Sliseáin Carbaíde Sileacain Ard-Íonachta (Gan Dópáil) 3 orlach, Foshraitheanna Sic Leath-Inslithe (HPSl)
Airíonna
1. Airíonna Fisiceacha agus Struchtúracha
● Cineál Ábhair: Carbaíd Sileacain Ard-Íonachta (Gan Dópáil) (SiC)
●Trastomhas: 3 orlach (76.2 mm)
● Tiús: 0.33-0.5 mm, inoiriúnaithe bunaithe ar riachtanais an iarratais.
● Struchtúr Criostail: Polaitíopa 4H-SiC le laitís heicseagánach, ar a dtugtar soghluaisteacht leictreon ard agus cobhsaíocht theirmeach.
● Treoshuíomh:
oCaighdeán: [0001] (C-eitleán), oiriúnach do raon leathan feidhmchlár.
oRoghnach: Lasmuigh den ais (claonadh 4° nó 8°) le haghaidh fás eipitacsach feabhsaithe ar shraitheanna gléasanna.
● Cothromas: Éagsúlacht iomlán tiús (TTV) ● Cáilíocht Dromchla:
oSnasta go oDlús íseal-locht (dlús micreaphíopa <10/cm²). 2. Airíonna Leictreacha ●Friotaíocht: >109^99 Ω·cm, á chothabháil trí dhíchur dopants d'aon ghnó.
● Neart Tréleictreach: Seasmhacht ardvoltais le caillteanais tréleictreacha íosta, oiriúnach d'fheidhmchláir ardchumhachta.
● Seoltacht Theirmeach: 3.5-4.9 W/cm·K, rud a chuireann ar chumas teas a scaipeadh go héifeachtach i bhfeistí ardfheidhmíochta.
3. Airíonna Teirmeacha agus Meicniúla
● Bearna Banda Leathan: 3.26 eV, ag tacú le hoibriú faoi choinníollacha ardvoltais, ardteochta agus radaíochta arda.
● Cruas: Scála Mohs 9, rud a chinntíonn seasmhacht i gcoinne caitheamh meicniúil le linn próiseála.
● Comhéifeacht Leathnaithe Teirmeach: 4.2 × 10−6 / K ≤ 4.2 × 10−6 / K, rud a chinntíonn cobhsaíocht tríthoiseach faoi athruithe teochta.
Paraiméadar | Grád Táirgthe | Grád Taighde | Grád Bréige | Aonad |
Grád | Grád Táirgthe | Grád Taighde | Grád Bréige | |
Trastomhas | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
Tiús | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Treoshuíomh na Vaiféir | Ar an ais: <0001> ± 0.5° | Ar an ais: <0001> ± 2.0° | Ar an ais: <0001> ± 2.0° | céim |
Dlús Micripíopa (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Friotaíocht Leictreach | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dópán | Gan dópáil | Gan dópáil | Gan dópáil | |
Treoshuíomh Cothrom Príomhúil | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | céim |
Fad Cothrom Príomhúil | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
Fad Cothrom Tánaisteach | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Treoshuíomh Cothrom Tánaisteach | 90° CW ón bpríomh-leathanach cothrom ± 5.0° | 90° CW ón bpríomh-leathanach cothrom ± 5.0° | 90° CW ón bpríomh-leathanach cothrom ± 5.0° | céim |
Eisiamh Imeall | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bogha/Dlúth | 3 / 10 / ±30 / 40 | 3 / 10 / ±30 / 40 | 5 / 15 / ±40 / 45 | µm |
Garbhacht Dromchla | Aghaidh Si: CMP, Aghaidh C: Snasta | Aghaidh Si: CMP, Aghaidh C: Snasta | Aghaidh Si: CMP, Aghaidh C: Snasta | |
Scoilteanna (Solas Ard-Déine) | Dada | Dada | Dada | |
Plátaí Heics (Solas Ard-Déine) | Dada | Dada | Achar carnach 10% | % |
Limistéir Pholaitíopa (Solas Ard-Déine) | Achar carnach 5% | Achar carnach 20% | Achar carnach 30% | % |
Scríobtha (Solas Ard-Déine) | ≤ 5 scríobtha, fad carnach ≤ 150 | ≤ 10 scríobtha, fad carnach ≤ 200 | ≤ 10 scríobtha, fad carnach ≤ 200 | mm |
Scealpadh Imeall | Gan aon cheann ≥ 0.5 mm ar leithead/doimhneacht | 2 cheadaítear leithead/doimhneacht ≤ 1 mm | 5 ceadaithe ≤ 5 mm leithead/doimhneacht | mm |
Éilliú Dromchla | Dada | Dada | Dada |
Feidhmchláir
1. Leictreonaic Chumhachta
A bhuíochas leis an mbandabhearna leathan agus an seoltacht theirmeach ard atá ag foshraitheanna HPSI SiC, is rogha iontach iad do ghléasanna cumhachta atá ag feidhmiú i ndálaí foircneacha, amhail:
● Gléasanna Ardvoltais: Lena n-áirítear MOSFETanna, IGBTanna, agus Dé-óidí Bacainn Schottky (SBDanna) le haghaidh tiontú cumhachta éifeachtach.
● Córais Fuinnimh In-athnuaite: Amhail inbhéirteoirí gréine agus rialtóirí tuirbín gaoithe.
●Feithiclí Leictreacha (EVanna): Úsáidtear iad in inbhéartóirí, luchtairí, agus córais chumhachta chun éifeachtúlacht a fheabhsú agus méid a laghdú.
2. Feidhmeanna RF agus Micreathonnáin
Tá an fhriotaíocht ard agus na caillteanais tréleictreacha ísle atá ag sliseáin HPSI riachtanach do chórais raidió-mhinicíochta (RF) agus micreathonnta, lena n-áirítear:
● Bonneagar Teileachumarsáide: Stáisiúin bhunáite do líonraí 5G agus cumarsáid satailíte.
●Aeraspás agus Cosaint: Córais radair, antennas eagair chéimnithe, agus comhpháirteanna eitlíochta.
3. Optoelectronics
Cuireann trédhearcacht agus bearna leathan banda 4H-SiC ar a chumas a úsáid i bhfeistí optoelectronic, amhail:
●Brathadóirí fóta UV: Le haghaidh monatóireachta comhshaoil agus diagnóisic leighis.
● LEDanna Ardchumhachta: Tacú le córais soilsithe soladstaide.
● Dé-óidí léasair: Le haghaidh feidhmeanna tionsclaíocha agus leighis.
4. Taighde agus Forbairt
Úsáidtear foshraitheanna HPSI SiC go forleathan i saotharlanna T&F acadúla agus tionsclaíocha chun airíonna ábhair ardleibhéil agus monarú gléasanna a iniúchadh, lena n-áirítear:
●Fás Sraithe Eipiteacsach: Staidéir ar laghdú lochtanna agus ar uasmhéadú sraitheanna.
●Staidéir ar Shoghluaisteacht Iompróra: Imscrúdú ar iompar leictreon agus poill in ábhair ardíonachta.
● Fréamhshamáirtiú: Forbairt tosaigh ar fheistí agus ciorcaid nua.
Buntáistí
Cáilíocht Sármhaith:
Soláthraíonn ard-íonacht agus dlús íseal lochtanna ardán iontaofa d'fheidhmchláir chun cinn.
Cobhsaíocht Theirmeach:
A bhuíochas leis na hairíonna den scoth a bhaineann le diomailt teasa, is féidir le feistí oibriú go héifeachtúil faoi choinníollacha ardchumhachta agus teochta.
Comhoiriúnacht Leathan:
Cinntíonn na treoshuíomhanna atá ar fáil agus na roghanna tiús saincheaptha inoiriúnaitheacht do riachtanais éagsúla gléasanna.
Marthanacht:
Laghdaíonn cruas agus cobhsaíocht struchtúrach eisceachtúil caitheamh agus dífhoirmiú le linn próiseála agus oibríochta.
Ilúsáideacht:
Oiriúnach do raon leathan tionscal, ó fhuinneamh in-athnuaite go haeraspás agus teileachumarsáid.
Conclúid
Is ionann an sceallóg sileacain charbaíde leath-inslithe ard-íonachta 3 orlach agus buaicphointe na teicneolaíochta foshraithe le haghaidh gléasanna ardchumhachta, ard-minicíochta agus optoelectronic. Cinntíonn a chomhcheangal d'airíonna teirmeacha, leictreacha agus meicniúla den scoth feidhmíocht iontaofa i dtimpeallachtaí dúshlánacha. Ó leictreonaic chumhachta agus córais RF go optoelectronics agus T&F ardleibhéil, soláthraíonn na foshraitheanna HPSI seo an dúshraith do nuálaíochtaí an lae amárach.
Le haghaidh tuilleadh eolais nó chun ordú a chur, déan teagmháil linn. Tá ár bhfoireann theicniúil ar fáil chun treoir agus roghanna saincheaptha a chur ar fáil atá oiriúnaithe do do riachtanais.
Léaráid Mhionsonraithe



