Faoi láthair, is féidir lenár gcuideachta leanúint de bhaisc bheaga de sceallóga SiC 8 n-orlach N a sholáthar, má tá samplaí de dhíth ort, bíodh leisce ort teagmháil a dhéanamh liom. Tá roinnt sceallóga samplacha againn réidh le seoladh.


I réimse na n-ábhar leathsheoltóra, tá dul chun cinn mór déanta ag an gcuideachta i dtaighde agus i bhforbairt criostail SiC mórmhéide. Trí úsáid a bhaint as a criostail síl féin tar éis babhtaí iomadúla de mhéadú trastomhais, tá criostail SiC 8-orlach de chineál N tar éis fás rathúil, rud a réitíonn fadhbanna deacra amhail réimse teochta míchothrom, scoilteadh criostail agus dáileadh amhábhar céim gáis i bpróiseas fáis criostail SIC 8-orlach, agus a luasghéaraíonn fás criostail SIC mórmhéide agus an teicneolaíocht phróiseála uathrialach agus inrialaithe. Feabhsaíonn sé seo go mór iomaíochas lárnach na cuideachta i dtionscal foshraitheanna criostail aonair SiC. Ag an am céanna, cuireann an chuideachta carnadh teicneolaíochta agus próiseas líne turgnamhach ullmhúcháin foshraitheanna sileacain charbaíde mórmhéide chun cinn go gníomhach, neartaíonn sí an malartú teicniúil agus an comhoibriú tionsclaíoch i réimsí suas an sruth agus síos an sruth, agus comhoibríonn sí le custaiméirí chun feidhmíocht táirgí a athdhéanamh i gcónaí, agus a chuireann luas chur i bhfeidhm tionsclaíoch ábhar sileacain charbaíde chun cinn i gcomhpháirt.
Sonraíochtaí DSP SiC N-chineál 8 n-orlach | |||||
Uimhir | Mír | Aonad | Táirgeadh | Taighde | Bréige |
1. Paraiméadair | |||||
1.1 | polaitíopa | -- | 4H | 4H | 4H |
1.2 | treoshuíomh dromchla | ° | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 | <11-20>4±0.5 |
2. Paraiméadar leictreach | |||||
2.1 | dopant | -- | Nítrigin de chineál n | Nítrigin de chineál n | Nítrigin de chineál n |
2.2 | friotaíocht | óm ·cm | 0.015~0.025 | 0.01~0.03 | NA |
3. Paraiméadar meicniúil | |||||
3.1 | trastomhas | mm | 200±0.2 | 200±0.2 | 200±0.2 |
3.2 | tiús | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
3.3 | Treoshuíomh na heangaí | ° | [1-100]±5 | [1-100]±5 | [1-100]±5 |
3.4 | Doimhneacht na hEangach | mm | 1~1.5 | 1~1.5 | 1~1.5 |
3.5 | LTV | μm | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤5 (10mm * 10mm) | ≤10 (10mm * 10mm) |
3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
3.7 | Bogha | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
3.8 | Dlúth | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
3.9 | AFM | nm | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 | Ra≤0.2 |
4. Struchtúr | |||||
4.1 | dlús micreaphíopa | gach ceann/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
4.2 | ábhar miotail | adaimh/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
4.3 | TSD | gach ceann/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
4.4 | BPD | gach ceann/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
4.5 | TED | gach ceann/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
5. Cáilíocht dhearfach | |||||
5.1 | tosaigh | -- | Si | Si | Si |
5.2 | bailchríoch dromchla | -- | CMP Si-aghaidh | CMP Si-aghaidh | CMP Si-aghaidh |
5.3 | cáithnín | ea/vaiféal | ≤100 (méid ≥0.3μm) | NA | NA |
5.4 | scríob | ea/vaiféal | ≤5, Fad Iomlán≤200mm | NA | NA |
5.5 | Imeall sceallóga/loisc/scoilteanna/smál/éilliú | -- | Dada | Dada | NA |
5.6 | Limistéir pholaitíopa | -- | Dada | Achar ≤10% | Achar ≤30% |
5.7 | marcáil tosaigh | -- | Dada | Dada | Dada |
6. Cáilíocht chúl | |||||
6.1 | bailchríoch chúl | -- | MP aghaidh-C | MP aghaidh-C | MP aghaidh-C |
6.2 | scríob | mm | NA | NA | NA |
6.3 | Lochtanna ar chúl imeall sceallóga/eangacha | -- | Dada | Dada | NA |
6.4 | Garbhacht chúl | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
6.5 | Marcáil chúl | -- | Eang | Eang | Eang |
7. Imeall | |||||
7.1 | imeall | -- | Chamfer | Chamfer | Chamfer |
8. Pacáiste | |||||
8.1 | pacáistiú | -- | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú | Epi-réidh le folúsghlantóir pacáistiú |
8.2 | pacáistiú | -- | Il-vaiféar pacáistiú caiséad | Il-vaiféar pacáistiú caiséad | Il-vaiféar pacáistiú caiséad |
Am an phoist: 18 Aibreán 2023