Fógra maidir le soláthar seasta fadtéarmach de SiC 8 n-orlach

Faoi láthair, is féidir lenár gcuideachta leanúint de bhaisc bheaga de sceallóga SiC 8 n-orlach N a sholáthar, má tá samplaí de dhíth ort, bíodh leisce ort teagmháil a dhéanamh liom. Tá roinnt sceallóga samplacha againn réidh le seoladh.

Fógra maidir le soláthar seasta fadtéarmach de SiC 8 n-orlach
Fógra maidir le soláthar seasta fadtéarmach de SiC 8 n-orlach1

I réimse na n-ábhar leathsheoltóra, tá dul chun cinn mór déanta ag an gcuideachta i dtaighde agus i bhforbairt criostail SiC mórmhéide. Trí úsáid a bhaint as a criostail síl féin tar éis babhtaí iomadúla de mhéadú trastomhais, tá criostail SiC 8-orlach de chineál N tar éis fás rathúil, rud a réitíonn fadhbanna deacra amhail réimse teochta míchothrom, scoilteadh criostail agus dáileadh amhábhar céim gáis i bpróiseas fáis criostail SIC 8-orlach, agus a luasghéaraíonn fás criostail SIC mórmhéide agus an teicneolaíocht phróiseála uathrialach agus inrialaithe. Feabhsaíonn sé seo go mór iomaíochas lárnach na cuideachta i dtionscal foshraitheanna criostail aonair SiC. Ag an am céanna, cuireann an chuideachta carnadh teicneolaíochta agus próiseas líne turgnamhach ullmhúcháin foshraitheanna sileacain charbaíde mórmhéide chun cinn go gníomhach, neartaíonn sí an malartú teicniúil agus an comhoibriú tionsclaíoch i réimsí suas an sruth agus síos an sruth, agus comhoibríonn sí le custaiméirí chun feidhmíocht táirgí a athdhéanamh i gcónaí, agus a chuireann luas chur i bhfeidhm tionsclaíoch ábhar sileacain charbaíde chun cinn i gcomhpháirt.

Sonraíochtaí DSP SiC N-chineál 8 n-orlach

Uimhir Mír Aonad Táirgeadh Taighde Bréige
1. Paraiméadair
1.1 polaitíopa -- 4H 4H 4H
1.2 treoshuíomh dromchla ° <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5 <11-20>4±0.5
2. Paraiméadar leictreach
2.1 dopant -- Nítrigin de chineál n Nítrigin de chineál n Nítrigin de chineál n
2.2 friotaíocht óm ·cm 0.015~0.025 0.01~0.03 NA
3. Paraiméadar meicniúil
3.1 trastomhas mm 200±0.2 200±0.2 200±0.2
3.2 tiús μm 500±25 500±25 500±25
3.3 Treoshuíomh na heangaí ° [1-100]±5 [1-100]±5 [1-100]±5
3.4 Doimhneacht na hEangach mm 1~1.5 1~1.5 1~1.5
3.5 LTV μm ≤5 (10mm * 10mm) ≤5 (10mm * 10mm) ≤10 (10mm * 10mm)
3.6 TTV μm ≤10 ≤10 ≤15
3.7 Bogha μm -25~25 -45~45 -65~65
3.8 Dlúth μm ≤30 ≤50 ≤70
3.9 AFM nm Ra≤0.2 Ra≤0.2 Ra≤0.2
4. Struchtúr
4.1 dlús micreaphíopa gach ceann/cm2 ≤2 ≤10 ≤50
4.2 ábhar miotail adaimh/cm2 ≤1E11 ≤1E11 NA
4.3 TSD gach ceann/cm2 ≤500 ≤1000 NA
4.4 BPD gach ceann/cm2 ≤2000 ≤5000 NA
4.5 TED gach ceann/cm2 ≤7000 ≤10000 NA
5. Cáilíocht dhearfach
5.1 tosaigh -- Si Si Si
5.2 bailchríoch dromchla -- CMP Si-aghaidh CMP Si-aghaidh CMP Si-aghaidh
5.3 cáithnín ea/vaiféal ≤100 (méid ≥0.3μm) NA NA
5.4 scríob ea/vaiféal ≤5, Fad Iomlán≤200mm NA NA
5.5 Imeall
sceallóga/loisc/scoilteanna/smál/éilliú
-- Dada Dada NA
5.6 Limistéir pholaitíopa -- Dada Achar ≤10% Achar ≤30%
5.7 marcáil tosaigh -- Dada Dada Dada
6. Cáilíocht chúl
6.1 bailchríoch chúl -- MP aghaidh-C MP aghaidh-C MP aghaidh-C
6.2 scríob mm NA NA NA
6.3 Lochtanna ar chúl imeall
sceallóga/eangacha
-- Dada Dada NA
6.4 Garbhacht chúl nm Ra≤5 Ra≤5 Ra≤5
6.5 Marcáil chúl -- Eang Eang Eang
7. Imeall
7.1 imeall -- Chamfer Chamfer Chamfer
8. Pacáiste
8.1 pacáistiú -- Epi-réidh le folúsghlantóir
pacáistiú
Epi-réidh le folúsghlantóir
pacáistiú
Epi-réidh le folúsghlantóir
pacáistiú
8.2 pacáistiú -- Il-vaiféar
pacáistiú caiséad
Il-vaiféar
pacáistiú caiséad
Il-vaiféar
pacáistiú caiséad

Am an phoist: 18 Aibreán 2023