Foshraitheanna Sic Leath-Inslithe (HPSl) Ardíonachta (Neamhdhópáilte)Ardíonachta 3 orlach
Airíonna
1. Airíonna Fisiceacha agus Struchtúracha
● Cineál Ábhar: Carbide Sileacain Ard-íonachta (Neamhdhópáilte) (SIC)
● Trastomhas: 3 orlach (76.2 mm)
● Tiús: 0.33-0.5 mm, inoiriúnaithe bunaithe ar riachtanais iarratais.
● Struchtúr Criostail: Polytype 4H-SiC le laitís heicseagánach, aitheanta mar gheall ar shoghluaisteacht ard leictreon agus cobhsaíocht theirmeach.
● Treoshuíomh:
oStandard: [0001] (C-eitleán), oiriúnach do raon leathan iarratas.
oRoghnach: Lasmuigh den ais (4° nó tilt 8°) le haghaidh fás epitaxial feabhsaithe ar shraitheanna an fheiste.
●Maoile: Athrú tiús iomlán (TTV) ● Cáilíocht an Dromchla:
o Snasta go oDlús lochta íseal (<10/cm² dlús micreaphíopaí). 2. Airíonna Leictreacha ●Friotaíocht: >109^99 Ω·cm, arna chothabháil ag deireadh a chur le dopants d'aon ghnó.
● Neart Tréleictreach: Seasmhacht ardvoltais le caillteanais tréleictreach íosta, oiriúnach le haghaidh feidhmeanna ardchumhachta.
● Seoltacht Theirmeach: 3.5-4.9 W/cm·K, a chumasaíonn diomailt teasa éifeachtach i bhfeistí ardfheidhmíochta.
3. Airíonna Teirmeacha agus Meicniúla
● Bandgap Leathan: 3.26 eV, ag tacú le hoibriú faoi choinníollacha ardvoltais, teocht ard agus radaíochta ard.
● Cruas: Scála Mohs 9, ag cinntiú láidreacht in aghaidh caitheamh meicniúil le linn próiseála.
● Comhéifeacht Leathnú Teirmeach: 4.2×10−6/K4.2 \times 10^{-6}/\text{K}4.2×10−6/K, ag cinntiú cobhsaíocht tríthoiseach faoi athruithe teochta.
Paraiméadar | Grád Táirgthe | Grád Taighde | Grád Caochadán | Aonad |
Grád | Grád Táirgthe | Grád Taighde | Grád Caochadán | |
Trastomhas | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | 76.2 ± 0.5 | mm |
Tiús | 500 ± 25 | 500 ± 25 | 500 ± 25 | µm |
Treoshuíomh Wafer | Ar-ais: <0001> ± 0.5° | Ar-ais: <0001> ± 2.0° | Ar-ais: <0001> ± 2.0° | céime |
Dlús micreaphíopa (MPD) | ≤ 1 | ≤ 5 | ≤ 10 | cm−2^-2−2 |
Friotaíocht Leictreach | ≥ 1E10 | ≥ 1E5 | ≥ 1E5 | Ω·cm |
Dopant | Neamhdhópáilte | Neamhdhópáilte | Neamhdhópáilte | |
Treoshuíomh Maol Bunscoile | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | {1-100} ± 5.0° | céime |
Fad Maol Bunscoile | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | 32.5 ± 3.0 | mm |
Fad Comhréidh Tánaisteach | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | 18.0 ± 2.0 | mm |
Treoshuíomh Cothrom Tánaisteach | 90° CW ón bpríomhárasán ± 5.0° | 90° CW ón bpríomhárasán ± 5.0° | 90° CW ón bpríomhárasán ± 5.0° | céime |
Eisiamh Imeall | 3 | 3 | 3 | mm |
LTV/TTV/Bow/Warp | 3/10/±30/40 | 3/10/±30/40 | 5/15/±40/45 | µm |
Roughness Dromchla | Si-aghaidh: CMP, C-aghaidh: Snasta | Si-aghaidh: CMP, C-aghaidh: Snasta | Si-aghaidh: CMP, C-aghaidh: Snasta | |
Scoilteanna (Solas Ard-Déine) | Dada | Dada | Dada | |
Plátaí Heics (Solas Ard-Déine) | Dada | Dada | Achar carnach 10% | % |
Limistéir Polytype (Solas Ard-Déine) | Achar carnach 5% | Achar carnach 20% | Achar carnach 30% | % |
Scratches (Solas Ard-Déine) | ≤ 5 scratches, fad carnach ≤ 150 | ≤ 10 scratches, fad carnach ≤ 200 | ≤ 10 scratches, fad carnach ≤ 200 | mm |
Imeall chipping | Ceann ar bith ≥ leithead/doimhneacht 0.5 mm | 2 ceadaithe ≤ leithead/doimhneacht 1 mm | 5 ceadaithe ≤ leithead/doimhneacht 5 mm | mm |
Éilliú Dromchla | Dada | Dada | Dada |
Feidhmchláir
1. Leictreonaic Cumhachta
Mar gheall ar bhearna leathan agus seoltacht theirmeach ard fhoshraitheanna HPSI SiC tá siad oiriúnach do ghléasanna cumhachta a oibríonn i gcoinníollacha foircneacha, mar:
● Feistí Ardvoltais: Lena n-áirítear MOSFETanna, IGBTanna, agus Diodes Bacainn Schottky (SBDanna) chun cumhacht a chomhshó go héifeachtach.
● Córais Fuinnimh In-athnuaite: Ar nós inverters gréine agus rialtóirí tuirbíní gaoithe.
● Feithiclí Leictreacha (EVs): Úsáidtear iad in inverters, chargers, agus córais powertrain chun éifeachtúlacht a fheabhsú agus méid a laghdú.
2. Feidhmchláir RF agus MICREATHONNACH
Tá friotachas ard agus caillteanais tréleictreach íseal sliseog HPSI riachtanach do chórais raidió-minicíochta (RF) agus micreathonn, lena n-áirítear:
● Bonneagar Teileachumarsáide: Stáisiúin bhonn le haghaidh líonraí 5G agus cumarsáid satailíte.
• Aeraspáis agus Cosaint: Córais radair, aeróga eagair chéimnithe, agus comhpháirteanna eitleonaice.
3. Optoelectronics
Mar gheall ar thrédhearcacht agus ar bhanda leathan 4H-SiC is féidir é a úsáid i bhfeistí optoelectronic, mar:
● Fóta-bhrathadóirí: Le haghaidh monatóireachta comhshaoil agus diagnóisic leighis.
● Soilse Ardchumhachta: Tacú le córais soilsithe soladstaide.
● Dé-óid Léasair: Le haghaidh feidhmeanna tionsclaíochta agus leighis.
4. Taighde agus Forbairt
Úsáidtear foshraitheanna HPSI SiC go forleathan i saotharlanna taighde agus forbartha acadúla agus tionsclaíocha chun ard-airíonna ábhar agus déantús feiste a iniúchadh, lena n-áirítear:
● Fás Ciseal Epitaxial: Staidéir ar laghdú lochtanna agus barrfheabhsú ciseal.
● Staidéir ar Shoghluaisteacht Iompróra: Imscrúdú ar iompar leictreon agus poll in ábhair ardíonachta.
● Fréamhshamhlú: Forbairt tosaigh ar ghléasanna agus ciorcaid núíosacha.
Buntáistí
Cáilíocht Sármhaith:
Soláthraíonn ard-íonacht agus dlús íseal locht ardán iontaofa d'iarratais chun cinn.
Cobhsaíocht Theirmeach:
Cuireann airíonna diomailt teasa den scoth ar chumas feistí oibriú go héifeachtach faoi choinníollacha ardchumhachta agus teochta.
Comhoiriúnacht Leathan:
Cinntíonn treoshuímh atá ar fáil agus roghanna tiús saincheaptha inoiriúnaitheacht do riachtanais éagsúla feiste.
Marthanacht:
Laghdaíonn cruas eisceachtúil agus cobhsaíocht struchtúrach caitheamh agus dífhoirmiú le linn próiseála agus oibríochta.
Solúbthacht:
Oiriúnach do raon leathan tionscal, ó fhuinneamh in-athnuaite go aeraspáis agus teileachumarsáid.
Conclúid
Léiríonn an wafer 3-orlach Ardíonachta Leath-Inslithe Sileacan Carbide an pinnacle na teicneolaíochta tsubstráit le haghaidh ard-chumhachta, ard-minicíocht, agus feistí optoelectronic. Cinntíonn a meascán d'airíonna teirmeacha, leictreacha agus meicniúla den scoth feidhmíocht iontaofa i dtimpeallachtaí dúshlánacha. Ó leictreonaic cumhachta agus córais RF go optoelectronics agus ard-T & F, cuireann na foshraitheanna HPSI seo an bonn le haghaidh nuálaíochtaí an lae amárach.
Le haghaidh tuilleadh eolais nó chun ordú a dhéanamh, déan teagmháil linn. Tá ár bhfoireann theicniúil ar fáil chun treoir agus roghanna saincheaptha a sholáthar atá oiriúnaithe do do chuid riachtanas.