighdeánach (Grád P)		Grád Bréige (Grád D)
Trastomhas			99.5 mm ~ 100.0 mm
	4H-SI		500 μm ± 20 μm			500 μm ± 25 μm
Treoshuíomh na Vaiféir			Lasmuigh den ais: 4.0° i dtreo <1120> ±0.5° le haghaidh 4H-N, Ar an ais: <0001>±0.5° le haghaidh 4H-SI
	4H-SI		≤1cm^-2			≤5 cm^-2		≤15 cm^-2
	4H-SI		≥1E9 Ω·cm					≥1E5 Ω·cm
Treoshuíomh Cothrom Príomhúil		{10-10} ±5.0°
Fad Cothrom Príomhúil		32.5 mm±2.0 mm
Fad Cothrom Tánaisteach		18.0 mm±2.0 mm
Treoshuíomh Cothrom Tánaisteach		Aghaidh sileacain suas: 90° CW. ó Prime cothrom ±5.0°
Eisiamh Imeall		3 mm
LTV/TTV/Bogha/Dlúth		≤3 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm						≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Garbhacht			Aghaidh C				Polainnis		Ra≤1 nm
			Aghaidh Si	CMP	Ra≤0.2 nm					Ra≤0.5 nm
Scoilteanna Imeall de bharr Solas Ard-Déine		Dada						Fad carnach ≤ 10 mm, singil fad≤2 mm
Plátaí Heicseagánacha de réir Solas Ard-Déine		Limistéar carnach ≤0.05%						Limistéar carnach ≤0.1%
Limistéir Pholaitíopa de réir Solais Ard-Déine		Dada						Limistéar carnach ≤3%
Cuimsithe Carbóin Amhairc		Limistéar carnach ≤0.05%						Limistéar carnach ≤3%
Scríobann Dromchla Sileacain de bharr Solas Ard-Déine		Dada						Fad carnach ≤1＊ trastomhas vaiféir
Sceallóga Imeall Ard-Déine Solais		Gan aon cheann ceadaithe ≥0.2 mm ar leithead agus ar dhoimhneacht						5 cheadaithe, ≤1 mm an ceann
Éilliú Dromchla Sileacain de bharr Ard-Déine		Dada
Pacáistiú		Caiséad Il-vaiféir nó Coimeádán Vaiféir Aonair